SiC beschichtete Grafit-Susceptor a Carrier fir Wafer

Kuerz Beschreiwung:

De VET Energy SiC beschichtete Graphit-Susceptor ass en héichperformant Produkt, dat entwéckelt gouf fir eng konsequent a verlässlech Leeschtung iwwer eng länger Zäit ze bidden. En huet eng super gutt Hëtztbeständegkeet an thermesch Uniformitéit, eng héich Rengheet an eng Erosiounsbeständegkeet, wat en zur perfekter Léisung fir Waferveraarbechtungsapplikatioune mécht.

Material:Isostatesch Grafit mat héijer Reinheet

Reinigung: <5ppm

Beschichtung:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-Kuelestoff

OEM ODM:Verfügbar

Schéckt eis eng E-Mail Als PDF eroflueden

Produktdetailer

Produkt Tags

SiC beschichtete Graphit-Suspensionass eng Schlësselkomponent, déi a verschiddene Prozesser vun der Hallefleederherstellung benotzt gëtt. Mir benotzen eis patentéiert Technologie fir de SiC-beschichtete Suspension mat extrem héijer Rengheet, gudder Beschichtungsuniformitéit an enger exzellenter Liewensdauer, souwéi héijer chemescher Resistenz an thermescher Stabilitéitseigenschaften ze produzéieren.

Eegeschafte vun eise Produkter:

1. Oxidatiounsbeständegkeet bei héijer Temperatur bis zu 1700 ℃.
2. Héich Rengheet a thermesch Uniformitéit
3. Excellent Korrosiounsbeständegkeet: Säure, Alkali, Salz an organesch Reagenzien.
4. Héich Härkeet, kompakt Uewerfläch, fein Partikelen.
5. Méi laang Liewensdauer a méi haltbar

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis physikalesch Eegeschafte vu CVD SiCBeschichtung
性质 / Immobilie	典型数值 / Typesche Wäert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC β Phase多晶，主要为（111) 取向
密度 / Dicht	3,21 g/cm³
硬度 / Häert	2500 维氏硬度（500g Belaaschtung）
晶粒大小 / Kärengréisst	2~10μm
纯度 / Chemesch Rengheet	99,99995%
热容 / Hëtztkapazitéit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatiounstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Biegfestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Young säi Modul	430 Gpa 4pt Bieg, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduktivitéit	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermesch Expansioun (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy ass e professionnelle Produzent, dee sech op d'Fuerschung an d'Entwécklung a Produktioun vun héichwäertege Materialien wéi Graphit, Siliziumcarbid a Quarz konzentréiert, souwéi op d'Materialveraarbechtung wéi SiC-Beschichtungen, TaC-Beschichtungen, glasartiger Kuelestoffbeschichtungen, pyrolytescher Kuelestoffbeschichtungen, etc. D'Produkter gi wäit verbreet an der Photovoltaik, am Hallefleederberäich, an der neier Energie, an der Metallurgie, etc. benotzt.

Eis technesch Equipe kënnt vun den Top-Fuerschungsinstituter aus dem Inland a kann Iech méi professionell Materialléisungen ubidden.

D'Virdeeler vun der VET Energy enthalen:
• Eege Fabréck a professionellt Laboratoire;
• Industrieféierend Rengheetsniveauen a Qualitéit;
• Kompetitive Präis & séier Liwwerzäit;
• Vill Partnerschafte mat der Industrie weltwäit;

Mir invitéieren Iech zu all Moment eis Fabréck a Laboratoire ze besichen!