SiC-belagt grafitmodtager og bærer til wafer

Kort beskrivelse:

VET Energy SiC-belagt grafitsusceptor er et højtydende produkt designet til at give ensartet og pålidelig ydeevne over en længere periode. Den har super god varmebestandighed og termisk ensartethed, høj renhed og erosionsbestandighed, hvilket gør den til den perfekte løsning til waferbehandlingsapplikationer.

 

 


  • Materiale:Isostatisk grafit med høj renhed
  • Rensning: <5 ppm
  • Belægning:CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon
  • OEM ODM:Tilgængelig
  • Produktdetaljer

    Produktmærker

    SiC-belagt grafitsusceptorer en nøglekomponent, der anvendes i forskellige halvlederfremstillingsprocesser. Vi bruger vores patenterede teknologi til at fremstille den SiC-belagte suspension med ekstremt høj renhed, god belægningsensartethed og en fremragende levetid, samt høj kemisk resistens og termiske stabilitetsegenskaber.

    Funktioner ved vores produkter:

    1. Høj temperatur oxidationsmodstand op til 1700 ℃.
    2. Høj renhed og termisk ensartethed
    3. Fremragende korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
    4. Høj hårdhed, kompakt overflade, fine partikler.
    5. Længere levetid og mere holdbar

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning

    性质 / Ejendom

    典型数值 / Typisk værdi

    晶体结构 / Krystalstruktur

    FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

    密度 / Tæthed

    3,21 g/cm³

    硬度 / Hårdhed

    2500 维氏硬度(500g belastning)

    晶粒大小 / Kornstørrelse

    2~10 μm

    纯度 / Kemisk renhed

    99,99995%

    热容 / Varmekapacitet

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Sublimeringstemperatur

    2700 ℃

    抗弯强度 / Bøjningsstyrke

    415 MPa RT 4-punkts

    杨氏模量 / Youngs modul

    430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃

    导热系数 / ThermalLedningsevne

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Termisk ekspansion (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energi Grafit

    2

    VET Energy er en professionel producent, der fokuserer på forskning og udvikling samt produktion af avancerede materialer som grafit, siliciumcarbid og kvarts, samt materialebehandling som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig kulstofbelægning, pyrolytisk kulstofbelægning osv. Produkterne anvendes i vid udstrækning inden for solceller, halvledere, ny energi, metallurgi osv.

    Vores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og kan tilbyde dig mere professionelle materialeløsninger.

    VET Energys fordele omfatter:
    • Egen fabrik og professionelt laboratorium;
    • Brancheførende renhedsniveauer og kvalitet;
    • Konkurrencedygtig pris og hurtig leveringstid;
    • Flere branchepartnerskaber verden over;

    Vi byder dig velkommen til at besøge vores fabrik og laboratorium når som helst!

    研发团队

    公司客户


  • Tidligere:
  • Næste:

  • WhatsApp onlinechat!