Suscepteur et support en graphite revêtu de SiC pour plaquette

Brève description :

Le suscepteur en graphite revêtu de SiC de VET Energy est un produit hautes performances conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue période. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une excellente uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.

Matériel:Graphite isostatique de haute pureté

Purification: <5 ppm

Revêtement:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyrocarbone

OEM ODM :Disponible

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Détails du produit

Étiquettes de produit

Suscepteur en graphite revêtu de SiCest un composant clé utilisé dans divers procédés de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à notre technologie brevetée, nous produisons un suscepteur revêtu de SiC d'une pureté extrêmement élevée, d'une bonne uniformité du revêtement et d'une excellente durée de vie, ainsi que d'excellentes propriétés de résistance chimique et de stabilité thermique.

Caractéristiques de nos produits :

1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700℃.
2. Haute pureté et uniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
4. Dureté élevée, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable

Suscepteur en graphite recouvert de SiC (3)

Suscepteur en graphite revêtu de SiC (4)

maladies cardiovasculaires SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques de base du SiC CVDrevêtement
性质 / Propriété	典型数值 / Valeur typique
晶体结构 / Structure cristalline	Phase β du FCC多晶，主要为（111)
密度 / Densité	3,21 g/cm³
硬度 / Dureté	2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)
晶粒大小 / Granulométrie	2 à 10 μm
纯度 / Pureté chimique	99,99995%
热容 / Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Température de sublimation	2700℃
抗弯强度 / Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
杨氏模量 / Module de Young	430 Gpa 4pt courbé, 1300℃
导热系数 / ThermalConductivité	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy est un fabricant professionnel axé sur la R&D et la production de matériaux avancés haut de gamme tels que le graphite, le carbure de silicium, le quartz, ainsi que le traitement des matériaux comme le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement en carbone vitreux, le revêtement en carbone pyrolytique, etc. Les produits sont largement utilisés dans le photovoltaïque, les semi-conducteurs, les nouvelles énergies, la métallurgie, etc.

Notre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Les avantages de VET Energy comprennent :
• Propre usine et laboratoire professionnel ;
• Niveaux de pureté et de qualité à la pointe de l’industrie ;
• Prix compétitif et délai de livraison rapide ;
• Partenariats industriels multiples à travers le monde ;

Nous vous invitons à visiter notre usine et notre laboratoire à tout moment !