Susceptor e suporte de grafite revestido com SiC para wafer

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Descrição resumida:

O Susceptor de Grafite Revestido com SiC da VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.

Material:Grafite isostático de alta pureza

Purificação: <5 ppm

Revestimento:CVD-SiC, CVD-TaC, pirocarbono

OEM ODM:Disponível

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Detalhes do produto

Etiquetas do produto

susceptor de grafite revestido com SiCÉ um componente essencial utilizado em diversos processos de fabricação de semicondutores. Utilizamos nossa tecnologia patenteada para produzir o Susceptor revestido com SiC com altíssima pureza, excelente uniformidade de revestimento e vida útil excepcional, além de alta resistência química e estabilidade térmica.

Características dos nossos produtos:

1. Alta resistência à oxidação em temperaturas de até 1700℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos.
4. Alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e mais durabilidade

Susceptor de grafite revestido com SiC (3)

Susceptor de grafite revestido de SiC (4)

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do SiC CVDrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β do FCC多晶, 主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 / Tamanho do Grão	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 Capacidade térmica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Temperatura de sublimação	2700℃
抗弯强度 / Resistência à Flexão	415 MPa RT 4 pontos
杨氏模量 Módulo de Young	430 GPa, curvatura de 4 pontos, 1300 °C
导热系数 / TermalCondutividade	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

A VET Energy é uma fabricante profissional focada em pesquisa e desenvolvimento e na produção de materiais avançados de alta qualidade, como grafite, carbeto de silício e quartzo, além de tratamentos de materiais como revestimento de SiC, revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc. Os produtos são amplamente utilizados em células fotovoltaicas, semicondutores, energias renováveis, metalurgia, entre outros.

Nossa equipe técnica é formada por profissionais das principais instituições de pesquisa nacionais, podendo oferecer soluções de materiais mais especializadas.

As vantagens da VET Energy incluem:
• Fábrica própria e laboratório profissional;
• Níveis de pureza e qualidade líderes do setor;
• Preço competitivo e prazo de entrega rápido;
• Diversas parcerias com a indústria em todo o mundo;

Teremos todo o prazer em receber a sua visita à nossa fábrica e laboratório!