Supporto e substrato in grafite rivestiti in SiC per wafer

Immagine in evidenza del supporto e del substrato in grafite rivestiti in SiC per wafer

Breve descrizione:

Il supporto in grafite rivestito in SiC di VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per garantire prestazioni costanti e affidabili per un lungo periodo. Offre un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, caratteristiche che lo rendono la soluzione ideale per le applicazioni di lavorazione dei wafer.

Materiale:grafite isostatica ad elevata purezza

Purificazione: <5 ppm

Rivestimento:CVD-SiC, CVD-TaC, pirocarbonio

OEM ODM:Disponibile

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Dettagli del prodotto

Etichette prodotto

sospensione di grafite rivestita in SiCè un componente chiave utilizzato in diversi processi di produzione di semiconduttori. Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare il SiC rivestito con una purezza estremamente elevata, una buona uniformità del rivestimento e un'eccellente durata, oltre a elevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.

Caratteristiche dei nostri prodotti:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700℃.
2. Elevata purezza e uniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sali e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Maggiore durata e maggiore resistenza

Suscettore in grafite rivestito in SiC (3)

Suscettore in grafite rivestito in SiC (4)

Malattia cardiovascolare SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento
性质 / Proprietà	典型数值 / Valore tipico
晶体结构 / Struttura cristallina	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 tonnellate di carico (carico di 500 g)
晶粒大小 / Dimensione del grano	2~10μm
纯度 / Purezza chimica	99,99995%
热容 / Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura di sublimazione	2700℃
抗弯强度 / Resistenza alla flessione	415 MPa RT 4 punti
杨氏模量 Modulo di Young	430 GPa piegatura a 4 punti, 1300℃
导热系数 / ThermalConduttività	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy è un produttore professionale specializzato nella ricerca e sviluppo e nella produzione di materiali avanzati di alta gamma come grafite, carburo di silicio, quarzo, nonché nel trattamento dei materiali come rivestimenti in SiC, rivestimenti in TaC, rivestimenti in carbonio vetroso, rivestimenti in carbonio pirolitico, ecc. I prodotti sono ampiamente utilizzati nei settori del fotovoltaico, dei semiconduttori, delle nuove energie, della metallurgia, ecc.

Il nostro team tecnico, composto da professionisti provenienti dai migliori istituti di ricerca nazionali, è in grado di offrirvi soluzioni più professionali in termini di materiali.

I vantaggi di VE Energy includono:
• Stabilimento di proprietà e laboratorio professionale;
• Livelli di purezza e qualità leader del settore;
• Prezzo competitivo e tempi di consegna rapidi;
• Molteplici collaborazioni industriali in tutto il mondo;

Vi invitiamo a visitare la nostra fabbrica e il nostro laboratorio in qualsiasi momento!