웨이퍼용 SiC 코팅 흑연 서셉터 및 캐리어

간략한 설명:

VET Energy SiC 코팅 흑연 서셉터는 장기간에 걸쳐 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고성능 제품입니다. 탁월한 내열성 및 열 균일성, 높은 순도, 내식성을 갖추고 있어 웨이퍼 가공 응용 분야에 최적의 솔루션입니다.

 

 

 


  • 재료:고순도 등방성 흑연
  • 정화: <5ppm
  • 코팅:CVD-SiC, CVD-TaC, 파이로카본
  • OEM/ODM:사용 가능
  • 제품 상세 정보

    제품 태그

    SiC 코팅 흑연 서스펙터SiC는 다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 핵심 부품입니다. 당사는 특허 기술을 활용하여 매우 높은 순도, 우수한 코팅 균일성, 뛰어난 수명은 물론 높은 내화학성 및 열 안정성을 갖춘 SiC 코팅 반도체를 생산합니다.

    당사 제품의 특징:

    1. 최대 1700℃의 고온 산화 저항성.
    2. 높은 순도 및 열적 균일성
    3. 뛰어난 내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 강함.
    4. 높은 경도, 치밀한 표면, 미세한 입자.
    5. 더 긴 수명과 뛰어난 내구성

    심혈관계 질환 SiC薄膜基本식물리성能

    CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅

    성별 / 재산

    典型数值 / 일반적인 값

    晶体结构 결정 구조

    FCC β상多晶,主要为(111) 取向

    크기 / 밀도

    3.21 g/cm³

    정도 경도

    2500 维氏硬도(500g 부하)

    晶粒大小 / 곡물 크기

    2~10μm

    정도 화학적 순도

    99.99995%

    발열 / 열용량

    640 J·kg-1·케이-1

    升华温도 승화 온도

    2700℃

    抗弯强島 굽힘 강도

    415 MPa RT 4점

    杨氏模량 / 영률

    430 Gpa 4점 굽힘, 1300℃

    导熭系数 / 써마전도도

    300W·m-1·케이-1

    热膨胀系数 열팽창(CTE)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    VET 에너지 흑연

    2

    VET Energy는 흑연, 탄화규소, 석영과 같은 고급 첨단 소재의 연구 개발 및 생산과 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등의 소재 처리 기술에 주력하는 전문 제조업체입니다. 당사 제품은 태양광, 반도체, 신에너지, 야금 등 다양한 분야에서 널리 사용되고 있습니다.

    저희 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로 구성되어 있어 더욱 전문적인 소재 솔루션을 제공해 드릴 수 있습니다.

    VET Energy의 장점은 다음과 같습니다:
    • 자체 공장 및 전문 실험실 보유;
    • 업계 최고 수준의 순도 및 품질;
    • 경쟁력 있는 가격 및 빠른 배송 시간;
    • 전 세계적으로 다양한 산업 분야와의 파트너십;

    언제든지 저희 공장과 연구소를 방문해 주시기 바랍니다!

    공사客户

     


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