Susceptor dan Pembawa Grafit Bersalut SiC Untuk Wafer

Suseptor dan Pembawa Grafit Bersalut SiC Untuk Wafer Imej Pilihan

Penerangan Ringkas:

Susceptor Grafit Bersalut SiC VET Energy ialah produk berprestasi tinggi yang direka untuk memberikan prestasi yang konsisten dan andal dalam tempoh yang panjang. Ia mempunyai rintangan haba dan keseragaman haba yang sangat baik, ketulenan tinggi, rintangan hakisan, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer.

Bahan:Grafit isostatik ketulenan tinggi

Penulenan: <5ppm

Salutan:CVD-SiC, CVD-TaC, Piro-karbon

OEM/ODM:Tersedia

Hantar emel kepada kami Muat turun sebagai PDF

Butiran Produk

Tag Produk

Susceptor grafit bersalut SiCmerupakan komponen utama yang digunakan dalam pelbagai proses pembuatan semikonduktor. Kami menggunakan teknologi berpaten kami untuk menjadikan susceptiver bersalut SiC dengan ketulenan yang sangat tinggi, keseragaman salutan yang baik dan jangka hayat yang sangat baik, serta rintangan kimia dan sifat kestabilan terma yang tinggi.

Ciri-ciri produk kami:

1. Rintangan pengoksidaan suhu tinggi sehingga 1700℃.
2. Ketulenan tinggi dan keseragaman terma
3. Rintangan kakisan yang sangat baik: reagen asid, alkali, garam dan organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, zarah halus.
5. Hayat perkhidmatan yang lebih lama dan lebih tahan lama

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan
性质 / Hartanah	典型数值 / Nilai Lazim
晶体结构 / Struktur Kristal	Fasa β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Ketumpatan	3.21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Saiz Bijirin	2~10μm
纯度 / Ketulenan Kimia	99.99995%
热容 / Kapasiti Haba	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Pemejalwapan	2700℃
抗弯强度 / Kekuatan Fleksibel	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus Young	430 Gpa 4pt selekoh, 1300℃
导热系数 / TermalKekonduksian	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Pengembangan Terma (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy ialah pengeluar profesional yang menumpukan pada R&D dan pengeluaran bahan termaju mewah seperti grafit, silikon karbida, kuarza, serta rawatan bahan seperti salutan SiC, salutan TaC, salutan karbon berkaca, salutan karbon pirolitik, dan sebagainya. Produk ini digunakan secara meluas dalam fotovoltaik, semikonduktor, tenaga baharu, metalurgi, dan sebagainya.

Pasukan teknikal kami datang dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.

Kelebihan Tenaga VET termasuk:
• Kilang sendiri dan makmal profesional;
• Tahap ketulenan dan kualiti yang terkemuka dalam industri;
• Harga yang kompetitif & masa penghantaran yang cepat;
• Pelbagai perkongsian industri di seluruh dunia;

Kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang dan makmal kami pada bila-bila masa!