Susceptor i nośnik grafitowy pokryty SiC dla wafli

Susceptor i nośnik grafitowy pokryty SiC dla wafla (obraz główny)

Krótki opis:

Susceptor grafitowy VET Energy SiC to produkt o wysokiej wydajności, zaprojektowany z myślą o zapewnieniu stałej i niezawodnej pracy przez długi czas. Charakteryzuje się bardzo dobrą odpornością na ciepło i jednorodnością termiczną, wysoką czystością i odpornością na erozję, co czyni go idealnym rozwiązaniem do zastosowań w obróbce płytek półprzewodnikowych.

Tworzywo:Wysokiej czystości grafit izostatyczny

Oczyszczenie: <5 ppm

Powłoka:CVD-SiC, CVD-TaC, Piro-węgiel

OEM ODM:Dostępny

Wyślij do nas e-mail Pobierz jako PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

SiC powlekany grafit suscetporjest kluczowym komponentem stosowanym w różnych procesach produkcji półprzewodników. Wykorzystujemy naszą opatentowaną technologię, aby wytwarzać suscetpory z powłoką SiC o wyjątkowo wysokiej czystości, dobrej jednorodności powłoki i doskonałej żywotności, a także wysokiej odporności chemicznej i stabilności termicznej.

Cechy naszych produktów:

1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1700℃.
2. Wysoka czystość i jednorodność termiczna
3. Doskonała odporność na korozję: kwasy, zasady, sole i odczynniki organiczne.
4. Wysoka twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząsteczki.
5. Dłuższa żywotność i większa trwałość

CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne SiC CVDpowłoka
性质 / Nieruchomość	典型数值 / Wartość typowa
晶体结构 / Struktura kryształu	Faza β FCC多晶, 主要为 (111) 取向
密度 / Gęstość	3,21 g/cm³
硬度 / Twardość	2500 维氏硬度 (ładunek 500g)
晶粒大小 / Rozmiar ziarna	2~10μm
纯度 / Czystość chemiczna	99,99995%
热容 / Pojemność cieplna	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacji	2700℃
抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie	415 MPa RT 4-punktowy
杨氏模量 / Moduł Younga	430 Gpa 4-punktowe zgięcie, 1300℃
导热系数 / ThermajaPrzewodność	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Rozszerzalność cieplna (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy to profesjonalny producent skupiający się na badaniach, rozwoju i produkcji zaawansowanych materiałów wysokiej klasy, takich jak grafit, węglik krzemu, kwarc, a także na obróbce materiałów, takiej jak powłoki SiC, powłoki TaC, powłoki z węgla szklistego, powłoki z węgla pirolitycznego itp. Produkty te są szeroko stosowane w fotowoltaice, półprzewodnikach, nowych źródłach energii, metalurgii itp.

Nasz zespół techniczny składa się z pracowników czołowych krajowych instytutów badawczych i może dostarczyć Państwu bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Zalety VET Energy obejmują:
• Własna fabryka i profesjonalne laboratorium;
• Najwyższe w branży poziomy czystości i jakości;
• Konkurencyjna cena i szybki czas dostawy;
• Wiele partnerstw branżowych na całym świecie;

Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki i laboratorium w dowolnym momencie!