Suscettore è trasportatore di grafite rivestitu di SiC per wafer

Descrizzione corta:

U suscettore di grafite rivestitu di SiC VET Energy hè un pruduttu d'altu rendimentu cuncipitu per furnisce prestazioni consistenti è affidabili per un periodu prolongatu. Hà una resistenza à u calore è uniformità termica super bona, alta purezza, resistenza à l'erosione, chì ne face a suluzione perfetta per l'applicazioni di trasfurmazione di wafer.

 

 


  • Materiale:Grafite isostatica d'alta purezza
  • Purificazione: <5 ppm
  • Rivestimentu:CVD-SiC, CVD-TaC, Piro-carboniu
  • OEM ODM:Disponibile
  • Dettagli di u produttu

    Etichette di u produttu

    Suscetpor di grafite rivestita di SiChè un cumpunente chjave utilizatu in diversi prucessi di fabricazione di semiconduttori. Adupremu a nostra tecnulugia brevettata per fà u suscetpor rivestitu di SiC cun una purezza estremamente alta, una bona uniformità di rivestimentu è una eccellente durata di serviziu, è ancu proprietà di alta resistenza chimica è stabilità termica.

    Caratteristiche di i nostri prudutti:

    1. Resistenza à l'ossidazione à alta temperatura finu à 1700 ℃.
    2. Alta purità è uniformità termica
    3. Eccellente resistenza à a currusione: acidi, alcali, sali è reagenti organici.
    4. Alta durezza, superficia compacta, particelle fini.
    5. Vita di serviziu più longa è più durevule

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Proprietà fisiche basiche di CVD SiCrivestimentu

    性质 / Pruprietà

    典型数值 / Valore Tipicu

    晶体结构 / Struttura Cristallina

    Fase β di a FCC多晶,主要为(111)取向

    密度 / Densità

    3,21 g/cm³

    硬度 / Durezza

    2500 维氏硬度(500g di carica)

    晶粒大小 / Grana

    2~10μm

    纯度 / Purità chimica

    99,99995%

    热容 / Capacità termica

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Temperatura di sublimazione

    2700 ℃

    抗弯强度 / Resistenza à a flessione

    415 MPa RT à 4 punti

    杨氏模量 Modulu di Young

    Curvatura 430 Gpa 4pt, 1300℃

    导热系数 / ThermalCunduttività

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Dilatazione Termica (CTE)

    4,5 × 10-6K-1

    1

    2

    Grafite energetica VET

    2

    VET Energy hè un fabricatore prufessiunale chì si cuncentra nantu à a R&S è a pruduzzione di materiali avanzati di alta gamma cum'è a grafite, u carburu di siliciu, u quarzu, è ancu u trattamentu di i materiali cum'è u rivestimentu SiC, u rivestimentu TaC, u rivestimentu di carbone vetrosu, u rivestimentu di carbone piroliticu, ecc. I prudutti sò largamente usati in u fotovoltaicu, i semiconduttori, e nuove energie, a metallurgia, ecc.

    A nostra squadra tecnica vene da e migliori istituzioni di ricerca domestiche, pò furnisce suluzioni di materiale più prufessiunali per voi.

    I vantaghji di VET Energy includenu:
    • Fabbrica propria è laburatoriu prufessiunale;
    • Livelli di purezza è qualità di punta in l'industria;
    • Prezzu cumpetitivu è tempu di consegna rapidu;
    • Parechje partenarii industriali in u mondu sanu;

    Vi invitemu à visità a nostra fabbrica è u laburatoriu in ogni mumentu!

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    公司客户


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