特徴：
・優れた耐熱衝撃性
・優れた物理的衝撃耐性
・優れた耐薬品性
・超高純度
・複雑な形状での対応が可能
・酸化雰囲気下で使用可能
応用：
製品の特徴と利点：
1.優れた耐熱性:高純度SiCコーティング基板は極端な温度にも耐えることができ、エピタキシャル成長や半導体製造などの厳しい環境下でも安定した性能を発揮します。
2. 耐久性の向上:SiCコーティングされたグラファイト部品は、化学腐食や酸化に対する耐性を備えるように設計されており、標準的なグラファイト基板と比較して基板の寿命を延ばします。
3. ガラス質被覆グラファイト:独特の硝子体構造SiCコーティング優れた表面硬度を提供し、高温加工時の摩耗を最小限に抑えます。
4. 高純度SiCコーティング:当社の基板は、高感度な半導体製造プロセスにおける汚染を最小限に抑え、厳格な材料純度が求められる業界に信頼性を提供します。
5. 幅広い市場への応用:のSiCコーティングされたグラファイトサセプター半導体製造における高度なSiCコーティング製品への需要の高まりに伴い、市場は成長を続けており、この基板はグラファイトウェーハキャリア市場と炭化ケイ素コーティンググラファイトトレイ市場の両方において重要な役割を担っている。
ベースグラファイト材料の典型的な特性：
| 見かけ密度： | 1.85 g/cm3 |
| 電気抵抗率： | 11 μΩm |
| 曲げ強度： | 49 MPa (500kgf/cm2) |
| ショア硬度： | 58 |
| 灰： | 5ppm未満 |
| 熱伝導率： | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング | |
| 性质 / プロパティ | 代表値 / 代表値 |
| 結晶構造 / 結晶構造 | FCC β 相多結晶、主に（111）取方向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm³ |
| 硬度・硬さ | 2500维度硬度（500g荷重） |
| 結晶粒大 / 粒サイズ | 2～10μm |
| 品質 / 化学純度 | 99.99995% |
| 熱容量 / 熱容量 | 640 J・kg-1・K-1 |
| 昇华温度 / 昇華温度 | 2700℃ |
| 耐弯强度 / 曲げ強さ | 415 MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 / ヤング率 | 430 GPa 4点曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / 熱伝導率 | 300W・m-1・K-1 |
| 熱膨張胀系数 / 熱膨張(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energyは、SiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなど、さまざまなコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の真のメーカーであり、半導体および太陽光発電業界向けにさまざまなカスタマイズ部品を提供できます。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。
当社は、より高度な材料を提供するために、常に先進的なプロセスを開発しており、コーティングと基材との結合をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。
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