Grafitni susceptor in nosilec s prevleko SiC za rezino

Slika grafitnega susceptorja in nosilca s prevleko SiC za rezino

Kratek opis:

Grafitni susceptor VET Energy s prevleko iz SiC je visokozmogljiv izdelek, zasnovan za zagotavljanje doslednega in zanesljivega delovanja v daljšem časovnem obdobju. Ima izjemno dobro toplotno odpornost in toplotno enakomernost, visoko čistost in odpornost proti eroziji, zaradi česar je idealna rešitev za obdelavo rezin.

Material:Izostatični grafit visoke čistosti

Čiščenje: <5 ppm

Premaz:CVD-SiC, CVD-TaC, piroogljik

OEM ODM:Na voljo

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Grafitni susceptor s prevleko iz SiCje ključna komponenta, ki se uporablja v različnih procesih izdelave polprevodnikov. Z našo patentirano tehnologijo izdelujemo SiC prevlečene substrate z izjemno visoko čistostjo, dobro enakomernostjo prevleke in odlično življenjsko dobo, pa tudi z visoko kemično odpornostjo in toplotno stabilnostjo.

Značilnosti naših izdelkov:

1. Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah do 1700 ℃.
2. Visoka čistost in toplotna enakomernost
3. Odlična odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, soli in organski reagenti.
4. Visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
5. Daljša življenjska doba in bolj trpežna

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremaz
性质 / Nepremičnina	典型数值 / Tipična vrednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶，主要为（111) 取向
密度 / Gostota	3,21 g/cm³
硬度 / Trdota	2500 维氏硬度（500g obremenitev）
晶粒大小 / VELIKOST ZRNA	2~10 μm
纯度 / Kemijska čistost	99,99995 %
热容 / Toplotna kapaciteta	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700 ℃
抗弯强度 / Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovni
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa, 4pt upogib, 1300℃
导热系数 / TermalPrevodnost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Toplotni raztezek (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy je profesionalni proizvajalec, ki se osredotoča na raziskave in razvoj ter proizvodnjo vrhunskih naprednih materialov, kot so grafit, silicijev karbid, kremen, ter na obdelavo materialov, kot so SiC prevleka, TaC prevleka, stekleni ogljikov premaz, pirolitični ogljikov premaz itd. Izdelki se pogosto uporabljajo v fotovoltaiki, polprevodnikih, novi energiji, metalurgiji itd.

Naša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih ustanov in vam lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitve.

Prednosti VET Energy vključujejo:
• Lastna tovarna in profesionalni laboratorij;
• Vodilne ravni čistosti in kakovosti v industriji;
• Konkurenčna cena in hiter dobavni rok;
• Več industrijskih partnerstev po vsem svetu;

Kadarkoli vas vabimo, da obiščete našo tovarno in laboratorij!