SiC coated Graphite Susceptor နှင့် Wafer အတွက် Carrier

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor သည် အချိန်ကြာမြင့်စွာ တသမတ်တည်းနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရသော စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးစွမ်းရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ထုတ်ကုန်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းတွင် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူခံနိုင်ရည်နှင့် အပူတူညီမှု၊ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု၊ တိုက်စားမှုဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ၎င်းသည် wafer processing applications များအတွက် ပြီးပြည့်စုံသောဖြေရှင်းချက်ဖြစ်စေသည်။

 

 


  • ပစ္စည်း-မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော isostatic ဂရက်ဖိုက်
  • သန့်စင်ခြင်း- <5ppm
  • အပေါ်ယံပိုင်း-CVD-SiC၊ CVD-TaC၊ Pyro-carbon
  • OEM ODM-ရရှိနိုင်ပါသည်။
  • ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

    ကုန်ပစ္စည်း တံဆိပ်များ

    SiC coated graphite suscetporဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသည့် အဓိက အစိတ်အပိုင်းတစ်ခု ဖြစ်သည်။ SiC coated suscetpor ကို အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်မှု၊ ကောင်းမွန်သော အပေါ်ယံညီညီညွှတ်မှုနှင့် ကောင်းမွန်သော ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းအပြင် မြင့်မားသော ဓာတုခံနိုင်ရည်နှင့် အပူတည်ငြိမ်မှု ဂုဏ်သတ္တိများဖြင့် ပြုလုပ်ရန် ကျွန်ုပ်တို့၏ မူပိုင်ခွင့်နည်းပညာကို အသုံးပြုပါသည်။

    ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်များ၏အင်္ဂါရပ်များ:

    1. မြင့်မားသောအပူချိန် 1700 ℃အထိ oxidation ခုခံ။
    2. မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုနှင့်အပူတူညီမှု
    3. အလွန်ကောင်းမွန်သောချေးခုခံမှု- အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများ။
    4. မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ ကျစ်လစ်သော မျက်နှာပြင်၊ ကောင်းမွန်သော အမှုန်များ။
    5. ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း ပိုရှည်ပြီး ပိုတာရှည်ခံပါတယ်။

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    CVD SiC ၏ အခြေခံ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများအပေါ်ယံပိုင်း

    性质 /အိမ်ခြံမြေ

    典型数值 / ပုံမှန်တန်ဖိုး

    晶体结构 / Crystal Structure

    FCC β အဆင့်多晶,主要为(111)取向

    密度 / သိပ်သည်းဆ

    3.21 g/cm³

    硬度 / မာကျောမှု

    2500维氏硬度 (500g load)

    晶粒大小 / သီးနှံ SiZe

    2~10μm

    纯度 / ဓာတုသန့်စင်မှု

    99.99995%

    热内 / Heat Capacity

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Sublimation အပူချိန်

    2700 ℃

    抗弯强度 / Flexural Strength

    415 MPa RT 4 ပွိုင့်

    杨氏模量 / Young's Modulus

    430 Gpa 4pt ကွေး၊ 1300 ℃

    导热系数 / အပူဓာတ်လျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း(CTE)

    4.5×10-6K-1

    ၁

    ၂

    VET စွမ်းအင်ဂရပ်ဖိုက်

    ၂

    VET Energy သည် R&D နှင့် ဂရပ်ဖိုက်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်၊ quartz ကဲ့သို့သော အရည်အသွေးမြင့် အဆင့်မြင့်ပစ္စည်းများကို ထုတ်လုပ်သည့် ပရော်ဖက်ရှင်နယ်ထုတ်လုပ်သူဖြစ်ပြီး SiC coating၊ TaC coating၊ glassy carbon coating၊ pyrolytic carbon coating စသည်တို့တွင် ထုတ်ကုန်များကို photovoltaic၊ semiconductor, new energy, metalclurgy တို့တွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုပါသည်။

    ကျွန်ုပ်တို့၏နည်းပညာအဖွဲ့သည် ထိပ်တန်းပြည်တွင်းသုတေသနအဖွဲ့အစည်းများမှ လာ၍ သင့်အတွက် ပိုမိုကျွမ်းကျင်သော ပစ္စည်းဖြေရှင်းချက်များကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်ပါသည်။

    VET Energy ၏ အားသာချက်များ ပါဝင်သည်-
    • ကိုယ်ပိုင်စက်ရုံနှင့် ပရော်ဖက်ရှင်နယ်ဓာတ်ခွဲခန်း၊
    • စက်မှုလုပ်ငန်းမှ ဦးဆောင်သော သန့်စင်မှုအဆင့်များနှင့် အရည်အသွေး၊
    • ယှဉ်ပြိုင်နိုင်သောစျေးနှုန်းနှင့် အမြန်ပို့ဆောင်ချိန်။
    • ကမ္ဘာတစ်ဝှမ်းရှိ နယ်ပယ်ပေါင်းစုံ ပူးပေါင်းဆောင်ရွက်မှုများ၊

    ကျွန်ုပ်တို့၏ စက်ရုံနှင့် ဓာတ်ခွဲခန်းကို အချိန်မရွေး လာရောက်ကြည့်ရှုရန် သင့်အား ကြိုဆိုပါသည်။

    研发团队

    公司客户


  • ယခင်-
  • နောက်တစ်ခု:

  • WhatsApp အွန်လိုင်းစကားပြောခြင်း။