SiC potiahnutý grafitový susceptor a nosič pre doštičku

Obrázok z grafitového susceptora a nosiča s povlakom SiC pre doštičku

Stručný popis:

Grafitový susceptor VET Energy s povlakom SiC je vysoko výkonný produkt navrhnutý tak, aby poskytoval konzistentný a spoľahlivý výkon počas dlhého obdobia. Má vynikajúcu tepelnú odolnosť a tepelnú rovnomernosť, vysokú čistotu a odolnosť voči erózii, vďaka čomu je ideálnym riešením pre aplikácie spracovania doštičiek.

Materiál:Vysoko čistý izostatický grafit

Čistenie: <5 ppm

Náter:CVD-SiC, CVD-TaC, pyrouhlík

OEM ODM:K dispozícii

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detaily produktu

Značky produktov

Grafitový susceptor s povlakom SiCje kľúčovou súčasťou používanou v rôznych procesoch výroby polovodičov. Používame našu patentovanú technológiu na výrobu SiC potiahnutého substrátu s extrémne vysokou čistotou, dobrou rovnomernosťou povlaku a vynikajúcou životnosťou, ako aj vysokou chemickou odolnosťou a tepelnou stabilitou.

Vlastnosti našich produktov:

1. Odolnosť voči oxidácii pri vysokých teplotách až do 1700 ℃.
2. Vysoká čistota a tepelná rovnomernosť
3. Vynikajúca odolnosť proti korózii: kyseliny, zásady, soli a organické činidlá.
4. Vysoká tvrdosť, kompaktný povrch, jemné častice.
5. Dlhšia životnosť a odolnejšie

Kardiovaskulárne ochorenie (KVO) SiC薄膜基本物理性能 Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiCnáter
性质 / Nehnuteľnosť	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Kryštálová štruktúra	FCC β fáza多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdosť	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / Veľkosť zrna	2~10μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimácie	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnosť v ohybe	415 MPa RT 4-bodový
杨氏模量 Youngov modul pružnosti	430 Gpa, ohyb 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalVodivosť	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná rozťažnosť (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

Spoločnosť VET Energy je profesionálny výrobca zameraný na výskum, vývoj a výrobu špičkových pokročilých materiálov, ako je grafit, karbid kremíka, kremeň, ako aj na úpravu materiálov, ako je povlak SiC, povlak TaC, povlak zo skleného uhlíka, pyrolytický povlak uhlíka atď. Produkty sa široko používajú vo fotovoltaike, polovodičoch, novej energii, metalurgii atď.

Náš technický tím pochádza z popredných domácich výskumných inštitúcií a môže vám poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.

Výhody VET Energy zahŕňajú:
• Vlastná továreň a profesionálne laboratórium;
• Najvyššie úrovne čistoty a kvality v odvetví;
• Konkurencieschopná cena a rýchla dodacia lehota;
• Viaceré priemyselné partnerstvá po celom svete;

Kedykoľvek vás radi pozývame na návštevu našej továrne a laboratória!