ตัวรับและตัวพากราไฟต์เคลือบ SiC สำหรับเวเฟอร์

คำอธิบายสั้น ๆ :

ตัวรับกราไฟต์เคลือบ SiC ของ VET Energy เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อมอบประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ยาวนาน มีคุณสมบัติทนความร้อนและความสม่ำเสมอของความร้อนได้ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการสึกกร่อน ทำให้เป็นโซลูชันที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานการประมวลผลเวเฟอร์

 

 


  • วัสดุ:กราไฟท์ไอโซสแตติกที่มีความบริสุทธิ์สูง
  • การฟอก: <5หน้าต่อนาที
  • การเคลือบ:CVD-SiC, CVD-TaC, ไพโรคาร์บอน
  • โออีเอ็มดี:มีอยู่
  • รายละเอียดสินค้า

    แท็กสินค้า

    รูยึดกราไฟท์เคลือบ SiCเป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เราใช้เทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรของเราในการผลิตวัสดุเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก มีความสม่ำเสมอของการเคลือบที่ดี และมีอายุการใช้งานที่ยอดเยี่ยม รวมถึงมีคุณสมบัติทนทานต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนสูง

    คุณสมบัติของสินค้าของเรา:

    1. ทนทานต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงถึง 1,700℃
    2. ความบริสุทธิ์สูงและความสม่ำเสมอของความร้อน
    3. ทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: กรด ด่าง เกลือ และสารอินทรีย์
    4. ความแข็งสูง พื้นผิวแน่น อนุภาคละเอียด
    5. อายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนทานยิ่งขึ้น

    โรคหลอดเลือดหัวใจ SiC薄膜基本物理性能

    คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

    性质 / คุณสมบัติ

    典型数值 / ค่าทั่วไป

    晶体结构 / โครงสร้างผลึก

    เฟส β ของ FCC多晶,主要为(111)取向

    密度 / ความหนาแน่น

    3.21 ก./ซม.³

    硬度 / ความแข็ง

    2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

    晶粒大小 / ขนาดเมล็ดพืช

    2~10ไมโครเมตร

    纯度 / ความบริสุทธิ์ทางเคมี

    99.99995%

    热容 / ความจุความร้อน

    640 จ·กก.-1·เค-1

    升华温度 / อุณหภูมิการระเหิด

    2700℃

    抗弯强度 / ความแข็งแรงในการดัดงอ

    415 MPa RT 4 จุด

    杨氏模量 / โมดูลัสของยัง

    430 Gpa 4pt โค้ง 1300℃

    导热系数 / เทอร์มาการนำไฟฟ้า

    300 วัตต์·ม.-1·เค-1

    热膨胀系数 / การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (CTE)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    วีอีที เอเนอร์ยี กราไฟท์

    2

    VET Energy เป็นผู้ผลิตระดับมืออาชีพที่เน้นด้านการวิจัยและพัฒนา (R&D) และการผลิตวัสดุขั้นสูง เช่น กราไฟท์ ซิลิกอนคาร์ไบด์ ควอตซ์ รวมถึงการปรับปรุงคุณภาพวัสดุ เช่น การเคลือบ SiC การเคลือบ TaC การเคลือบคาร์บอนแก้ว การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก เป็นต้น ผลิตภัณฑ์เหล่านี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมโซลาร์เซลล์ เซมิคอนดักเตอร์ พลังงานใหม่ โลหะวิทยา เป็นต้น

    ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยในประเทศชั้นนำ และสามารถมอบโซลูชันวัสดุระดับมืออาชีพให้กับคุณได้

    ข้อดีของ VET Energy ได้แก่:
    • โรงงานของตนเองและห้องปฏิบัติการมืออาชีพ
    • ระดับความบริสุทธิ์และคุณภาพชั้นนำของอุตสาหกรรม
    • ราคาที่แข่งขันได้ & เวลาจัดส่งที่รวดเร็ว
    • ความร่วมมือระหว่างอุตสาหกรรมต่างๆ ทั่วโลก

    เรายินดีต้อนรับคุณเข้าเยี่ยมชมโรงงานและห้องปฏิบัติการของเราได้ตลอดเวลา!

    研发团队

    公司客户


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ผ่าน WhatsApp!