Kremniy karbidi (SiC) yangi birikma yarimo'tkazgich materialdir. Kremniy karbidi katta tasma oralig'iga (taxminan 3 barobar kremniy), yuqori kritik maydon kuchiga (taxminan 10 barobar kremniy), yuqori issiqlik o'tkazuvchanligiga (taxminan 3 barobar kremniy) ega. Bu muhim keyingi avlod yarimo'tkazgich materialidir. SiC qoplamalari yarimo'tkazgich sanoatida va quyosh fotovoltaikasida keng qo'llaniladi. Xususan, LEDlarning epitaksial o'sishi va Si monokristalli epitaksiyasida ishlatiladigan susseptorlar SiC qoplamasidan foydalanishni talab qiladi. Yoritish va displey sanoatida LEDlarning kuchli o'sish tendentsiyasi va yarimo'tkazgich sanoatining jadal rivojlanishi tufayli,SiC qoplama mahsulotiistiqbollari juda yaxshi.
QO'LLASH MAYDONI
Soflik, SEM tuzilishi, qalinligi tahliliSiC qoplamasi
Grafitga CVD yordamida qo'yilgan SiC qoplamalarining sofligi 99,9995% gacha yetadi. Uning tuzilishi fcc. Grafitga qo'yilgan SiC plyonkalari (111) rentgenografiya ma'lumotlarida (1-rasm) ko'rsatilgandek yo'naltirilgan bo'lib, uning yuqori kristall sifatini ko'rsatadi. SiC plyonkasining qalinligi 2-rasmda ko'rsatilganidek juda bir xil.
2-rasm: SiC plyonkalarining qalinlik bir xilligi. Grafitdagi beta-SiC plyonkasining SEM va XRD.
CVD SiC yupqa plyonkasining SEM ma'lumotlari, kristall o'lchami 2 ~ 1 Opm
CVD SiC plyonkasining kristall tuzilishi yuzga yo'naltirilgan kubik tuzilishdir va plyonka o'sish yo'nalishi 100% ga yaqin.
Silikon karbid (SiC) bilan qoplanganasos monokristalli kremniy va epitaksi pechining asosiy komponenti bo'lgan GaN epitaksi uchun eng yaxshi asosdir. Asos yirik integral mikrosxemalar uchun monokristalli kremniy ishlab chiqarishda asosiy aksessuar hisoblanadi. U yuqori tozaligi, yuqori haroratga chidamliligi, korroziyaga chidamliligi, yaxshi havo o'tkazmasligi va boshqa ajoyib material xususiyatlariga ega.
Mahsulot qo'llanilishi va ishlatilishi
Monokristalli kremniy epitaksial o'sishi uchun grafit asosli qoplama Aixtron mashinalari va boshqalar uchun mos keladi. Qoplama qalinligi: 90~150um. Gofret kraterining diametri 55 mm.
Nashr vaqti: 2022-yil 14-mart