Графитен тосцептор и носител със SiC покритие за пластина

Кратко описание:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor е високопроизводителен продукт, проектиран да осигурява постоянна и надеждна работа за продължителен период от време. Той има супер добра топлоустойчивост и термична равномерност, висока чистота и устойчивост на ерозия, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на пластини.

Материал:Изостатичен графит с висока чистота

Пречистване: <5 ppm

Покритие:CVD-SiC, CVD-TaC, пировъглерод

OEM ODM:Налично

Изпратете ни имейл Изтегляне като PDF

Детайли за продукта

Етикети на продукти

Графит със SiC покритиее ключов компонент, използван в различни процеси за производство на полупроводници. Използваме нашата патентована технология, за да направим SiC покрития субстрат с изключително висока чистота, добра равномерност на покритието и отличен експлоатационен живот, както и с висока химическа устойчивост и термична стабилност.

Характеристики на нашите продукти:

1. Устойчивост на окисление при висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота и термична еднородност
3. Отлична устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
4. Висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.
5. По-дълъг експлоатационен живот и по-издръжлив

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основни физични свойства на CVD SiCпокритие
性质 / Имот	典型数值 / Типична стойност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111) 取向
密度 / Плътност	3,21 г/см³
硬度 / Твърдост	2500 维氏硬度（500g товар）
晶粒大小 / Размер на зърното	2~10μm
纯度 / Химическа чистота	99,99995%
热容 / Топлинен капацитет	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимация	2700℃
抗弯强度 / Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
杨氏模量 / Модул на Юнг	430 Gpa 4pt огъване, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводимост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy е професионален производител, фокусиран върху научноизследователската и развойна дейност и производството на висококачествени съвременни материали като графит, силициев карбид, кварц, както и върху обработката на материалите, като SiC покритие, TaC покритие, стъкловидно въглеродно покритие, пиролитично въглеродно покритие и др. Продуктите се използват широко във фотоволтаиката, полупроводниците, новата енергетика, металургията и др.

Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции и може да ви предостави по-професионални решения за материали.

Предимствата на VET Energy включват:
• Собствена фабрика и професионална лаборатория;
• Водещи в индустрията нива на чистота и качество;
• Конкурентна цена и бърза доставка;
• Множество индустриални партньорства по целия свят;

Каним ви да посетите нашата фабрика и лаборатория по всяко време!