वेफर के लिए SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर और वाहक

संक्षिप्त वर्णन:

VET एनर्जी SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर एक उच्च-प्रदर्शन उत्पाद है जिसे लंबे समय तक लगातार और विश्वसनीय प्रदर्शन प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसमें बहुत अच्छा ताप प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता, उच्च शुद्धता, क्षरण प्रतिरोध है, जो इसे वेफर प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए एकदम सही समाधान बनाता है।

 

 


  • सामग्री:उच्च शुद्धता आइसोस्टेटिक ग्रेफाइट
  • शुद्धिकरण: <5पीपीएम
  • कलई करना:CVD-SiC, CVD-TaC, पायरो-कार्बन
  • ओईएम ओडीएम:उपलब्ध
  • उत्पाद विवरण

    उत्पाद टैग

    SiC लेपित ग्रेफाइट सस्पेक्टरविभिन्न अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाने वाला एक प्रमुख घटक है। हम अपनी पेटेंट तकनीक का उपयोग करके SiC लेपित सस्पेक्टर को अत्यधिक उच्च शुद्धता, अच्छी कोटिंग एकरूपता और एक उत्कृष्ट सेवा जीवन के साथ-साथ उच्च रासायनिक प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता गुणों के साथ बनाते हैं।

    हमारे उत्पादों की विशेषताएं:

    1. 1700℃ तक उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध।
    2. उच्च शुद्धता और तापीय एकरूपता
    3. उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध: एसिड, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मकों।
    4. उच्च कठोरता, सघन सतह, महीन कण।
    5. लंबी सेवा जीवन और अधिक टिकाऊ

    सीवीडी SiC薄膜基本物理性能

    CVD SiC के मूल भौतिक गुणकलई करना

    性质 / संपत्ति

    典型数值 / विशिष्ट मूल्य

    यह बहुत अच्छा है / क्रिस्टल की संरचना

    एफसीसी β चरण多晶,主要为(111)取向

    密度 / घनत्व

    3.21 ग्राम/सेमी³

    硬度 / कठोरता

    2500 ग्राम वजन (500 ग्राम लोड)

    晶粒大小 / अनाज आकार

    2~10μm

    纯度 / रासायनिक शुद्धता

    99.99995%

    热容 / ताप की गुंजाइश

    640 जूल·किग्रा-1·के-1

    升华温度 / उर्ध्वपातन तापमान

    2700℃

    抗弯强度 / आनमनी सार्मथ्य

    415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट

    杨氏模量 / यंग मापांक

    430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃

    导热系数 / थर्माएलप्रवाहकत्त्व

    300W·मी-1·के-1

    热膨胀系数 / तापीय विस्तार(सीटीई)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    वीईटी एनर्जी ग्रेफाइट

    2

    वीईटी एनर्जी एक पेशेवर निर्माता है जो ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड, क्वार्ट्ज जैसे उच्च-स्तरीय उन्नत सामग्रियों के अनुसंधान एवं विकास और उत्पादन पर ध्यान केंद्रित करता है, साथ ही सामग्री उपचार जैसे कि SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग, आदि। उत्पादों का व्यापक रूप से फोटोवोल्टिक, अर्धचालक, नई ऊर्जा, धातु विज्ञान, आदि में उपयोग किया जाता है।

    हमारी तकनीकी टीम शीर्ष घरेलू अनुसंधान संस्थानों से आती है, जो आपके लिए अधिक पेशेवर सामग्री समाधान प्रदान कर सकती है।

    वीईटी ऊर्जा के लाभों में शामिल हैं:
    • स्वयं का कारखाना और पेशेवर प्रयोगशाला;
    • उद्योग में अग्रणी शुद्धता स्तर और गुणवत्ता;
    • प्रतिस्पर्धी मूल्य और तेजी से वितरण समय;
    • दुनिया भर में कई उद्योग साझेदारियां;

    हम किसी भी समय हमारे कारखाने और प्रयोगशाला में आने के लिए आपका स्वागत करते हैं!

    研发团队

    公司客户


  • पहले का:
  • अगला:

  • WhatsApp ऑनलाइन चैट!