SiC-coated grafytsusceptor en drager foar wafer

Koarte beskriuwing:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor is in heechweardige produkt ûntworpen om konsekwinte en betroubere prestaasjes te leverjen oer in langere perioade. It hat super goede waarmtebestriding en termyske uniformiteit, hege suverens, eroazjebestriding, wêrtroch it de perfekte oplossing is foar waferferwurkingsapplikaasjes.

Materiaal:Isostatyske grafyt mei hege suverens

Suvering: <5ppm

Bekleding:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-koalstof

OEM ODM:Beskikber

Stjoer e-post nei ús Download as PDF

Produktdetail

Produktlabels

SiC-coated grafyt susceptoris in kaaikomponint dat brûkt wurdt yn ferskate healgeleiderproduksjeprosessen. Wy brûke ús patintearre technology om de SiC-coated susceptor te meitsjen mei ekstreem hege suverens, goede coatinguniformiteit en in poerbêste libbensdoer, lykas hege gemyske wjerstân en termyske stabiliteitseigenskippen.

Eigenskippen fan ús produkten:

1. Hege temperatuer oksidaasjebestriding oant 1700 ℃.
2. Hege suverens en termyske uniformiteit
3. Uitstekende korrosjebestriding: soer, alkali, sâlt en organyske reagentia.
4. Hege hurdens, kompakt oerflak, fyn dieltsjes.
5. Langere tsjinstlibben en duorsumer

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCbedekking
性质 / Eigendom	典型数值 / Typyske wearde
晶体结构 / Kristalstruktuer	FCC β-faze多晶，主要为（111）取向
密度 / Dichtheid	3,21 g/cm³
硬度 / Hurdens	2500 维氏硬度（500g lading）
晶粒大小 / Nôtgrutte	2~10μm
纯度 / Gemyske suverens	99.99995%
热容 / Waarmtekapasiteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimaasjetemperatuer	2700 ℃
抗弯强度 / Bûgingssterkte	415 MPa RT 4-punt
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt bûging, 1300 ℃
导热系数 / TermalGeliedingsfermogen	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termyske útwreiding (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy is in profesjonele fabrikant dy't him rjochtet op R&D en produksje fan high-end avansearre materialen lykas grafyt, silisiumkarbid, kwarts, en ek materiaalbehanneling lykas SiC-coating, TaC-coating, glêzige koalstofcoating, pyrolytyske koalstofcoating, ensfh. De produkten wurde in soad brûkt yn fotovoltaïsche enerzjy, healgeleiders, nije enerzjy, metallurgy, ensfh.

Us technysk team komt fan top ynlânske ûndersyksynstellingen, kin mear profesjonele materiaaloplossingen foar jo leverje.

Foardielen fan VET Energy omfetsje:
• Eigen fabryk en profesjoneel laboratoarium;
• Yndustryliedende suverheidsnivo's en kwaliteit;
• Kompetitive priis & Snelle levertiid;
• Meardere yndustrypartnerskippen wrâldwiid;

Wy ferwolkomje jo om ús fabryk en laboratoarium op elk momint te besykjen!