گیرنده و حامل گرافیتی روکش شده با SiC برای ویفر

شرح مختصر:

سوسپتور گرافیتی روکش‌دار VET Energy SiC محصولی با کارایی بالا است که برای ارائه عملکرد پایدار و قابل اعتماد در یک دوره طولانی طراحی شده است. این محصول دارای مقاومت حرارتی و یکنواختی حرارتی فوق‌العاده خوب، خلوص بالا و مقاومت در برابر فرسایش است و آن را به راه‌حلی ایده‌آل برای کاربردهای پردازش ویفر تبدیل می‌کند.

 

 


  • مواد:گرافیت ایزواستاتیک با خلوص بالا
  • تصفیه: <5ppm
  • پوشش:CVD-SiC، CVD-TaC، پیروکربن
  • نصب شده ODM:موجود است
  • جزئیات محصول

    برچسب‌های محصول

    سوستپور گرافیتی پوشش داده شده با SiCیک جزء کلیدی مورد استفاده در فرآیندهای مختلف تولید نیمه‌هادی است. ما از فناوری ثبت اختراع شده خود برای ساخت سوسپتپور پوشش داده شده با SiC با خلوص بسیار بالا، یکنواختی پوشش خوب و عمر مفید عالی و همچنین مقاومت شیمیایی و پایداری حرارتی بالا استفاده می‌کنیم.

    ویژگی‌های محصولات ما:

    ۱. مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا تا ۱۷۰۰ درجه سانتیگراد.
    ۲. خلوص بالا و یکنواختی حرارتی
    3. مقاومت عالی در برابر خوردگی: اسید، قلیا، نمک و مواد آلی.
    ۴. سختی بالا، سطح فشرده، ذرات ریز.
    5. عمر طولانی تر و بادوام تر

    بیماری‌های قلبی عروقی (CVD) SiC薄膜基本物理性能

    خواص فیزیکی اولیه SiC به روش CVDپوشش

    性质 / املاک

    典型数值 / مقدار معمول

    晶体结构 / ساختار کریستالی

    فاز β FCC多晶,主要为(111 )取向

    密度 / تراکم

    ۳.۲۱ گرم بر سانتی‌متر مکعب

    硬度 / سختی

    2500 维氏硬度 (500 گرم بار)

    晶粒大小 / اندازه دانه

    2 تا 10 میکرومتر

    纯度 / خلوص شیمیایی

    ۹۹.۹۹۹۹۵٪

    热容 / ظرفیت گرمایی

    ۶۴۰ ژول · کیلوگرم-1·ک-1

    升华温度 / دمای تصعید

    ۲۷۰۰ درجه سانتیگراد

    抗弯强度 / استحکام خمشی

    ۴۱۵ مگاپاسکال RT چهار نقطه‌ای

    杨氏模量 مدول یانگ

    خم 4 نقطه‌ای با مقاومت Gpa 430، دمای 1300 درجه سانتیگراد

    导热系数 / ترمالرسانایی

    ۳۰۰ وات بر متر مربع-1·ک-1

    热膨胀系数 / انبساط حرارتی (CTE)

    ۴.۵×۱۰-6K-1

    ۱

    ۲

    گرافیت انرژی VET

    ۲

    شرکت VET Energy یک تولیدکننده حرفه‌ای است که بر تحقیق و توسعه و تولید مواد پیشرفته با کیفیت بالا مانند گرافیت، کاربید سیلیکون، کوارتز و همچنین عملیات حرارتی مواد مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشه‌ای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره تمرکز دارد. این محصولات به طور گسترده در صنایع فتوولتائیک، نیمه‌هادی‌ها، انرژی‌های نو، متالورژی و غیره مورد استفاده قرار می‌گیرند.

    تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی تشکیل شده است و می‌تواند راه‌حل‌های حرفه‌ای‌تری برای شما ارائه دهد.

    مزایای انرژی VET شامل موارد زیر است:
    • کارخانه و آزمایشگاه تخصصی اختصاصی؛
    • سطوح خلوص و کیفیت پیشرو در صنعت؛
    • قیمت رقابتی و زمان تحویل سریع؛
    • مشارکت‌های صنعتی متعدد در سراسر جهان؛

    ما از شما استقبال می‌کنیم تا در هر زمانی از کارخانه و آزمایشگاه ما بازدید کنید!

    研发团队

    公司客户


  • قبلی:
  • بعدی:

  • چت آنلاین واتس‌اپ!