Bộ phận đỡ và giá đỡ bằng than chì phủ SiC cho tấm wafer

Mô tả ngắn gọn:

Tấm đỡ quang phủ SiC của VET Energy là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để cung cấp hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong thời gian dài. Sản phẩm có khả năng chịu nhiệt và độ đồng đều nhiệt tuyệt vời, độ tinh khiết cao, khả năng chống ăn mòn, trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.

Vật liệu:Than chì đẳng tĩnh độ tinh khiết cao

Thanh lọc: <5ppm

Lớp phủ:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-carbon

OEM ODM:Có sẵn

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Giá đỡ than chì phủ SiCSiC là một thành phần quan trọng được sử dụng trong nhiều quy trình sản xuất chất bán dẫn. Chúng tôi sử dụng công nghệ được cấp bằng sáng chế của mình để sản xuất chất nền phủ SiC với độ tinh khiết cực cao, độ đồng nhất lớp phủ tốt và tuổi thọ sử dụng tuyệt vời, cũng như khả năng kháng hóa chất và ổn định nhiệt cao.

Đặc điểm nổi bật của sản phẩm chúng tôi:

1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao lên đến 1700℃.
2. Độ tinh khiết cao và tính đồng nhất về nhiệt độ
3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: axit, kiềm, muối và các chất phản ứng hữu cơ.
4. Độ cứng cao, bề mặt đặc chắc, hạt mịn.
5. Tuổi thọ cao hơn và bền hơn

Bệnh tim mạch SiC薄膜基本物理性能 Các tính chất vật lý cơ bản của SiC CVDlớp phủ
性质 / Tài sản	典型数值 Giá trị điển hình
晶体结构 Cấu trúc tinh thể	Pha β của FCC多晶, 主要为（111)取向
密度 / Tỉ trọng	3,21 g/cm³
硬度 Độ cứng	2500 维氏硬度(tải 500g)
晶粒大小 / Kích thước hạt	2~10μm
纯度 Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
热容 / Dung lượng nhiệt	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Nhiệt độ thăng hoa	2700℃
抗弯强度 Sức mạnh uốn cong	415 MPa RT 4 điểm
杨氏模量 Mô đun Young	Uốn cong 4 điểm, 430 GPa, 1300℃
导热系数 / ThermalĐộ dẫn điện	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Hệ số giãn nở nhiệt (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy là nhà sản xuất chuyên nghiệp tập trung vào nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất các vật liệu cao cấp tiên tiến như than chì, cacbua silic, thạch anh, cũng như các công đoạn xử lý vật liệu như phủ SiC, phủ TaC, phủ cacbon thủy tinh, phủ cacbon nhiệt phân, v.v. Sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.

Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.

Ưu điểm của VET Energy bao gồm:
• Sở hữu nhà máy và phòng thí nghiệm chuyên nghiệp;
• Độ tinh khiết và chất lượng hàng đầu trong ngành;
• Giá cả cạnh tranh & Thời gian giao hàng nhanh chóng;
• Nhiều quan hệ đối tác trong ngành trên toàn thế giới;

Chúng tôi hoan nghênh quý khách đến thăm nhà máy và phòng thí nghiệm của chúng tôi bất cứ lúc nào!