Susceptor i portador de grafit recobert de SiC per a oblia

Descripció breu:

El susceptor de grafit recobert de SiC de VET Energy és un producte d'alt rendiment dissenyat per proporcionar un rendiment consistent i fiable durant un període prolongat. Té una resistència a la calor i uniformitat tèrmica súper bones, alta puresa i resistència a l'erosió, cosa que el converteix en la solució perfecta per a aplicacions de processament de galetes.

Material:Grafit isostàtic d'alta puresa

Purificació: <5 ppm

Recobriment:CVD-SiC, CVD-TaC, Pirocarboni

OEM ODM:Disponible

Envia'ns un correu electrònic Descarrega com a PDF

Detall del producte

Etiquetes de producte

Suscetpor de grafit recobert de SiCés un component clau utilitzat en diversos processos de fabricació de semiconductors. Utilitzem la nostra tecnologia patentada per fabricar el suscetpor recobert de SiC amb una puresa extremadament alta, una bona uniformitat del recobriment i una vida útil excel·lent, així com propietats d'alta resistència química i estabilitat tèrmica.

Característiques dels nostres productes:

1. Resistència a l'oxidació a altes temperatures fins a 1700 ℃.
2. Alta puresa i uniformitat tèrmica
3. Excel·lent resistència a la corrosió: àcids, àlcalis, sals i reactius orgànics.
4. Alta duresa, superfície compacta, partícules fines.
5. Vida útil més llarga i més durador

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propietats físiques bàsiques del SiC CVDrecobriment
性质 / Propietat	典型数值 / Valor típic
晶体结构 / Estructura cristal·lina	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitat	3,21 g/cm³
硬度 / Duresa	2500 维氏硬度（càrrega de 500g）
晶粒大小 / Mida del gra	2~10 μm
纯度 / Puresa química	99,99995%
热容 / Capacitat calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimació	2700 ℃
抗弯强度 / Resistència a la flexió	415 MPa RT 4 punts
杨氏模量 / Mòdul de Young	Corba de 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
导热系数 / TermalConductivitat	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansió tèrmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy és un fabricant professional centrat en la R+D i la producció de materials avançats d'alta gamma com ara grafit, carbur de silici, quars, així com el tractament de materials com ara recobriment de SiC, recobriment de TaC, recobriment de carboni vitri, recobriment de carboni pirolític, etc. Els productes s'utilitzen àmpliament en fotovoltaica, semiconductors, noves energies, metal·lúrgia, etc.

El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals i us pot proporcionar solucions de materials més professionals.

Els avantatges energètics de VET inclouen:
• Fàbrica pròpia i laboratori professional;
• Nivells de puresa i qualitat líders en la indústria;
• Preu competitiu i termini de lliurament ràpid;
• Múltiples associacions industrials a tot el món;

Us convidem a visitar la nostra fàbrica i laboratori en qualsevol moment!