SiC dengtas grafito susceptorius ir nešiklis plokštelėms

SiC dengto grafito susceptorius ir nešiklis vafliui, parodytas paveikslėlyje

Trumpas aprašymas:

„VET Energy SiC“ dengtas grafito susceptorius yra aukštos kokybės produktas, sukurtas užtikrinti pastovų ir patikimą veikimą ilgą laiką. Jis pasižymi itin geru atsparumu karščiui ir terminiu vienodumu, dideliu grynumu, atsparumu erozijai, todėl tai puikus sprendimas plokštelių apdorojimo reikmėms.

Medžiaga:Didelio grynumo izostatinis grafitas

Valymas: <5 ppm

Danga:CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbonas

OEM ODM:Prieinama

Siųskite mums el. laišką Atsisiųsti kaip PDF

Produkto informacija

Produkto žymės

SiC dengtas grafito suscetporasyra pagrindinis komponentas, naudojamas įvairiuose puslaidininkių gamybos procesuose. Mes naudojame savo patentuotą technologiją, kad pagamintume SiC dengtą suscetporą, pasižymintį itin dideliu grynumu, geru dangos tolygumu ir puikiu tarnavimo laiku, taip pat dideliu atsparumu cheminėms medžiagoms ir terminiu stabilumu.

Mūsų gaminių savybės:

1. Aukštos temperatūros oksidacijos atsparumas iki 1700 ℃.
2. Didelis grynumas ir terminis vienodumas
3. Puikus atsparumas korozijai: rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.
4. Didelis kietumas, kompaktiškas paviršius, smulkios dalelės.
5. Ilgesnis tarnavimo laikas ir patvaresnis

ŠSD SiC薄膜基本物理性能 Pagrindinės CVD SiC fizinės savybėsdanga
性质 / Nekilnojamasis turtas	典型数值 / Tipinė vertė
晶体结构 / Kristalų struktūra	FCC β fazė多晶，主要为（111）取向
密度 Tankis	3,21 g/cm³
硬度 / Kietumas	2500 维氏硬度 (500 g apkrova)
晶粒大小 Grūdų dydis	2–10 μm
纯度 / Cheminis grynumas	99,99995%
热容 / Šilumos talpa	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
抗弯强度 / Lenkimo stipris	415 MPa RT 4 taškų
杨氏模量 / Youngo modulis	430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
导热系数 / TermalLaidumas	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Šiluminis plėtimasis (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

„VET Energy“ yra profesionalus gamintojas, daugiausia dėmesio skiriantis aukštos klasės pažangių medžiagų, tokių kaip grafitas, silicio karbidas, kvarcas, tyrimams ir plėtrai bei gamybai, taip pat medžiagų apdorojimui, pavyzdžiui, SiC, TaC, stiklinės anglies, pirolizės anglies ir kt. Produktai plačiai naudojami fotovoltinėse medžiagose, puslaidininkiuose, naujosios energijos, metalurgijos ir kt. srityse.

Mūsų techninė komanda yra iš geriausių šalies mokslinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti jums profesionalesnių medžiagų sprendimų.

VET Energy privalumai:
• Nuosava gamykla ir profesionali laboratorija;
• Pramonėje pirmaujantys grynumo lygiai ir kokybė;
• Konkurencinga kaina ir greitas pristatymo laikas;
• Įvairūs pramonės partnerystės projektai visame pasaulyje;

Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje ir laboratorijoje bet kuriuo metu!