SiC-belagt grafittmotstand og bærer for wafer

Kort beskrivelse:

VET Energy SiC-belagt grafittsusceptor er et høytytende produkt som er utviklet for å gi konsistent og pålitelig ytelse over lengre tid. Den har supergod varmebestandighet og termisk ensartethet, høy renhet og erosjonsmotstand, noe som gjør den til den perfekte løsningen for waferbehandlingsapplikasjoner.

Materiale:Isostatisk grafitt med høy renhet

Rensing: <5 ppm

Belegg:CVD-SiC, CVD-TaC, pyrokarbon

OEM ODM:Tilgjengelig

Send e-post til oss Last ned som PDF

Produktdetaljer

Produktetiketter

SiC-belagt grafittsuspensjoner en nøkkelkomponent som brukes i ulike produksjonsprosesser for halvledere. Vi bruker vår patenterte teknologi til å lage SiC-belagte suspensjoner med ekstremt høy renhet, god beleggjevnhet og utmerket levetid, samt høy kjemisk motstand og termiske stabilitetsegenskaper.

Funksjoner ved produktene våre:

1. Høy temperatur oksidasjonsmotstand opptil 1700 ℃.
2. Høy renhet og termisk ensartethet
3. Utmerket korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høy hardhet, kompakt overflate, fine partikler.
5. Lengre levetid og mer holdbar

Hjerte- og kardiovaskulær sykdom SiC薄膜基本物理性能 Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg
性质 / Eiendom	典型数值 / Typisk verdi
晶体结构 / Krystallstruktur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Tetthet	3,21 g/cm³
硬度 / Hardhet	2500 维氏硬度（500g belastning）
晶粒大小 / Kornstørrelse	2~10 μm
纯度 / Kjemisk renhet	99,99995 %
热容 / Varmekapasitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimeringstemperatur	2700 ℃
抗弯强度 / Bøyestyrke	415 MPa RT 4-punkts
杨氏模量 / Youngs modul	430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
导热系数 / TermalKonduktivitet	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy er en profesjonell produsent som fokuserer på forskning og utvikling og produksjon av avanserte materialer som grafitt, silisiumkarbid, kvarts, samt materialbehandling som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc. Produktene er mye brukt innen solcellepanel, halvledere, ny energi, metallurgi, etc.

Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner, og kan tilby deg mer profesjonelle materialløsninger.

VET Energys fordeler inkluderer:
• Egen fabrikk og profesjonelt laboratorium;
• Bransjeledende renhetsnivåer og kvalitet;
• Konkurransedyktig pris og rask leveringstid;
• Flere bransjepartnerskap over hele verden;

Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken og laboratoriet vårt når som helst!