SiC Coated Graphite Susceptor sy Carrier ho an'ny Wafer

SiC Coated Graphite Susceptor sy Carrier ho an'ny sary nasongadina Wafer

Famaritana fohy:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor dia vokatra avo lenta natao hanomezana fampisehoana tsy miovaova sy azo itokisana mandritra ny fotoana maharitra. Izy io dia manana fanoherana hafanana tsara sy hafanana mafana, fahadiovana avo, fanoherana ny erosion, ka mahatonga azy io ho vahaolana tonga lafatra ho an'ny fampiharana fanodinana wafer.

Fitaovana:High pure isostatic graphite

Fanadiovana: <5ppm

coating:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-carbon

OEM ODM:Available

Alefaso mailaka aminay Alefaso amin'ny PDF

Product Detail

Tags vokatra

SiC coated graphite suscetpordia singa fototra ampiasaina amin'ny dingana famokarana semiconductor isan-karazany. Mampiasa ny teknolojia patentinay izahay mba hahatonga ny suscetpor mifono SiC miaraka amin'ny fahadiovana avo dia avo, fanamiana coating tsara ary fiainana serivisy tsara, ary koa ny fanoherana simika avo lenta sy ny toetran'ny hafanana mafana.

Endriky ny vokatray:

1. Avo fanoherana oxidation ny mari-pana hatramin'ny 1700 ℃.
2. Ny fahadiovana ambony sy ny fitovian'ny hafanana
3. Tena fanoherana harafesina: asidra, alkali, sira ary reagents organika.
4. Ny hamafin'ny avo, matevina ambonin'ny, poti tsara.
5. fiainana lava kokoa sy maharitra kokoa

CVD SiC薄膜基本物理性能 Toetra ara-batana fototra amin'ny CVD SiCcoating
性质 / Fananana	典型数值 / Sanda mahazatra
晶体结构 / Rafitra kristaly	FCC β phase多晶，主要为（111）取向
密度 / Hateza	3,21 g/cm³
硬度 / Hafàna	2500 维氏硬度（500g entana）
晶粒大小 / Ny voamaina	2~10μm
纯度 / Fahadiovana simika	99.99995%
热容 / Hafanana	640 kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperature Sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Hery flexural	415 MPa RT 4 teboka
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt fiondrika, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivity	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Fanitarana Thermal (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ny VET Energy dia mpanamboatra matihanina mifantoka amin'ny R&D sy ny famokarana fitaovana avo lenta toy ny graphite, carbide silisiôma, quartz, ary koa ny fitsaboana ara-materialy toy ny SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, sns.

Ny ekipa teknika dia avy amin'ireo andrim-pikarohana ambony ao an-toerana, afaka manome vahaolana ara-pitaovana matihanina kokoa ho anao.

Ny tombony amin'ny VET Energy dia ahitana:
• Orinasa manokana sy laboratoara matihanina;
• Ny haavon'ny fahadiovana sy ny kalitaon'ny indostria;
• Mifaninana vidiny & Fast fanaterana fotoana;
• Fiaraha-miasa amin'ny indostria maro maneran-tany;

Miarahaba anao izahay hitsidika ny orinasa sy ny laboratoara amin'ny fotoana rehetra!