SiC 코팅 흑연 서셉터다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 핵심 부품입니다. 당사는 특허 기술을 사용하여 매우 높은 순도, 우수한 코팅 균일성, 탁월한 사용 수명, 높은 내화학성 및 열 안정성을 갖춘 SiC 코팅 서셉터를 생산합니다.
우리 제품의 특징:
1. 최대 1700℃ 고온 산화 저항성.
2. 높은 순도 및 열 균일성
3. 우수한 내식성: 산, 알칼리, 소금 및 유기 시약.
4. 경도가 높고, 표면이 치밀하며, 입자가 미세합니다.
5. 더 긴 서비스 수명과 더 내구성이 뛰어납니다.
| CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 일반적인 값 |
| 晶体结构 / 결정 구조 | FCC β상多晶，主要为（111) 取向 |
| 크기 / 밀도 | 3.21g/cm³ |
| 정도 / 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 입자 크기 | 2~10㎛ |
| 정도 / 화학적 순도 | 99.99995% |
| 발열 / 열용량 | 640 J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 / 승화 온도 | 2700℃ |
| 抗弯强島 / 굽힘 강도 | 415 MPa RT 4점 |
| 杨氏模량 / 영률 | 430 Gpa 4pt 굽힘, 1300℃ |
| 导熭系数 / 테르마엘전도도 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 / 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET 에너지는 흑연, 탄화규소, 석영과 같은 첨단 소재의 연구 개발 및 생산과 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등과 같은 소재 처리에 중점을 둔 전문 제조업체입니다. 해당 제품은 태양광, 반도체, 신에너지, 야금 등에서 널리 사용됩니다.
당사의 기술팀은 국내 최고의 연구기관 출신으로, 귀하에게 보다 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.
VET Energy의 장점은 다음과 같습니다.
• 자체 공장 및 전문 실험실 보유
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