Ohun èlò tuntun kan tí a fi silicon carbide ṣe ni semiconductor. Silicon carbide ní àlàfo ńlá (tó ní ìwọ̀n silicon ní ìwọ̀n silicon ní ìwọ̀n silicon ní ìwọ̀n silicon), agbára pápá tó ga (tó ní ìwọ̀n silicon ní ìwọ̀n silicon ní ìwọ̀n silicon ní ìwọ̀n silicon ní ìwọ̀n 10), agbára ooru tó ga (tó ní ìwọ̀n silicon ní ìwọ̀n silicon ní ìwọ̀n silicon ní ìwọ̀n 3). Ó jẹ́ ohun èlò semiconductor tó ṣe pàtàkì fún ìran tó ń bọ̀. A ń lo àwọn ìbòrí SiC ní ilé iṣẹ́ semiconductor àti àwọn photovoltaics oòrùn. Pàápàá jùlọ, àwọn ohun tí a fi ń mú kí àwọn LED àti Single crystal epitaxy dàgbà nílò ìbòrí SiC. Nítorí ìdàgbàsókè gíga ti LED nínú ilé iṣẹ́ ìmọ́lẹ̀ àti ìfihàn, àti ìdàgbàsókè tó lágbára ti ilé iṣẹ́ semiconductor,Ọjà ìbòrí SiCawọn ireti jẹ dara pupọ.
PÁLẸ́ ÌFÍLẸ̀ṢẸ́
Ìmọ́tótó, Ìṣètò SEM, ìṣàyẹ̀wò sisanra tiIbora SiC
Ìmọ́tótó àwọn ìbòrí SiC lórí graphite nípa lílo CVD ga tó 99.9995%. Ìṣètò rẹ̀ jẹ́ fcc. Àwọn fíìmù SiC tí a fi graphite bò wà ní ìtọ́sọ́nà (111) gẹ́gẹ́ bí a ṣe fihàn nínú dátà XRD (Àwòrán 1) tí ó ń fi hàn pé ó ní dídára kristali gíga. Ìwọ̀n fíìmù SiC dọ́gba gan-an gẹ́gẹ́ bí a ṣe fihàn nínú Àwòrán 2.
Àwòrán 2: ìṣọ̀kan nínípọn ti àwọn fíìmù SiC SEM àti XRD ti fíìmù beta‐SiC lórí graphite
Dáta SEM ti fiimu tinrin CVD SiC, iwọn kristali naa jẹ 2 ~ 1 Opm
Ìṣètò kirisita ti fíìmù CVD SiC jẹ́ ìṣètò onígun mẹ́rin tí ó dojúkọ ojú, àti ìtọ́sọ́nà ìdàgbàsókè fíìmù náà súnmọ́ 100%
A fi silikoni carbide (SiC) ti a boIpìlẹ̀ ni ipilẹ̀ tó dára jùlọ fún silikoni kirisita kan ṣoṣo àti GaN epitaxy, èyí tí í ṣe apa pàtàkì ti ileru epitaxy. Ipìlẹ̀ náà jẹ́ ohun èlò ìṣelọ́pọ́ pàtàkì fún silikoni monocrystalline fún àwọn iyika tó tóbi tí a ti so pọ̀. Ó ní ìwẹ̀nùmọ́ gíga, ìdènà òtútù gíga, ìdènà ipata, ìdènà afẹ́fẹ́ tó dára àti àwọn ànímọ́ ohun èlò tó tayọ mìíràn.
Lilo ati lilo ọja naa
Ibora ipilẹ Graphite fun idagbasoke epitaxial silicon kristali kan O dara fun awọn ẹrọ Aixtron, ati bẹbẹ lọ. Sisanra awọ: 90~150um. Iwọn ila opin ti ihò wafer jẹ 55mm.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-14-2022