ตัวรองรับและตัวยึดแผ่นเวเฟอร์กราไฟต์เคลือบ SiC

ภาพประกอบ: ตัวรองรับและตัวยึดกราไฟต์เคลือบ SiC สำหรับเวเฟอร์

คำอธิบายโดยย่อ:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อมอบประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ในระยะเวลาอันยาวนาน มีคุณสมบัติทนความร้อนและกระจายความร้อนได้ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน จึงเป็นโซลูชันที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในกระบวนการผลิตเวเฟอร์

วัสดุ:กราไฟต์ไอโซสแตติกความบริสุทธิ์สูง

กระบวนการทำให้บริสุทธิ์: <5ppm

การเคลือบผิว:ซีวีดี-ซิลิกา, ซีวีดี-แทค, ไพโรคาร์บอน

OEM ODM:มีอยู่

ส่งอีเมลถึงเรา ดาวน์โหลดเป็นไฟล์ PDF

รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

สารตั้งต้นกราไฟต์เคลือบ SiCSiC เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เราใช้เทคโนโลยีที่จดสิทธิบัตรของเราในการผลิตสารกึ่งตัวนำเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก มีความสม่ำเสมอในการเคลือบที่ดีเยี่ยม อายุการใช้งานยาวนาน รวมถึงมีคุณสมบัติทนต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนสูง

คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ของเรา:

1. ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงถึง 1700℃
2. ความบริสุทธิ์สูงและการกระจายความร้อนสม่ำเสมอ
3. ทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: กรด ด่าง เกลือ และสารเคมีอินทรีย์
4. มีความแข็งสูง ผิวเรียบเนียน อนุภาคละเอียด
5. อายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนทานมากขึ้น

โรคหลอดเลือดหัวใจ SiC薄膜基本物理性能 คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ
性质 / คุณสมบัติ	典型数值 / มูลค่าทั่วไป
晶体结构 / โครงสร้างผลึก	เฟส FCC β多晶，主要为（111）取向
密度 / ความหนาแน่น	3.21 กรัม/ซม³
硬度 / ความแข็ง	2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)
晶粒大小 / ขนาดเมล็ด	2~10 ไมโครเมตร
纯度 / ความบริสุทธิ์ทางเคมี	99.99995%
热容 / ความจุความร้อน	640 จูล·กก.^-1·K^-1
升华温度 อุณหภูมิการระเหิด	2700℃
抗弯强度 / ความแข็งแรงดัดงอ	415 MPa RT 4 จุด
杨氏模量 โมดูลัสของยัง	430 GPa ดัด 4 จุด 1300℃
导热系数 / เทอร์มาลการนำไฟฟ้า	300 วัตต์·เมตร^-1·K^-1
热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy เป็นผู้ผลิตมืออาชีพที่มุ่งเน้นการวิจัยและพัฒนาและการผลิตวัสดุขั้นสูงระดับไฮเอนด์ เช่น กราไฟต์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ ควอตซ์ รวมถึงการปรับปรุงคุณภาพวัสดุ เช่น การเคลือบ SiC การเคลือบ TaC การเคลือบคาร์บอนแก้ว การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก เป็นต้น ผลิตภัณฑ์เหล่านี้ถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางในด้านพลังงานแสงอาทิตย์ เซมิคอนดักเตอร์ พลังงานใหม่ โลหะวิทยา และอื่นๆ

ทีมงานด้านเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถนำเสนอโซลูชันด้านวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากยิ่งขึ้นให้แก่คุณได้

ข้อดีของ VET Energy ได้แก่:
• มีโรงงานและห้องปฏิบัติการระดับมืออาชีพเป็นของตนเอง
• ระดับความบริสุทธิ์และคุณภาพที่เป็นเลิศในระดับชั้นนำของอุตสาหกรรม
• ราคาที่แข่งขันได้และเวลาจัดส่งที่รวดเร็ว
• มีความร่วมมือกับภาคอุตสาหกรรมหลากหลายแห่งทั่วโลก

เรายินดีต้อนรับท่านเข้าเยี่ยมชมโรงงานและห้องปฏิบัติการของเราได้ทุกเมื่อ!