वेफरसाठी SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर आणि वाहक

वेफरसाठी SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर आणि कॅरियर वैशिष्ट्यीकृत प्रतिमा

संक्षिप्त वर्णन:

व्हीईटी एनर्जी एसआयसी कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर हे एक उच्च-कार्यक्षमता असलेले उत्पादन आहे जे दीर्घ कालावधीसाठी सातत्यपूर्ण आणि विश्वासार्ह कामगिरी प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. त्यात अतिशय चांगली उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता, उच्च शुद्धता, क्षरण प्रतिरोधकता आहे, ज्यामुळे ते वेफर प्रक्रिया अनुप्रयोगांसाठी परिपूर्ण उपाय बनते.

साहित्य:उच्च शुद्धता समस्थानिक ग्रेफाइट

शुद्धीकरण: <५ पीपीएम

लेप:CVD-SiC, CVD-TaC, पायरो-कार्बन

OEM आणि ODM:उपलब्ध

आम्हाला ईमेल पाठवा पीडीएफ म्हणून डाउनलोड करा

उत्पादन तपशील

उत्पादन टॅग्ज

SiC लेपित ग्रेफाइट ससेटपोरविविध अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रियांमध्ये वापरला जाणारा हा एक प्रमुख घटक आहे. आम्ही आमच्या पेटंट केलेल्या तंत्रज्ञानाचा वापर करून SiC लेपित ससेप्टोर अत्यंत उच्च शुद्धता, चांगली कोटिंग एकरूपता आणि उत्कृष्ट सेवा आयुष्य, तसेच उच्च रासायनिक प्रतिकार आणि थर्मल स्थिरता गुणधर्मांसह बनवतो.

आमच्या उत्पादनांची वैशिष्ट्ये:

1. १७००℃ पर्यंत उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध.
२. उच्च शुद्धता आणि थर्मल एकरूपता
३. उत्कृष्ट गंज प्रतिकार: आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मक.
४. उच्च कडकपणा, कॉम्पॅक्ट पृष्ठभाग, बारीक कण.
५. जास्त काळ सेवा आयुष्य आणि अधिक टिकाऊ

सीव्हीडी SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC चे मूलभूत भौतिक गुणधर्मलेप
性质 / मालमत्ता	典型数值 / सामान्य मूल्य
晶体结构 / क्रिस्टल रचना	एफसीसी β टप्पा多晶, 主要为 (111）取向
密度 / घनता	३.२१ ग्रॅम/सेमी³
硬度 / कडकपणा	2500 维氏硬度（500g लोड）
晶粒大小 / धान्य आकार	२~१०μm
纯度 / रासायनिक शुद्धता	९९.९९९९५%
热容 / उष्णता क्षमता	६४० ज्यू किलोग्रॅम^-1·के^-1
升华温度 / उदात्तीकरण तापमान	२७०० ℃
抗弯强度 / लवचिक ताकद	४१५ एमपीए आरटी ४-पॉइंट
杨氏模量 / यंगचे मापांक	४३० Gpa ४pt बेंड, १३००℃
导热系数 / थर्माएलचालकता	३०० वॅट्स · मी^-1·के^-1
热膨胀系数 / थर्मल एक्सपेंशन (CTE)	४.५×१०^-6K^-1

व्हीईटी एनर्जी ही एक व्यावसायिक उत्पादक आहे जी ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड, क्वार्ट्ज सारख्या उच्च दर्जाच्या प्रगत साहित्यांच्या संशोधन आणि विकास आणि उत्पादनावर लक्ष केंद्रित करते, तसेच SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलिटिक कार्बन कोटिंग इत्यादी मटेरियल ट्रीटमेंटवर लक्ष केंद्रित करते. ही उत्पादने फोटोव्होल्टेइक, सेमीकंडक्टर, नवीन ऊर्जा, धातूशास्त्र इत्यादींमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरली जातात.

आमची तांत्रिक टीम शीर्ष देशांतर्गत संशोधन संस्थांकडून येते, तुमच्यासाठी अधिक व्यावसायिक साहित्य उपाय प्रदान करू शकते.

व्हीईटी एनर्जीच्या फायद्यांमध्ये हे समाविष्ट आहे:
• स्वतःचा कारखाना आणि व्यावसायिक प्रयोगशाळा;
• उद्योगातील अग्रगण्य शुद्धता पातळी आणि गुणवत्ता;
• स्पर्धात्मक किंमत आणि जलद वितरण वेळ;
• जगभरातील अनेक उद्योग भागीदारी;

आमच्या कारखान्याला आणि प्रयोगशाळेला कधीही भेट देण्यासाठी आम्ही तुमचे स्वागत करतो!