SiC Coated Graphite Susceptor At Carrier Para sa Wafer

Maikling Paglalarawan:

Ang VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor ay isang produktong may mataas na pagganap na idinisenyo upang magbigay ng pare-pareho at maaasahang pagganap sa mahabang panahon. Mayroon itong napakagandang resistensya sa init at thermal uniformity, mataas na kadalisayan, at resistensya sa erosyon, kaya ito ang perpektong solusyon para sa mga aplikasyon sa pagproseso ng wafer.

Materyal:Mataas na kadalisayan isostatic grapayt

Paglilinis: <5ppm

Patong:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-carbon

OEM/ODM:Magagamit

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Susceptor na grapayt na pinahiran ng SiCay isang mahalagang bahagi na ginagamit sa iba't ibang proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ginagamit namin ang aming patentadong teknolohiya upang gawin ang susceptiver na pinahiran ng SiC na may napakataas na kadalisayan, mahusay na pagkakapareho ng patong at mahusay na buhay ng serbisyo, pati na rin ang mataas na resistensya sa kemikal at mga katangian ng thermal stability.

Mga Tampok ng aming mga produkto:

1. Mataas na temperaturang resistensya sa oksihenasyon hanggang 1700℃.
2. Mataas na kadalisayan at pagkakapareho ng init
3. Napakahusay na resistensya sa kalawang: asido, alkali, asin at mga organikong reagent.
4. Mataas na katigasan, siksik na ibabaw, pinong mga partikulo.
5. Mas mahabang buhay ng serbisyo at mas matibay

CVD SiC薄膜基本物理性能 Mga pangunahing katangiang pisikal ng CVD SiCpatong
性质 / Ari-arian	典型数值 / Karaniwang Halaga
晶体结构 / Kayarian ng Kristal	FCC β phase多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3.21 g/cm³
硬度 / Katigasan	2500 维氏硬度（500g load）
晶粒大小 / Sukat ng Butil	2~10μm
纯度 / Kadalisayan ng Kemikal	99.99995%
热容 / Kapasidad ng Init	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura ng Sublimasyon	2700℃
抗弯强度 / Lakas ng Pagbaluktot	415 MPa RT 4-punto
杨氏模量 / Modulus ni Young	430 Gpa 4pt liko, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduktibidad	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Pagpapalawak ng Init (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ang VET Energy ay isang propesyonal na tagagawa na nakatuon sa R&D at produksyon ng mga high-end na advanced na materyales tulad ng graphite, silicon carbide, quartz, pati na rin ang material treatment tulad ng SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, atbp. Ang mga produkto ay malawakang ginagamit sa photovoltaic, semiconductor, new energy, metalurhiya, atbp.

Ang aming teknikal na pangkat ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, at maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyal para sa iyo.

Kabilang sa mga bentahe ng VET Energy ang:
• Sariling pabrika at propesyonal na laboratoryo;
• Mga antas at kalidad ng kadalisayan na nangunguna sa industriya;
• Kompetitibong presyo at mabilis na oras ng paghahatid;
• Maraming pakikipagsosyo sa industriya sa buong mundo;

Malugod ka naming inaanyayahan na bisitahin ang aming pabrika at laboratoryo anumang oras!