Grafitový susceptor a nosič s povlakem SiC pro destičku

Obrázek z grafitového susceptoru a nosiče s povlakem SiC pro destičku

Stručný popis:

Grafitový susceptor VET Energy s povlakem SiC je vysoce výkonný produkt navržený pro zajištění konzistentního a spolehlivého výkonu po delší dobu. Má vynikající tepelnou odolnost a tepelnou rovnoměrnost, vysokou čistotu a odolnost proti erozi, což z něj činí perfektní řešení pro aplikace zpracování destiček.

Materiál:Vysoce čistý izostatický grafit

Čištění: <5 ppm

Povlak:CVD-SiC, CVD-TaC, pyrouhlík

OEM ODM:K dispozici

Pošlete nám e-mail Stáhnout jako PDF

Detaily produktu

Štítky produktů

Grafitový susceptor s povlakem SiCje klíčovou součástí používanou v různých procesech výroby polovodičů. Používáme naši patentovanou technologii k výrobě substrátů s povlakem SiC s extrémně vysokou čistotou, dobrou rovnoměrností povlaku a vynikající životností, stejně jako s vysokou chemickou odolností a tepelnou stabilitou.

Vlastnosti našich produktů:

1. Odolnost proti oxidaci za vysokých teplot až do 1700 ℃.
2. Vysoká čistota a tepelná uniformita
3. Vynikající odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
4. Vysoká tvrdost, kompaktní povrch, jemné částice.
5. Delší životnost a větší odolnost

Kardiovaskulární onemocnění (CVD) SiC薄膜基本物理性能 Základní fyzikální vlastnosti CVD SiCpovlak
性质 / Nemovitost	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Krystalová struktura	Fáze β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdost	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / VELIKOST ZRNA	2~10μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimace	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnost v ohybu	415 MPa RT 4bodový
杨氏模量 Youngův modul pružnosti	430 Gpa, ohyb 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalVodivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná roztažnost (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Společnost VET Energy je profesionální výrobce zaměřený na výzkum, vývoj a výrobu špičkových pokročilých materiálů, jako je grafit, karbid křemíku a křemen, a také na zpracování materiálů, jako je povlak SiC, povlak TaC, povlak ze skelného uhlíku, pyrolytický povlak uhlíku atd. Produkty se široce používají ve fotovoltaice, polovodičích, nové energii, metalurgii atd.

Náš technický tým pochází z předních domácích výzkumných institucí a může vám poskytnout profesionálnější materiálová řešení.

Výhody VET Energy zahrnují:
• Vlastní továrna a profesionální laboratoř;
• Špičková úroveň čistoty a kvality v oboru;
• Konkurenceschopná cena a rychlé dodání;
• Mnohočetná průmyslová partnerství po celém světě;

Vítáme vás kdykoli k návštěvě naší továrny a laboratoře!