Grafitni susceptor i nosač obložen SiC-om za pločicu

Istaknuta slika susceptora i nosača s SiC-om za pločicu

Kratki opis:

VET Energy SiC obloženi grafitni susceptor je visokoučinkovit proizvod dizajniran za pružanje dosljednih i pouzdanih performansi tijekom duljeg razdoblja. Ima izvrsnu otpornost na toplinu i toplinsku ujednačenost, visoku čistoću i otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za primjenu u obradi pločica.

Materijal:Izostatski grafit visoke čistoće

Pročišćavanje: <5 ppm

Premazivanje:CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbon

OEM ODM:Dostupno

Pošaljite nam e-poštu Preuzmi kao PDF

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

SiC obloženi grafitni susceptorje ključna komponenta koja se koristi u raznim procesima proizvodnje poluvodiča. Koristimo našu patentiranu tehnologiju kako bismo izradili SiC obložene supstrate s izuzetno visokom čistoćom, dobrom ujednačenošću premaza i izvrsnim vijekom trajanja, kao i visokom kemijskom otpornošću i toplinskom stabilnošću.

Karakteristike naših proizvoda:

1. Otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama do 1700 ℃.
2. Visoka čistoća i toplinska ujednačenost
3. Izvrsna otpornost na koroziju: kiseline, lužine, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Dulji vijek trajanja i izdržljiviji

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizikalna svojstva CVD SiC-apremazivanje
性质 / Nekretnina	典型数值 / Tipična vrijednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶，主要为（111）取向
密度 / Gustoća	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdoća	2500 维氏硬度（500g opterećenja）
晶粒大小 / Veličina zrna	2~10μm
纯度 / Kemijska čistoća	99,99995%
热容 / Toplinski kapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700℃
抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje	415 MPa RT 4-točkovni
杨氏模量 Youngov modul	430 Gpa savijanje od 4 pt, 1300℃
导热系数 / TermalProvodljivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Toplinsko širenje (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy je profesionalni proizvođač usmjeren na istraživanje i razvoj te proizvodnju vrhunskih naprednih materijala poput grafita, silicijevog karbida, kvarca, kao i na obradu materijala poput SiC premaza, TaC premaza, premaza staklastim ugljikom, pirolitičkog ugljičnog premaza itd. Proizvodi se široko koriste u fotonaponskim sustavima, poluvodičima, novoj energiji, metalurgiji itd.

Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Prednosti VET Energy uključuju:
• Vlastita tvornica i profesionalni laboratorij;
• Vodeće razine čistoće i kvalitete u industriji;
• Konkurentna cijena i brzo vrijeme isporuke;
• Višestruka industrijska partnerstva diljem svijeta;

Pozivamo vas da posjetite našu tvornicu i laboratorij u bilo koje vrijeme!