SiC Coated Graphite Susceptor lan Pembawa Kanggo Wafer

SiC Coated Graphite Susceptor And Carrier Kanggo Wafer Featured Image

Katrangan singkat:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor minangka produk kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing konsisten lan dipercaya sajrone wektu sing suwe. Nduwe resistensi panas sing apik banget lan keseragaman termal, kemurnian dhuwur, tahan erosi, dadi solusi sing sampurna kanggo aplikasi pangolahan wafer.

Bahan:Grafit isostatik kemurnian dhuwur

Purifikasi: <5ppm

Lapisan:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-karbon

OEM ODM:kasedhiya

Kirimi email kanggo kita Ngundhuh minangka PDF

Detail Produk

Tag produk

Suscetpor grafit sing dilapisi SiCminangka komponen kunci sing digunakake ing macem-macem proses manufaktur semikonduktor. Kita nggunakake teknologi sing dipatenake kanggo nggawe suscetpor dilapisi SiC kanthi kemurnian sing dhuwur banget, keseragaman lapisan sing apik lan umur layanan sing apik, uga tahan kimia sing dhuwur lan sifat stabilitas termal.

Fitur produk kita:

1. Resistance oksidasi suhu dhuwur nganti 1700 ℃.
2. Kemurnian dhuwur lan keseragaman termal
3. Resistensi korosi sing apik: reagen asam, alkali, uyah lan organik.
4. kekerasan dhuwur, lumahing kompak, partikel alus.
5. Urip layanan luwih dawa lan luwih awet

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dhasar saka CVD SiClapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Kapadhetan	3,21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Ukuran Gandum	2~10μm
纯度 / Kemurnian Kimia	99.99995%
热容 / Kapasitas panas	640 J·kg^-1· K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700 ℃
抗弯强度 / Kekuwatan lentur	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus Muda	430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃
导热系数 / ThermalKonduktivitas	300W·m^-1· K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy minangka pabrikan profesional sing fokus ing R&D lan produksi bahan canggih kayata grafit, silikon karbida, kuarsa, uga perawatan materi kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan sapiturute. Produk kasebut akeh digunakake ing fotovoltaik, semikonduktor, energi anyar, metalurgi, lsp.

Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik ndhuwur, bisa menehi solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.

Keuntungan Energi VET kalebu:
• Pabrik dhewe lan laboratorium profesional;
• tingkat kemurnian industri-leading lan kualitas;
• rega Competitive & wektu pangiriman Fast;
• Multiple industri kemitraan donya;

We welcome sampeyan ngunjungi pabrik lan laboratorium kita kapan wae!