Susceptor e portador de grafito revestido de SiC para oblea

Susceptor e soporte de grafito revestido de SiC para oblea Imaxe destacada

Descrición curta:

O susceptor de grafito revestido de SiC de VET Energy é un produto de alto rendemento deseñado para proporcionar un rendemento consistente e fiable durante un período prolongado. Ten unha resistencia á calor e uniformidade térmica moi boas, alta pureza e resistencia á erosión, o que o converte na solución perfecta para aplicacións de procesamento de obleas.

Material:Grafito isostático de alta pureza

Purificación: <5 ppm

Revestimento:CVD-SiC, CVD-TaC, Pirocarbono

OEM ODM:Dispoñible

Envíanos un correo electrónico Descargar como PDF

Detalle do produto

Etiquetas do produto

Sustrato de grafito revestido de SiCé un compoñente clave empregado en varios procesos de fabricación de semicondutores. Empregamos a nosa tecnoloxía patentada para fabricar o suscetpor revestido de SiC cunha pureza extremadamente alta, boa uniformidade de revestimento e unha excelente vida útil, así como propiedades de alta resistencia química e estabilidade térmica.

Características dos nosos produtos:

1. Resistencia á oxidación a altas temperaturas ata 1700 ℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistencia á corrosión: ácidos, álcalis, sales e reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e máis duradeiro

Susceptor de grafito revestido de SiC (3)

Susceptor de grafito revestido de SiC (4)

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do SiC por CVDrevestimento
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura cristalina	Fase β da FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 维氏硬度（500g de carga）
晶粒大小 Tamaño do gran	2~10 μm
纯度 / Pureza química	99,99995%
热容 / Capacidade calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia á flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	Curva de 4 puntos de 430 Gpa, 1300 ℃
导热系数 / TermalCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Expansión térmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy é un fabricante profesional centrado na I+D e na produción de materiais avanzados de alta gama como grafito, carburo de silicio e cuarzo, así como no tratamento de materiais como revestimentos de SiC, TaC, carbono vítreo, carbono pirolítico, etc. Os produtos úsanse amplamente en fotovoltaica, semicondutores, novas enerxías, metalurxia, etc.

O noso equipo técnico provén de institucións de investigación nacionais de primeira liña e pode proporcionarche solucións de materiais máis profesionais.

As vantaxes de VET Energy inclúen:
• Fábrica propia e laboratorio profesional;
• Niveis de pureza e calidade líderes na industria;
• Prezo competitivo e prazo de entrega rápido;
• Múltiples asociacións industriais en todo o mundo;

Convidámosvos a visitar a nosa fábrica e laboratorio en calquera momento!