Suscettore e supporto in grafite rivestita in SiC per wafer

Breve descrizione:

Il suscettore in grafite rivestita in SiC di VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un periodo prolungato. Presenta un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, che lo rendono la soluzione perfetta per le applicazioni di lavorazione dei wafer.

Materiale:Grafite isostatica ad alta purezza

Purificazione: <5 ppm

Rivestimento:CVD-SiC, CVD-TaC, Pirocarbonio

OEM ODM:Disponibile

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Dettagli del prodotto

Tag dei prodotti

Suscetpor di grafite rivestita in SiCÈ un componente chiave utilizzato in vari processi di produzione di semiconduttori. Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per produrre il suscetpor rivestito in SiC con purezza estremamente elevata, buona uniformità di rivestimento e un'eccellente durata, oltre a elevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.

Caratteristiche dei nostri prodotti:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700℃.
2. Elevata purezza e uniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Maggiore durata e resistenza

Suscettore in grafite rivestito in SiC (3)

Suscettore in grafite rivestito in SiC (4)

malattie cardiovascolari SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento
性质 / Proprietà	典型数值 / Valore tipico
晶体结构 / Struttura cristallina	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 tonnellate di carico (carico da 500 g)
晶粒大小 / Granulometria	2~10μm
纯度 / Purezza chimica	99,99995%
热容 / Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura di sublimazione	2700℃
抗弯强度 / Resistenza alla flessione	415 MPa RT 4 punti
杨氏模量 / Modulo di Young	430 Gpa 4pt curva, 1300℃
导热系数 / ThermalConduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Espansione termica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy è un produttore professionale focalizzato sulla ricerca e sviluppo e sulla produzione di materiali avanzati di alta qualità quali grafite, carburo di silicio, quarzo, nonché trattamenti di materiali quali rivestimento in SiC, rivestimento in TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc. I prodotti sono ampiamente utilizzati nel settore fotovoltaico, dei semiconduttori, delle nuove energie, della metallurgia, ecc.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di fornirvi le soluzioni più professionali in materia di materiali.

I vantaggi di VET Energy includono:
• Fabbrica propria e laboratorio professionale;
• Livelli di purezza e qualità leader del settore;
• Prezzo competitivo e tempi di consegna rapidi;
• Numerose partnership industriali in tutto il mondo;

Vi invitiamo a visitare la nostra fabbrica e il nostro laboratorio in qualsiasi momento!