Rivestimento in SiC/substrato/vassoio in grafite rivestita per semiconduttori

Breve descrizione:

Il suscettore in grafite rivestita in SiC di VET Energy per la crescita epitassiale è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un periodo prolungato. Presenta un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, che lo rendono la soluzione perfetta per le applicazioni di lavorazione dei wafer.

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Rivestimento in SiC/suscettore rivestito in grafite per semiconduttori

ILSubstrato di grafite rivestita in SiCè una soluzione altamente durevole ed efficiente progettata per soddisfare le rigorose esigenze dell'industria di lavorazione dei semiconduttori. Caratterizzata da uno strato di elevata purezzarivestimento in carburo di silicio (SiC), questo substrato offre un'eccezionale stabilità termica, resistenza all'ossidazione e una durata utile prolungata, rendendolo ideale per applicazioni nei processi MOCVD, nei supporti per wafer di grafite e in altri ambienti ad alta temperatura.

Caratteristiche:
· Eccellente resistenza agli shock termici
· Eccellente resistenza fisica agli urti
· Eccellente resistenza chimica
· Super elevata purezza
· Disponibilità in forma complessa
·Utilizzabile in atmosfera ossidante

Applicazione:

Caratteristiche e vantaggi del prodotto:

1. Resistenza termica superiore:Con un'elevata purezzaRivestimento in SiC, il substrato resiste a temperature estreme, garantendo prestazioni costanti in ambienti difficili come l'epitassia e la fabbricazione di semiconduttori.

2. Maggiore durata:I componenti in grafite rivestiti in SiC sono progettati per resistere alla corrosione chimica e all'ossidazione, aumentando la durata del substrato rispetto ai substrati in grafite standard.

3. Grafite rivestita vetrosa:La struttura vitrea unica delRivestimento in SiCgarantisce un'eccellente durezza superficiale, riducendo al minimo l'usura durante la lavorazione ad alta temperatura.

4. Rivestimento in SiC ad alta purezza:Il nostro substrato garantisce una contaminazione minima nei processi sensibili dei semiconduttori, offrendo affidabilità per i settori che richiedono una rigorosa purezza dei materiali.

5. Ampia applicazione di mercato:ILSuscettore in grafite rivestito in SiCIl mercato continua a crescere con l'aumento della domanda di prodotti rivestiti in SiC avanzati nella produzione di semiconduttori, posizionando questo substrato come un attore chiave sia nel mercato dei supporti per wafer in grafite che in quello dei vassoi in grafite rivestiti in carburo di silicio.

Proprietà tipiche del materiale di base in grafite:

Densità apparente:	1,85 g/cm3
Resistività elettrica:	11 μΩm
Resistenza alla flessione:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Durezza Shore:	58
Cenere:	<5 ppm
Conduttività termica:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

malattie cardiovascolari SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento
性质 / Proprietà	典型数值 / Valore tipico
晶体结构 / Struttura cristallina	Fase β FCC 多晶,主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 tonnellate di carico (carico da 500 g)
晶粒大小 / Granulometria	2~10μm
纯度 / Purezza chimica	99,99995%
热容 / Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura di sublimazione	2700℃
抗弯强度 / Resistenza alla flessione	415 MPa RT 4 punti
杨氏模量 / Modulo di Young	430 Gpa 4pt curva, 1300℃
导热系数 / Conducibilità termica	300W·m^-1·K^-1
Dilatazione termica / Dilatazione termica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy è il vero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con diversi rivestimenti come rivestimento in SiC, rivestimento in TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc., in grado di fornire vari componenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di fornirvi le soluzioni più professionali in materia di materiali.

Sviluppiamo costantemente processi avanzati per fornire materiali ancora più avanzati e abbiamo elaborato una tecnologia brevettata esclusiva in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più salda e meno soggetta a distacco.

Vi invitiamo calorosamente a visitare la nostra fabbrica, per approfondire la questione!