SiCコーティンググラファイトサセプタは、様々な半導体製造プロセスで使用される重要な部品です。当社は特許取得済みの技術を用いて、極めて高い純度、優れたコーティング均一性、優れた耐用年数、そして高い耐薬品性と熱安定性を備えたSiCコーティングサセプタを製造しています。
当社の製品の特徴:
1. 1700℃までの高温酸化耐性。
2. 高純度と熱均一性
3. 優れた耐腐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
4. 硬度が高く、表面が緻密で、粒子が細かい。
5. 長寿命と耐久性の向上
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 / 標準値 |
| 結晶構造 / 結晶構造 | FCCβ相多結晶、主である（111）取向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / 硬度 | 2500维度硬度（500g荷重） |
| 結晶粒大小 / 粒度 | 2～10μm |
| 度 / 化学純度 | 99.99995% |
| 熱容 / 熱容量 | 640 J·kg-1·K-1 |
| 昇华温度 / 昇華温度 | 2700℃ |
| 抗强度 / 曲げ強度 | 415 MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 / ヤング率 | 430 Gpa 4点曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / サーマl導電率 | 300W·m-1·K-1 |
| 熱膨張胀系数 / 熱膨張率(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energyは、グラファイト、炭化ケイ素、石英などのハイエンド先端材料の研究開発と製造、およびSiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどの材料処理に重点を置いた専門メーカーです。製品は、太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などに広く使用されています。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。
VET Energy の利点は次のとおりです:
• 自社工場と専門研究室
• 業界をリードする純度レベルと品質
• 競争力のある価格と迅速な納期
• 世界中で複数の業界パートナーシップを構築
弊社の工場と研究所へのご訪問はいつでも歓迎いたします！
