Suscepteur et support en graphite revêtu de SiC pour plaquette

Description courte :

Le suscepteur en graphite revêtu de SiC de VET Energy est un produit haute performance conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue durée. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une grande uniformité thermique, une pureté élevée et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.

Matériel:graphite isostatique de haute pureté

Purification: <5 ppm

Revêtement:CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbone

OEM ODM :Disponible

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Détails du produit

Étiquettes de produit

support en graphite recouvert de SiCLe silicium est un composant essentiel utilisé dans divers procédés de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à notre technologie brevetée, nous produisons un support recouvert de SiC d'une pureté extrêmement élevée, d'une grande uniformité de revêtement et d'une excellente durée de vie, ainsi que présentant une résistance chimique et une stabilité thermique élevées.

Caractéristiques de nos produits :

1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700℃.
2. Pureté élevée et uniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, bases, sels et réactifs organiques.
4. Dureté élevée, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable

Suscepteur en graphite recouvert de SiC (3)

Suscepteur en graphite revêtu de SiC (4)

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques fondamentales du SiC CVDrevêtement
性质 / Propriété	典型数值 / Valeur typique
晶体结构 / Structure cristalline	Phase β de la structure cubique à faces centrées (CFC)多晶，主要为（111)
密度 / Densité	3,21 g/cm³
硬度 / Dureté	2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)
晶粒大小 / Taille du grain	2~10 μm
纯度 / Pureté chimique	99,99995%
热容 / Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Température de sublimation	2700℃
抗弯强度 / Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
杨氏模量 Module de Young	430 Gpa flexion 4 points, 1300℃
导热系数 / ThermielConductivité	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy est un fabricant professionnel spécialisé dans la R&D et la production de matériaux de pointe tels que le graphite, le carbure de silicium, le quartz, ainsi que dans le traitement des matériaux comme le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement de carbone vitreux, le revêtement de carbone pyrolytique, etc. Ses produits sont largement utilisés dans les secteurs du photovoltaïque, des semi-conducteurs, des énergies nouvelles, de la métallurgie, etc.

Notre équipe technique, issue des meilleurs instituts de recherche nationaux, peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Les avantages de VET Energy comprennent :
• Usine et laboratoire professionnel en propre ;
• Des niveaux de pureté et de qualité inégalés dans l'industrie ;
• Prix compétitif et délai de livraison rapide ;
• De multiples partenariats industriels à l'échelle mondiale ;

Nous vous invitons à visiter notre usine et notre laboratoire à tout moment !