SiC обложен графитен суспензор и носач за плочка

Графитен суспензор и носач за плочка со SiC облога, претставена слика

Краток опис:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor е високо-перформансен производ дизајниран да обезбеди конзистентни и сигурни перформанси во подолг временски период. Има супер добра отпорност на топлина и термичка униформност, висока чистота, отпорност на ерозија, што го прави совршено решение за апликации за обработка на плочки.

Материјал:Изостатски графит со висока чистота

Прочистување: <5 ppm

Обложување:CVD-SiC, CVD-TaC, Пиро-јаглерод

OEM ODM:Достапно

Испратете ни е-пошта Преземи како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

SiC обложен графитен субсепторе клучна компонента што се користи во различни процеси на производство на полупроводници. Ние ја користиме нашата патентирана технологија за да направиме субсептори со SiC облога со исклучително висока чистота, добра униформност на облогата и одличен век на траење, како и висока хемиска отпорност и термичка стабилност.

Карактеристики на нашите производи:

1. Отпорност на оксидација на висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота и термичка униформност
3. Одлична отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
4. Висока тврдост, компактна површина, фини честички.
5. Подолг работен век и потрајни

КВБ SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога
性质 / Имот	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111).
密度 / Густина	3,21 g/cm³
硬度 / Тврдост	2500 维氏硬度 (500 g оптоварување)
晶粒大小 / Големина на зрно	2~10μm
纯度 / Хемиска чистота	99,99995%
热容 / Топлински капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимација	2700℃
抗弯强度 / Јачина на свиткување	415 MPa RT 4-точка
杨氏模量 / Јангов модул	430 Gpa 4pt свиткување, 1300℃
导热系数 / ТермалСпроводливост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy е професионален производител фокусиран на истражување и развој и производство на висококвалитетни напредни материјали како што се графит, силициум карбид, кварц, како и третман на материјали како што се SiC премази, TaC премази, стаклесто јаглеродни премази, пиролитички јаглеродни премази итн. Производите се користат во фотоволтаични, полупроводнички, нова енергија, металургија итн.

Нашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да ви обезбеди попрофесионални материјални решенија.

Предностите на VET Energy вклучуваат:
• Сопствена фабрика и професионална лабораторија;
• Водечки нивоа на чистота и квалитет во индустријата;
• Конкурентна цена и брзо време на испорака;
• Повеќе индустриски партнерства низ целиот свет;

Ве покануваме да ја посетите нашата фабрика и лабораторија во секое време!