SiC voarakotra graphite Susceptor sy Carrier ho an'ny Wafer

Sary nasongadina momba ny fitaovana famehezana sy mpitatitra grafita voarakotra SiC ho an'ny Wafer

Famaritana fohy:

Ny VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor dia vokatra avo lenta natao hanomezana fahombiazana tsy tapaka sy azo ianteherana mandritra ny fotoana maharitra. Manana fanoherana hafanana sy fitoviana mafana tena tsara izy io, fahadiovana avo lenta, fanoherana ny fahasimbana, ka mahatonga azy io ho vahaolana tonga lafatra amin'ny fampiharana fanodinana wafer.

Akora:Grafita isostatika fahadiovana avo lenta

Fanadiovana: <5ppm

Fandrakofana:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-karbôna

OEM sy ODM:Available

Alefaso mailaka aminay Sintomy amin'ny endrika PDF

Antsipirian'ny vokatra

Marika vokatra

SiC voarakotra grafita susceptordia singa fototra ampiasaina amin'ny dingana famokarana semiconductor isan-karazany. Mampiasa ny teknolojia manana patanty izahay mba hanaovana ny sosona SiC malefaka miaraka amin'ny fahadiovana avo lenta, fitoviana tsara amin'ny coating ary faharetan'ny fampiasana tsara, ary koa fanoherana simika avo lenta sy fahamarinan-toerana mafana.

Toetra mampiavaka ny vokatra atolotray:

1. Fanoherana ny oksidasiona amin'ny mari-pana avo hatramin'ny 1700 ℃.
2. Fahadiovana avo lenta sy fitoviana ara-hafanana
3. Fanoherana harafesina tsara dia tsara: asidra, alkali, sira ary akora organika.
4. Hamafin'ny tany, velarana matevina, poti-javatra madinika.
5. Faharetana maharitra kokoa ary maharitra kokoa

CVD SiC薄膜基本物理性能 Toetra ara-batana fototra an'ny CVD SiCfanosotra
性质 / Fananana	典型数值 / Sanda mahazatra
晶体结构 / Rafitra Kristaly	Dingana FCC β多晶，主要为（111）取向
密度 / Hakitroky	3.21 g/sm³
硬度 / Fahamafisana	2500 维氏硬度（500g entana）
晶粒大小 / Haben'ny voamaina	2~10μm
纯度 / Fahadiovana simika	99.99995%
热容 / Fahafahana mafana	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Hafanana Sublimation	2700℃
抗弯强度 / Tanjaka miolikolika	415 MPa RT 4-teboka
杨氏模量 / Modulus an'i Young	430 Gpa 4pt miolikolika, 1300℃
导热系数 / ThermalFitondran-tena	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Fanitarana ny hafanana (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Mpanamboatra matihanina ny VET Energy izay mifantoka amin'ny R&D sy ny famokarana akora avo lenta toy ny grafita, karbida silikônina, quartz, ary koa ny fikarakarana akora toy ny coating SiC, coating TaC, coating karbônina misy fitaratra, coating karbônina pyrolytic, sns. Ireo vokatra ireo dia ampiasaina betsaka amin'ny photovoltaic, semiconductor, angovo vaovao, metallurgie, sns.

Avy amin'ny andrim-pikarohana ambony ao an-toerana ny ekipa ara-teknika anay, afaka manome vahaolana ara-nofo matihanina kokoa ho anao.

Ireto avy ireo tombony azo avy amin'ny VET Energy:
• Orinasa manokana sy laboratoara matihanina;
• Haavo sy kalitao avo lenta indrindra amin'ny indostria;
• Vidiny mifaninana & fotoana fanaterana haingana;
• Fiaraha-miasa amin'ny indostria maro maneran-tany;

Tongasoa eto amin'ny fitsidihanao ny orinasanay sy ny laboratoara amin'ny fotoana rehetra!