Susceptor Grafit Dilapis SiC Sareng Pembawa Pikeun Wafer

Pedaran Singkat:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor mangrupikeun produk kinerja tinggi anu dirancang pikeun nyayogikeun kinerja anu konsisten sareng tiasa dipercaya salami waktos anu lami. Éta ngagaduhan résistansi panas sareng keseragaman termal anu super saé, kamurnian anu luhur, résistansi erosi, jantenkeun solusi anu sampurna pikeun aplikasi pamrosésan wafer.

Bahan:Grafit isostatik kamurnian luhur

Pemurnian: <5ppm

Palapis:CVD-SiC, CVD-TaC, Piro-karbon

OEM/ODM:Sadia

Kirim email ka kami Unduh salaku PDF

Rincian Produk

Tag Produk

Susceptor grafit dilapis SiCmangrupikeun komponén konci anu dianggo dina rupa-rupa prosés manufaktur semikonduktor. Kami nganggo téknologi anu dipatenkeun pikeun ngadamel susceptiver anu dilapis SiC kalayan kamurnian anu luhur pisan, seragamna lapisan anu saé sareng umur jasa anu saé pisan, ogé sipat résistansi kimia sareng stabilitas termal anu luhur.

Fitur-fitur produk kami:

1. Résistansi oksidasi suhu luhur nepi ka 1700 ℃.
2. Kamurnian anu luhur sareng keseragaman termal
3. Résistansi korosi anu saé pisan: réagen asam, alkali, uyah sareng organik.
4. Karasa luhur, permukaan kompak, partikel anu lemes.
5. Umur layanan anu langkung lami sareng langkung awét

CVD (Panyakit Jantung jeung Lambung) SiC薄膜基本物理性能 Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis
性质 / Harta	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Kapadetan	3,21 g/cm³
硬度 / Karasa	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Ukuran Gandum	2 ~ 10μm
纯度 / Kamurnian Kimia	99.99995%
热容 / Kapasitas Panas	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 / Kakuatan Fleksibel	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃
导热系数 / TermalKonduktivitas	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy nyaéta produsén profésional anu fokus kana R&D sareng produksi bahan canggih kelas luhur sapertos grafit, silikon karbida, kuarsa, ogé perlakuan bahan sapertos palapis SiC, palapis TaC, palapis karbon glassy, palapis karbon pirolitik, jsb. Produkna seueur dianggo dina fotovoltaik, semikonduktor, énergi énggal, metalurgi, jsb.

Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.

Kaunggulan VET Energy kalebet:
• Pabrik sorangan sareng laboratorium profésional;
• Tingkat kamurnian sareng kualitas anu unggul dina industri;
• Hargana kompetitif & Waktos pangiriman gancang;
• Sababaraha partnership industri di sakumna dunya;

Kami ngabagéakeun anjeun nganjang ka pabrik sareng laboratorium kami iraha waé!