SiC bevonatú grafit szuszceptor és hordozó ostyához

Rövid leírás:

A VET Energy SiC bevonatú grafitszuszceptor egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy hosszú távon is konzisztens és megbízható teljesítményt nyújtson. Szuper jó hőállósággal és hőegyenletességgel, nagy tisztasággal és erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldást kínál wafer feldolgozási alkalmazásokhoz.

Anyag:Nagy tisztaságú izosztatikus grafit

Tisztítás: <5 ppm

Bevonat:CVD-SiC, CVD-TaC, Pirokarbon

OEM ODM:Elérhető

Küldjön nekünk e-mailt Letöltés PDF-ként

Termék részletei

Termékcímkék

SiC bevonatú grafit szuszcetporkulcsfontosságú alkatrész, amelyet különféle félvezetőgyártási folyamatokban használnak. Szabadalmaztatott technológiánkat alkalmazva állítjuk elő a SiC-bevonatú szuszcetport, amely rendkívül nagy tisztaságú, jó bevonategyenletességgel és kiváló élettartammal, valamint magas kémiai ellenálló képességgel és hőstabilitással rendelkezik.

Termékeink jellemzői:

1. Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás akár 1700 ℃-ig.
2. Nagy tisztaság és termikus egyenletesség
3. Kiváló korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
4. Nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
5. Hosszabb élettartam és tartósabb

szív- és érrendszeri betegségek SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat
性质 / Ingatlan	典型数值 / Tipikus érték
晶体结构 / Kristályszerkezet	FCC β fázis多晶，主要为（111）取向
密度 / Sűrűség	3,21 g/cm³
硬度 / Keménység	2500 维氏硬度 (500 g-os töltet)
晶粒大小 / Szemcseméret	2~10 μm
纯度 / Kémiai tisztaság	99,99995%
热容 / Hőkapacitás	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
抗弯强度 / Hajlítószilárdság	415 MPa RT 4-pontos
杨氏模量 / Young modulusa	430 Gpa 4pt hajlítás, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVezetőképesség	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

A VET Energy egy professzionális gyártó, amely a csúcskategóriás, fejlett anyagok, például grafit, szilícium-karbid, kvarc kutatás-fejlesztésére és gyártására, valamint az olyan anyagkezelésekre összpontosít, mint a SiC bevonat, TaC bevonat, üvegkarbon bevonat, pirolitikus szén bevonat stb. A termékeket széles körben használják fotovoltaikus, félvezető, új energia, kohászat stb. területeken.

Műszaki csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből származik, és professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.

A VET Energy előnyei a következők:
• Saját gyár és professzionális laboratórium;
• Iparágvezető tisztasági szintek és minőség;
• Versenyképes ár és gyors szállítási idő;
• Több iparági partnerség világszerte;

Szeretettel várjuk gyárunkat és laboratóriumunkat bármikor!