Grafitni susceptor i nosač obložen SiC-om za pločicu

Istaknuta slika susceptora i nosača obloženog grafitom SiC za pločicu

Kratak opis:

VET Energy SiC obloženi grafitni susceptor je visokoperformansni proizvod dizajniran da pruži konzistentne i pouzdane performanse tokom dužeg perioda. Ima super dobru otpornost na toplotu i termičku ujednačenost, visoku čistoću i otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za primjenu u obradi pločica.

Materijal:Izostatički grafit visoke čistoće

Pročišćavanje: <5 ppm

Premaz:CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbon

OEM ODM:Dostupno

Pošaljite nam e-poštu Preuzmi kao PDF

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

SiC obloženi grafitni susceptorje ključna komponenta koja se koristi u raznim procesima proizvodnje poluprovodnika. Koristimo našu patentiranu tehnologiju kako bismo napravili SiC obložene supstrate sa izuzetno visokom čistoćom, dobrom ujednačenošću premaza i odličnim vijekom trajanja, kao i visokom hemijskom otpornošću i termičkom stabilnošću.

Karakteristike naših proizvoda:

1. Otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama do 1700℃.
2. Visoka čistoća i termička ujednačenost
3. Odlična otpornost na koroziju: kiseline, alkalije, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Duži vijek trajanja i izdržljiviji

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizička svojstva CVD SiC-apremaz
性质 / Nekretnina	典型数值 / Tipična vrijednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶,主要为（111）取向
密度 / Gustoća	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdoća	2500 维氏硬度 (500g opterećenje)
晶粒大小 / Veličina zrna	2~10μm
纯度 / Hemijska čistoća	99,99995%
热容 / Toplotni kapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700℃
抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje	415 MPa RT 4-tačkasti
杨氏模量 Youngov modul	430 Gpa savijanje od 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalProvodljivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termičko širenje (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy je profesionalni proizvođač fokusiran na istraživanje i razvoj i proizvodnju vrhunskih naprednih materijala kao što su grafit, silicijum karbid, kvarc, kao i na obradu materijala poput SiC premaza, TaC premaza, premaza od staklastog ugljika, pirolitičkog ugljičnog premaza itd. Proizvodi se široko koriste u fotonaponskim sistemima, poluprovodnicima, novoj energiji, metalurgiji itd.

Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Prednosti VET Energy uključuju:
• Vlastita tvornica i profesionalni laboratorij;
• Vodeći nivoi čistoće i kvaliteta u industriji;
• Konkurentna cijena i brza isporuka;
• Višestruka industrijska partnerstva širom svijeta;

Pozivamo vas da posjetite našu fabriku i laboratoriju u bilo koje vrijeme!