SiCコーティングされたグラファイトサセトポールは、様々な半導体製造プロセスで使用される重要な構成要素です。当社は特許技術を用いて、極めて高い純度、優れたコーティング均一性、長寿命、そして高い耐薬品性と耐熱性を備えたSiCコーティング半導体を製造しています。
当社製品の特徴：
1. 1700℃までの高温酸化耐性。
2. 高純度と熱均一性
3. 優れた耐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
4. 高硬度、緻密な表面、微細粒子。
5. より長い耐用年数とより耐久性
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 標準値 |
| 結晶構造 結晶構造 | FCC β相多結晶、主に（111）取向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 硬度 | 2500维度硬度（500g荷重） |
| 結晶粒大小 / 粒の大きさ | 2～10μm |
| 度 化学的純度 | 99.99995% |
| 熱容 熱容量 | 640 J・kg-1・K-1 |
| 昇华温度 昇華温度 | 2700℃ |
| 抗强度 曲げ強度 | 415 MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 ヤング率 | 430 GPa 4点曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / テルマl導電率 | 300W・m-1・K-1 |
| 熱膨張胀系数 熱膨張係数（CTE） | 4.5×10-6K-1 |
VET Energyは、グラファイト、炭化ケイ素、石英などのハイエンド先端材料の研究開発および製造、ならびにSiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどの材料処理に特化した専門メーカーです。製品は、太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などの分野で幅広く使用されています。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。
VET Energyの利点は以下のとおりです。
・自社工場と専門研究所を所有。
・業界最高水準の純度と品質。
・競争力のある価格と迅速な配送時間。
・世界各地で複数の業界パートナーシップを締結。
いつでも工場と研究所へのご訪問を歓迎いたします！
