Susceptor Graphite SiC Ti a Bo Ati Olumulo Fun Wafer

Apejuwe kukuru:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor jẹ ọja ti o ni iṣẹ giga ti a ṣe apẹrẹ lati pese iṣẹ deede ati igbẹkẹle lori akoko ti o gbooro sii. O ni o ni Super ti o dara ooru resistance ati ki o gbona uniformity, ga ti nw, ogbara resistance, ṣiṣe awọn ti o ni pipe ojutu fun wafer processing awọn ohun elo.

 

 


  • Ohun elo:Ga ti nw isostatic lẹẹdi
  • Ìwẹ̀nùmọ́: <5ppm
  • Aso:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-erogba
  • OEM ODM:Wa
  • Alaye ọja

    ọja Tags

    SiC ti a bo lẹẹdi suscetporjẹ paati bọtini ti a lo ni ọpọlọpọ awọn ilana iṣelọpọ semikondokito. A lo imọ-ẹrọ itọsi wa lati ṣe suscetpor ti a bo SiC pẹlu mimọ ti o ga pupọ, aṣọ aṣọ ti o dara ati igbesi aye iṣẹ ti o dara julọ, bii resistance kemikali giga ati awọn ohun-ini iduroṣinṣin gbona.

    Awọn ẹya ara ẹrọ ti awọn ọja wa:

    1. Agbara ifoyina iwọn otutu to gaju to 1700 ℃.
    2. Ga ti nw ati ki o gbona uniformity
    3. O tayọ ipata resistance: acid, alkali, iyo ati Organic reagents.
    4. Lile giga, dada iwapọ, awọn patikulu ti o dara.
    5. Gigun iṣẹ igbesi aye ati diẹ sii ti o tọ

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCti a bo

    性质 / Ohun ini

    典型数值 / Aṣoju Iye

    晶体结构 / Crystal Be

    FCC β ipele多晶,主要为(111)取向

    密度 / iwuwo

    3.21 g/cm³

    硬度 / Lile

    2500 维氏硬度 (ẹrù 500g)

    晶粒大小 / Ọkà SiZe

    2 ~ 10μm

    纯度 / Kemikali ti nw

    99.99995%

    热容 / Ooru Agbara

    640 · kg-1· K-1

    升华温度 / Sublimation otutu

    2700 ℃

    抗弯强度 / Agbara Flexural

    415 MPa RT 4-ojuami

    杨氏模量 / Young's Modul

    430 Gpa 4pt tẹ, 1300 ℃

    导热系数 / ThermalIwa ihuwasi

    300W·m-1· K-1

    热膨胀系数 / Imugboroosi Gbona (CTE)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy Graphite

    2

    Agbara VET jẹ olupese ọjọgbọn ti o fojusi lori R&D ati iṣelọpọ ti awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju giga-giga gẹgẹbi graphite, silikoni carbide, quartz, ati itọju ohun elo bii ibora SiC, ibora TaC, ideri carbon glassy, ​​pyrolytic carbon bo, ati bẹbẹ lọ.

    Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ sii fun ọ.

    Awọn anfani Agbara VET pẹlu:
    • Ti ara factory ati awọn ọjọgbọn yàrá;
    • Awọn ipele mimọ ti ile-iṣẹ ati didara;
    • Idije owo & Yara ifijiṣẹ akoko;
    • Awọn ajọṣepọ ile-iṣẹ pupọ ni agbaye;

    A ṣe itẹwọgba fun ọ lati wo ile-iṣẹ wa ati ile-iṣẹ ni eyikeyi akoko!

    研发团队

    公司客户


  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • WhatsApp Online iwiregbe!