Susceptor y portador de grafito recubierto de SiC para oblea

Descripción breve:

El susceptor de grafito recubierto de SiC de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para ofrecer un rendimiento constante y fiable durante un período prolongado. Ofrece una excelente resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que lo convierte en la solución ideal para aplicaciones de procesamiento de obleas.

Material:Grafito isostático de alta pureza

Purificación: <5 ppm

Revestimiento:CVD-SiC, CVD-TaC, pirocarbono

Fabricante de equipos originales y fabricantes de dispositivos originales (ODM):Disponible

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Detalle del producto

Etiquetas de productos

Susceptible de grafito recubierto de SiCEs un componente clave utilizado en diversos procesos de fabricación de semiconductores. Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar el susceptor recubierto de SiC con una pureza extremadamente alta, buena uniformidad de recubrimiento y una excelente vida útil, además de alta resistencia química y estabilidad térmica.

Características de nuestros productos:

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas hasta 1700 ℃.
2. Alta pureza y uniformidad térmica.
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.

Susceptor de grafito recubierto de SiC (3)

Susceptor de grafito recubierto de SiC (4)

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento
性质 / Propiedad	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estructura cristalina	Fase β de FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 libras (carga de 500 g)
晶粒大小 / Tamaño del grano	2~10 μm
纯度 / Pureza química	99.99995%
热容 / Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700℃
抗弯强度 / Resistencia a la flexión	415 MPa RT 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa, curva de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / TermayoConductividad	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Expansión térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy es un fabricante profesional centrado en la I+D y la producción de materiales avanzados de alta gama como grafito, carburo de silicio, cuarzo, así como el tratamiento de materiales como recubrimiento de SiC, recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbono vítreo, recubrimiento de carbono pirolítico, etc. Los productos son ampliamente utilizados en fotovoltaica, semiconductores, nuevas energías, metalurgia, etc.

Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Las ventajas de VET Energy incluyen:
• Fábrica propia y laboratorio profesional;
• Niveles de pureza y calidad líderes en la industria;
• Precio competitivo y tiempo de entrega rápido;
• Múltiples asociaciones industriales en todo el mundo;

¡Le invitamos a visitar nuestra fábrica y laboratorio en cualquier momento!