SiC coated Graphite Susceptor និង Carrier សម្រាប់ Wafer

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor គឺជាផលិតផលដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ដែលបានរចនាឡើងដើម្បីផ្តល់នូវការអនុវត្តប្រកបដោយភាពជាប់លាប់ និងអាចទុកចិត្តបានក្នុងរយៈពេលវែង។ វាមានភាពធន់ទ្រាំកំដៅដ៏ល្អនិងឯកសណ្ឋានកម្ដៅ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ធន់នឹងសំណឹក ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាដំណោះស្រាយដ៏ល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់កម្មវិធីកែច្នៃ wafer ។

 

 


  • សម្ភារៈ៖ក្រាហ្វិច isostatic ភាពបរិសុទ្ធ
  • ការបន្សុត៖ <5 ppm
  • ថ្នាំកូត៖CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-carbon
  • OEM ODM៖មាន
  • ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

    ស្លាកផលិតផល

    SiC coated graphite suscetporគឺជាសមាសធាតុសំខាន់ដែលប្រើក្នុងដំណើរការផលិត semiconductor ផ្សេងៗ។ យើងប្រើប្រាស់បច្ចេកវិជ្ជាដែលមានប៉ាតង់របស់យើងដើម្បីធ្វើឱ្យ Suscetpor ស្រោបដោយ SiC ជាមួយនឹងភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ភាពដូចគ្នានៃថ្នាំកូតល្អ និងអាយុកាលសេវាកម្មដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ព្រមទាំងធន់នឹងសារធាតុគីមីខ្ពស់ និងលក្ខណៈសម្បត្តិស្ថេរភាពកម្ដៅ។

    លក្ខណៈពិសេសនៃផលិតផលរបស់យើង៖

    1. ធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់រហូតដល់ 1700 ℃។
    2. ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់និងឯកសណ្ឋានកម្ដៅ
    3. ធន់នឹងច្រេះល្អ៖ អាស៊ីត អាល់កាឡាំង អំបិល និងសារធាតុសរីរាង្គ។
    4. ភាពរឹងខ្ពស់ ផ្ទៃបង្រួម ភាគល្អិតល្អ។
    5. អាយុកាលសេវាកម្មយូរជាង និងប្រើប្រាស់បានយូរជាងមុន

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តមូលដ្ឋាននៃ CVD SiCថ្នាំកូត

    性质 / ទ្រព្យសម្បត្តិ

    典型数值 / តម្លៃធម្មតា។

    晶体结构 / រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់

    ដំណាក់កាល FCC β多晶,主要为(111) 取向

    密度 / ដង់ស៊ីតេ

    3.21 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ 3

    硬度 / រឹង

    2500 维氏硬度 (ផ្ទុក 500 ក្រាម)

    晶粒大小 / គ្រាប់ធញ្ញជាតិ SiZe

    2 ~ 10 μm

    纯度 / ភាពបរិសុទ្ធគីមី

    99.99995%

    热内 / សមត្ថភាពកំដៅ

    640 J · គីឡូក្រាម-1· ខេ-1

    升华温度 / សីតុណ្ហភាព Sublimation

    ២៧០០ អង្សាសេ

    抗弯强度 / កម្លាំងបត់បែន

    415 MPa RT 4 ចំណុច

    杨氏模量 / ម៉ូឌុលរបស់ Young

    430 Gpa 4pt ពត់, 1300 ℃

    导热系数 / កំដៅលីត្រចរន្តអគ្គិសនី

    ៣០០ វ៉-1· ខេ-1

    热膨胀系数 / ការពង្រីកកំដៅ (CTE)

    ៤.៥ × ១០-6K-1

    ១

    ២

    VET Energy Graphite

    ២

    VET Energy គឺជាក្រុមហ៊ុនផលិតដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈផ្តោតលើ R&D និងការផលិតសម្ភារៈកម្រិតខ្ពស់ដូចជា graphite, silicon carbide, quartz ក៏ដូចជាការព្យាបាលសម្ភារៈដូចជា SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, etc. ផលិតផលត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុង photovoltaic, semiconductor, new energy, metalclurgy

    ក្រុមបច្ចេកទេសរបស់យើងមកពីស្ថាប័នស្រាវជ្រាវក្នុងស្រុកកំពូល អាចផ្តល់នូវដំណោះស្រាយសម្ភារៈដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈបន្ថែមទៀតសម្រាប់អ្នក។

    អត្ថប្រយោជន៍ VET Energy រួមមានៈ
    • មានរោងចក្រផ្ទាល់ខ្លួន និងមន្ទីរពិសោធន៍វិជ្ជាជីវៈ។
    • កម្រិតភាពបរិសុទ្ធ និងគុណភាពឈានមុខគេក្នុងឧស្សាហកម្ម។
    •តម្លៃប្រកួតប្រជែង & ពេលវេលាដឹកជញ្ជូនលឿន;
    • ភាពជាដៃគូឧស្សាហកម្មជាច្រើននៅទូទាំងពិភពលោក។

    យើងស្វាគមន៍អ្នកមកទស្សនារោងចក្រ និងមន្ទីរពិសោធន៍របស់យើងគ្រប់ពេល!

    研发团队

    公司客户


  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖

  • WhatsApp ជជែកតាមអ៊ីនធឺណិត!