SiC Coated Graphite Susceptor Ug Carrier Para sa Wafer

Mubo nga Deskripsyon:

Ang VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor usa ka taas nga performance nga produkto nga gidisenyo aron makahatag og makanunayon ug kasaligan nga performance sa taas nga panahon. Kini adunay maayo kaayong heat resistance ug thermal uniformity, taas nga purity, ug erosion resistance, nga naghimo niini nga hingpit nga solusyon para sa mga aplikasyon sa wafer processing.

Materyal:Taas nga kaputli nga isostatic graphite

Pagputli: <5ppm

Pagtabon:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-carbon

OEM/ODM:Anaa

Padad-i kami og email I-download isip PDF

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

SiC coated graphite susceptorusa ka importanteng sangkap nga gigamit sa nagkalain-laing proseso sa paggama sa semiconductor. Gigamit namo ang among patented nga teknolohiya aron mahimo ang SiC coated suscetpor nga adunay taas kaayo nga kaputli, maayong pagkaparehas sa coating ug maayo kaayo nga kinabuhi sa serbisyo, ingon man taas nga resistensya sa kemikal ug thermal stability nga mga kabtangan.

Mga Kinaiya sa among mga Produkto:

1. Taas nga temperatura nga resistensya sa oksihenasyon hangtod sa 1700℃.
2. Taas nga kaputli ug pagkaparehas sa kainit
3. Maayo kaayo nga resistensya sa kaagnasan: asido, alkali, asin ug organikong mga reagent.
4. Taas nga katig-a, compact nga nawong, pino nga mga partikulo.
5. Mas taas nga kinabuhi sa serbisyo ug mas lig-on

CVD SiC薄膜基本物理性能 Mga batakang pisikal nga kabtangan sa CVD SiCpatong
性质 / Kabtangan	典型数值 / Kasagaran nga Bili
晶体结构 / Kristal nga Istruktura	Hugna sa FCC β多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3.21 g/cm³
硬度 / Katig-a	2500 维氏硬度（500g load）
晶粒大小 / Gidak-on sa Lugas	2~10μm
纯度 / Kemikal nga Kaputli	99.99995%
热容 / Kapasidad sa Init	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sa Sublimasyon	2700℃
抗弯强度 / Kusog sa Pag-flex	415 MPa RT 4-punto
杨氏模量 / Modulus ni Young	430 Gpa 4pt nga liko, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduktibidad	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Pagpalapad sa Init (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ang VET Energy usa ka propesyonal nga tiggama nga nagpunting sa R&D ug produksiyon sa mga high-end advanced nga materyales sama sa graphite, silicon carbide, quartz, ingon man ang material treatment sama sa SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ug uban pa. Ang mga produkto kaylap nga gigamit sa photovoltaic, semiconductor, new energy, metallurgy, ug uban pa.

Ang among teknikal nga grupo gikan sa mga nanguna nga institusyon sa panukiduki sa nasud, makahatag ug mas propesyonal nga mga solusyon sa materyal para kanimo.

Ang mga bentaha sa VET Energy naglakip sa:
• Kaugalingong pabrika ug propesyonal nga laboratoryo;
• Nanguna sa industriya nga lebel sa kaputli ug kalidad;
• Kompetitibong presyo ug paspas nga oras sa paghatud;
• Daghang mga panag-uban sa industriya sa tibuok kalibutan;

Gidawat ka namo sa pagbisita sa among pabrika ug laboratoryo bisan unsang orasa!