Susceptor Grafit Bersalut SiC Dan Pembawa Untuk Wafer

Penerangan ringkas:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor ialah produk berprestasi tinggi yang direka untuk memberikan prestasi yang konsisten dan boleh dipercayai dalam tempoh yang panjang. Ia mempunyai rintangan haba yang sangat baik dan keseragaman haba, ketulenan tinggi, rintangan hakisan, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer.

 

 


  • Bahan:Grafit isostatik ketulenan tinggi
  • Pemurnian: <5ppm
  • Salutan:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-karbon
  • OEM ODM:Tersedia
  • Butiran Produk

    Tag Produk

    Suscetpor grafit bersalut SiCadalah komponen utama yang digunakan dalam pelbagai proses pembuatan semikonduktor. Kami menggunakan teknologi kami yang dipatenkan untuk membuat suscetpor bersalut SiC dengan ketulenan yang sangat tinggi, keseragaman salutan yang baik dan hayat perkhidmatan yang cemerlang, serta rintangan kimia yang tinggi dan sifat kestabilan haba.

    Ciri-ciri produk kami:

    1. Rintangan pengoksidaan suhu tinggi sehingga 1700 ℃.
    2. Ketulenan tinggi dan keseragaman haba
    3. Rintangan kakisan yang sangat baik: asid, alkali, garam dan reagen organik.
    4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, zarah halus.
    5. Hayat perkhidmatan yang lebih lama dan lebih tahan lama

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan

    性质 / Harta

    典型数值 / Nilai Biasa

    晶体结构 / Struktur Kristal

    fasa FCC β多晶,主要为(111)取向

    密度 / Ketumpatan

    3.21 g/cm³

    硬度 / Kekerasan

    2500 维氏硬度(500g beban)

    晶粒大小 / Saiz Bijirin

    2~10μm

    纯度 / Ketulenan Kimia

    99.99995%

    热容 / Kapasiti Haba

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Suhu Sublimasi

    2700 ℃

    抗弯强度 / Kekuatan Lentur

    415 MPa RT 4 mata

    杨氏模量 / Modulus Muda

    430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃

    导热系数 / TermalKekonduksian

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Pengembangan Terma(CTE)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    Grafit Tenaga VET

    2

    VET Energy ialah pengilang profesional yang memfokuskan pada R&D dan pengeluaran bahan termaju mewah seperti grafit, silikon karbida, kuarza, serta rawatan bahan seperti salutan SiC, salutan TaC, salutan karbon berkaca, salutan karbon pirolitik, dsb. Produk ini digunakan secara meluas dalam fotovoltaik, semikonduktor, tenaga baharu, metalurgi, dll.

    Pasukan teknikal kami berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.

    Kelebihan VET Energy termasuk:
    • Kilang sendiri dan makmal profesional;
    • Tahap ketulenan dan kualiti peneraju industri;
    • Harga yang kompetitif & masa penghantaran yang cepat;
    • Pelbagai perkongsian industri di seluruh dunia;

    Kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang dan makmal kami pada bila-bila masa!

    研发团队

    公司客户


  • Sebelumnya:
  • Seterusnya:

  • Sembang Dalam Talian WhatsApp !