SiC-belagd grafitmottagare och bärare för wafer

Kort beskrivning:

VET Energy SiC-belagd grafitmotståndskraft är en högpresterande produkt utformad för att ge konsekvent och pålitlig prestanda över en längre period. Den har supergod värmebeständighet och termisk likformighet, hög renhet och erosionsbeständighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för waferbearbetningsapplikationer.

 

 


  • Material:Isostatisk grafit med hög renhet
  • Rening: <5 ppm
  • Beläggning:CVD-SiC, CVD-TaC, pyrokol
  • OEM ODM:Tillgänglig
  • Produktinformation

    Produktetiketter

    SiC-belagd grafitsuscetporär en nyckelkomponent som används i olika halvledartillverkningsprocesser. Vi använder vår patenterade teknik för att tillverka den SiC-belagda suspensionen med extremt hög renhet, god beläggningsjämnhet och utmärkt livslängd, samt hög kemisk resistens och termisk stabilitet.

    Funktioner hos våra produkter:

    1. Hög temperatur oxidationsbeständighet upp till 1700 ℃.
    2. Hög renhet och termisk enhetlighet
    3. Utmärkt korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
    4. Hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
    5. Längre livslängd och mer hållbar

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning

    性质 / Fastighet

    典型数值 / Typiskt värde

    晶体结构 / Kristallstruktur

    FCC β-fas多晶,主要为(111)取向

    密度 / Densitet

    3,21 g/cm³

    硬度 / Hårdhet

    2500 维氏硬度(500g last)

    晶粒大小 / Kornstorlek

    2~10 μm

    纯度 / Kemisk renhet

    99,99995 %

    热容 / Värmekapacitet

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Sublimeringstemperatur

    2700 ℃

    抗弯强度 / Böjhållfasthet

    415 MPa RT 4-punkts

    杨氏模量 / Youngs modul

    430 Gpa 4pt böjning, 1300 ℃

    导热系数 / TermajagLedningsförmåga

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy Grafit

    2

    VET Energy är en professionell tillverkare som fokuserar på forskning och utveckling samt produktion av avancerade material som grafit, kiselkarbid och kvarts, samt materialbehandling som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning och pyrolytisk kolbeläggning. Produkterna används ofta inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi etc.

    Vårt tekniska team kommer från topprankade inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda dig mer professionella materiallösningar.

    VET Energys fördelar inkluderar:
    • Egen fabrik och professionellt laboratorium;
    • Branschledande renhetsnivåer och kvalitet;
    • Konkurrenskraftigt pris och snabb leveranstid;
    • Flera branschpartnerskap världen över;

    Vi välkomnar dig att besöka vår fabrik och vårt laboratorium när som helst!

    研发团队

    公司客户


  • Tidigare:
  • Nästa:

  • WhatsApp onlinechatt!