SiC Coated Graphite Susceptor Ug Carrier Para sa Wafer

SiC Coated Graphite Susceptor Ug Carrier Alang sa Wafer Featured Image

Mubo nga Deskripsyon:

Ang VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor usa ka high-performance nga produkto nga gidisenyo aron maghatag makanunayon ug kasaligan nga performance sa taas nga panahon. Kini adunay maayo kaayo nga pagbatok sa kainit ug pagkakapareho sa thermal, taas nga kaputli, pagsukol sa erosion, nga naghimo niini nga hingpit nga solusyon alang sa mga aplikasyon sa pagproseso sa wafer.

Materyal nga:Taas nga kaputli isostatic graphite

Pagputli: <5ppm

Taklap:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-carbon

OEM ODM:Anaa

Ipadala ang email kanamo I-download isip PDF

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

SiC adunay sapaw nga graphite suscetporusa ka hinungdanon nga sangkap nga gigamit sa lainlaing mga proseso sa paghimo sa semiconductor. Gigamit namon ang among patente nga teknolohiya aron mahimo ang SiC nga adunay sapaw nga suscetpor nga adunay labi ka taas nga kaputli, maayo nga pagkaparehas sa coating ug usa ka maayo kaayo nga kinabuhi sa serbisyo, ingon man taas nga pagsukol sa kemikal ug mga kabtangan sa kalig-on sa thermal.

Mga bahin sa among mga produkto:

1. Taas nga temperatura nga pagsukol sa oksihenasyon hangtod sa 1700 ℃.
2. Taas nga kaputli ug thermal uniformity
3. Maayo kaayo nga pagsukol sa kaagnasan: acid, alkali, asin ug mga organikong reagents.
4. Taas nga katig-a, compact nga nawong, maayong mga partikulo.
5. Mas taas nga serbisyo sa kinabuhi ug mas lig-on

CVD SiC薄膜基本物理性能 Panguna nga pisikal nga mga kabtangan sa CVD SiCsapaw
性质 / Property	典型数值 / Kinaandan nga Bili
晶体结构 / Kristal nga Istruktura	FCC β nga hugna多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3.21 g/cm³
硬度 / Katig-a	2500 维氏硬度（500g load）
晶粒大小 / Grain Laki	2~10μm
纯度 / Pagkaputli sa Kemikal	99.99995%
热容 / Kapasidad sa Kainit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimation Temperatura	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural nga Kusog	415 MPa RT 4-puntos
杨氏模量 / Modulus sa Batan-on	430 Gpa 4pt bend, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivity	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion(CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ang VET Energy usa ka propesyonal nga tiggama nga nagpunting sa R&D ug paghimo sa mga high-end nga advanced nga materyales sama sa graphite, silicon carbide, quartz, ingon man ang materyal nga pagtambal sama sa SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ug uban pa.

Ang among teknikal nga grupo naggikan sa mga nanguna nga mga institusyon sa panukiduki sa lokal, makahatag labi ka propesyonal nga mga solusyon sa materyal alang kanimo.

Ang mga bentaha sa VET Energy naglakip sa:
• Kaugalingong pabrika ug propesyonal nga laboratoryo;
• Ang nanguna sa industriya sa kaputli ug kalidad;
• Competitive nga presyo & Fast delivery nga panahon;
• Daghang pakigtambayayong sa industriya sa tibuok kalibotan;

Giabiabi ka namo sa pagbisita sa among pabrika ug laboratoryo bisan unsang orasa!