Susceptor y soporte de grafito recubierto de SiC para obleas

Breve descripción:

El susceptor de grafito recubierto de SiC de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para ofrecer un desempeño constante y confiable durante un período prolongado. Posee una excelente resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que lo convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas.

Material:Grafito isostático de alta pureza

Purificación: <5 ppm

Revestimiento:CVD-SiC, CVD-TaC, Pirocarbono

Fabricante de equipos originales (OEM) y fabricantes de diseño y fabricación por contrato (ODM):Disponible

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Detalles del producto

Etiquetas de producto

Susceptibilidad de grafito recubierto de SiCEs un componente clave utilizado en diversos procesos de fabricación de semiconductores. Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar sustratos recubiertos de SiC con una pureza extremadamente alta, una excelente uniformidad de recubrimiento y una vida útil excepcional, además de una alta resistencia química y estabilidad térmica.

Características de nuestros productos:

1. Alta resistencia a la oxidación a temperaturas de hasta 1700℃.
2. Alta pureza y uniformidad térmica
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.

Susceptor de grafito recubierto de SiC (3)

Susceptor de grafito recubierto de SiC (4)

Enfermedad cardiovascular SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento
性质 / Propiedad	典型数值 / Valor típico
晶体结构 Estructura cristalina	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 libras (carga de 500 g)
晶粒大小 / Tamaño del grano	2~10 μm
纯度 Pureza química	99,99995%
热容 Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Temperatura de sublimación	2700℃
抗弯强度 / Resistencia a la flexión	415 MPa RT 4 puntos
杨氏模量 Módulo de Young	430 GPa, codo de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductividad	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy es un fabricante profesional especializado en I+D y producción de materiales avanzados de alta gama, como grafito, carburo de silicio y cuarzo, así como en el tratamiento de materiales mediante recubrimientos de SiC, TaC, carbono vítreo y carbono pirolítico, entre otros. Sus productos se utilizan ampliamente en los sectores fotovoltaico, de semiconductores, de energías renovables, metalúrgico, etc.

Nuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Las ventajas de VET Energy incluyen:
• Fábrica propia y laboratorio profesional;
• Niveles de pureza y calidad líderes en la industria;
• Precio competitivo y plazo de entrega rápido;
• Múltiples alianzas con la industria a nivel mundial;

¡Le invitamos a visitar nuestra fábrica y laboratorio cuando lo desee!