SiC coated grafit Susceptor Jeung Carrier Pikeun Wafer

SiC Coated Graphite Susceptor Jeung Carrier Pikeun Wafer Featured Gambar

Katerangan pondok:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor mangrupikeun produk berprestasi tinggi anu dirancang pikeun nyayogikeun kinerja anu konsisten sareng dipercaya dina waktos anu panjang. Cai mibanda résistansi panas super alus tur uniformity termal, purity tinggi, résistansi erosi, sahingga solusi sampurna pikeun aplikasi processing wafer.

Bahan:Purity luhur grafit isostatic

Purifikasi: <5ppm

Lapisan:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-karbon

OEM ODM:sadia

Kirim surélék ka kami Unduh salaku PDF

Rincian produk

Tag produk

SiC coated grafit suscetpormangrupakeun komponén konci dipaké dina sagala rupa prosés manufaktur semikonduktor. Kami nganggo téknologi anu dipaténkeun pikeun ngajantenkeun suscetpor dilapis SiC kalayan kamurnian anu luhur pisan, kaseragaman palapis anu saé sareng umur jasa anu saé, ogé résistansi kimiawi anu luhur sareng sipat stabilitas termal.

Keunggulan produk kami :

1. Résistansi oksidasi suhu luhur nepi ka 1700 ℃.
2. purity tinggi na uniformity termal
3. Alus lalawanan korosi: asam, alkali, uyah jeung réagen organik.
4. karasa High, beungeut kompak, partikel rupa.
5. hirup layanan leuwih panjang sarta leuwih awét

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis
性质 / Harta	典型数值 / Niley has
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Kapadetan	3,21 g/cm³
硬度 / Teu karasa	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Ukuran Gandum	2~10μm
纯度 / Kamurnian Kimia	99.99995%
热容 / Kapasitas panas	640 J·kg^-1· K^-1
升华温度 / Suhu sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Kakuatan Flexural	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus ngora	430 Gpa 4pt ngalipet, 1300 ℃
导热系数 / TérmalKonduktivitas	300W·m^-1· K^-1
热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy mangrupakeun produsén profésional fokus dina R&D jeung produksi high-end bahan canggih kayaning grafit, silikon carbide, quartz, kitu ogé perlakuan bahan kawas SiC palapis, TaC palapis, palapis karbon glassy, palapis karbon pyrolytic, jsb produk nu loba dipaké dina photovoltaic, semikonduktor, énergi anyar, metallurgy, jsb.

Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.

Keunggulan VET Energy meliputi:
• pabrik sorangan jeung laboratorium profésional;
• Industri-ngarah tingkat purity jeung kualitas;
• harga kalapa & waktos pangiriman gancang;
• Sababaraha partnerships industri di sakuliah dunya;

Kami ngabagéakeun anjeun nganjang ka pabrik sareng laboratorium kami iraha waé!