SiC-bedekte grafiet-susseptor en draer vir wafer

Kort beskrywing:

VET Energy SiC-bedekte grafiet-susceptor is 'n hoëprestasieproduk wat ontwerp is om konsekwente en betroubare werkverrigting oor 'n lang tydperk te bied. Dit het super goeie hittebestandheid en termiese eenvormigheid, hoë suiwerheid, erosiebestandheid, wat dit die perfekte oplossing vir waferverwerkingstoepassings maak.

Materiaal:Hoë suiwerheid isostatiese grafiet

Suiwering: <5 dpm

Bedekking:CVD-SiC, CVD-TaC, Piro-koolstof

OEM ODM:Beskikbaar

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk-etikette

SiC-bedekte grafiet-suspensieis 'n sleutelkomponent wat in verskeie halfgeleiervervaardigingsprosesse gebruik word. Ons gebruik ons gepatenteerde tegnologie om die SiC-bedekte suspense met uiters hoë suiwerheid, goeie bedekkingseenvormigheid en 'n uitstekende lewensduur, sowel as hoë chemiese weerstand en termiese stabiliteitseienskappe, te vervaardig.

Kenmerke van ons produkte:

1. Hoë temperatuur oksidasie weerstand tot 1700 ℃.
2. Hoë suiwerheid en termiese eenvormigheid
3. Uitstekende korrosiebestandheid: suur, alkali, sout en organiese reagense.
4. Hoë hardheid, kompakte oppervlak, fyn deeltjies.
5. Langer dienslewe en meer duursaam

KVS SiC薄膜基本物理性能 Basiese fisiese eienskappe van CVD SiCbedekking
性质 / Eiendom	典型数值 / Tipiese Waarde
晶体结构 / Kristalstruktuur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Digtheid	3.21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度（500g vrag）
晶粒大小 / Graangrootte	2~10μm
纯度 / Chemiese Suiwerheid	99.99995%
热容 / Hittekapasiteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimasie Temperatuur	2700℃
抗弯强度 / Buigsterkte	415 MPa RT 4-punt
杨氏模量 / Young se Modulus	430 Gpa 4pt buiging, 1300 ℃
导热系数 / TermalGeleidingsvermoë	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termiese Uitbreiding (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy is 'n professionele vervaardiger wat fokus op die navorsing en ontwikkeling en produksie van hoë-end gevorderde materiale soos grafiet, silikonkarbied, kwarts, sowel as die materiaalbehandeling soos SiC-bedekkings, TaC-bedekkings, glasagtige koolstofbedekkings, pirolitiese koolstofbedekkings, ens. Die produkte word wyd gebruik in fotovoltaïese, halfgeleier, nuwe energie, metallurgie, ens.

Ons tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaaloplossings vir u bied.

VET Energie voordele sluit in:
• Eie fabriek en professionele laboratorium;
• Toonaangewende suiwerheidsvlakke en kwaliteit;
• Mededingende prys en vinnige afleweringstyd;
• Verskeie bedryfsvennootskappe wêreldwyd;

Ons nooi u uit om ons fabriek en laboratorium te eniger tyd te besoek!