Графитовый подложечный электрод и носитель с покрытием из карбида кремния для пластины

Изображение: Графитовый подложечный электрод и носитель с покрытием из карбида кремния для кремниевой пластины.

Краткое описание:

Графитовый подложечный электрод VET Energy с покрытием из карбида кремния (SiC) — это высокоэффективный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода времени. Он обладает превосходной термостойкостью и равномерностью распределения тепла, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки кремниевых пластин.

Материал:Изостатический графит высокой чистоты

Очистка: <5 ppm

Покрытие:CVD-SiC, CVD-TaC, пироуглерод

OEM ODM:Доступный

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Подробная информация о товаре

Метки товаров

SiC-покрытый графитовый сускетпорЭто ключевой компонент, используемый в различных процессах производства полупроводников. Мы используем нашу запатентованную технологию для получения сускетпора с покрытием из SiC, обладающего чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термической стабильностью.

Особенности нашей продукции:

1. Высокая термостойкость к окислению до 1700℃.
2. Высокая чистота и равномерность термической обработки.
3. Превосходная коррозионная стойкость: к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам.
4. Высокая твердость, плотная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и большая долговечность.

Графитовый токоприемник с покрытием SiC (3)

Графитовый токоприемник с покрытием SiC (4)

ССВ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Свойство	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 Кристаллическая структура	β-фаза ГЦК多晶,主要为（111）取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твердость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2–10 мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа RT 4-точечный
杨氏模量 Модуль Юнга	4-точечный изгиб 430 ГПа, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводимость	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения (КТР)	4,5×10^-6K^-1

Компания VET Energy — профессиональный производитель, специализирующийся на исследованиях, разработке и производстве высококачественных современных материалов, таких как графит, карбид кремния, кварц, а также на обработке материалов, например, нанесении покрытий из SiC, TaC, стеклоуглерода, пиролитического углерода и др. Продукция широко используется в фотовольтаике, полупроводниковой промышленности, возобновляемой энергетике, металлургии и других отраслях.

Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.

К преимуществам VET Energy относятся:
• Собственное производство и профессиональная лаборатория;
• Лидирующие в отрасли уровни чистоты и качества;
• Конкурентоспособная цена и быстрая доставка;
• Многочисленные партнерства в различных отраслях по всему миру;

Мы будем рады видеть вас на нашем заводе и в лаборатории в любое время!