Susceptor lan Pembawa Grafit Dilapisi SiC Kanggo Wafer

Katrangan Cekak:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor minangka produk kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing konsisten lan dipercaya sajrone wektu sing suwe. Produk iki nduweni tahan panas lan keseragaman termal sing apik banget, kemurnian dhuwur, tahan erosi, saengga dadi solusi sing sampurna kanggo aplikasi pangolahan wafer.

Bahan:Grafit isostatik kemurnian dhuwur

Pemurnian: <5ppm

Lapisan:CVD-SiC, CVD-TaC, Piro-karbon

OEM/ODM:Kasedhiya

Kirim email menyang kita Unduh minangka PDF

Rincian Produk

Tag Produk

Susceptor grafit dilapisi SiCminangka komponen kunci sing digunakake ing macem-macem proses manufaktur semikonduktor. Kita nggunakake teknologi sing dipatenake kanggo nggawe susceptor sing dilapisi SiC kanthi kemurnian sing dhuwur banget, keseragaman lapisan sing apik lan umur layanan sing apik banget, uga tahan kimia lan sifat stabilitas termal sing dhuwur.

Fitur produk kita:

1. Tahan oksidasi suhu dhuwur nganti 1700℃.
2. Kemurnian dhuwur lan keseragaman termal
3. Resistensi korosi sing apik banget: reagen asam, alkali, uyah lan organik.
4. Kekerasan dhuwur, permukaan kompak, partikel alus.
5. Umur layanan luwih dawa lan luwih awet

CVD (Kerusakan Jantung) SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dhasar CVD SiClapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 Kapadhetan	3,21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Ukuran Gandum	2 ~ 10μm
纯度 / Kemurnian Kimia	99.99995%
热容 Kapasitas Panas	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 / Kekuwatan Fleksibel	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃
导热系数 / TermalKonduktivitas	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy minangka produsen profesional sing fokus ing R&D lan produksi bahan canggih kelas atas kayata grafit, silikon karbida, kuarsa, uga perawatan bahan kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan liya-liyane. Produk kasebut akeh digunakake ing fotovoltaik, semikonduktor, energi anyar, metalurgi, lan liya-liyane.

Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik paling dhuwur, bisa nyedhiyakake solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.

Kauntungan Energi VET kalebu:
• Pabrik dhewe lan laboratorium profesional;
• Tingkat kemurnian lan kualitas sing unggul ing industri;
• Rega kompetitif & wektu pangiriman cepet;
• Pirang-pirang kemitraan industri ing saindenging jagad;

Kita ngajak sampeyan ngunjungi pabrik lan laboratorium kapan wae!