Susceptor e portador de grafite revestido de SiC para wafer

Susceptor e portador de grafite revestidos com SiC para wafer - Imagem em destaque

Descrição curta:

O Susceptor de Grafite Revestido com SiC da VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para proporcionar desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.

Material:Grafite isostático de alta pureza

Purificação: <5 ppm

Revestimento:CVD-SiC, CVD-TaC, Piro-carbono

OEM ODM:Disponível

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Detalhes do produto

Etiquetas de produtos

Suscetpor de grafite revestido com SiCé um componente essencial utilizado em diversos processos de fabricação de semicondutores. Utilizamos nossa tecnologia patenteada para produzir o suscetpor revestido de SiC com altíssima pureza, boa uniformidade de revestimento e excelente vida útil, além de alta resistência química e estabilidade térmica.

Características dos nossos produtos:

1. Resistência à oxidação em altas temperaturas de até 1700℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos.
4. Alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e maior durabilidade

Susceptor de grafite revestido com SiC (3)

Susceptor de grafite revestido de SiC (4)

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do SiC CVDrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β da FCC多晶, 主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 / Tamanho do grão	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 / Capacidade de Calor	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de Sublimação	2700℃
抗弯强度 / Resistência à flexão	415 MPa RT 4 pontos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa 4pt curva, 1300℃
导热系数 / TermaeuCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

A VET Energy é uma fabricante profissional com foco em P&D e produção de materiais avançados de alta qualidade, como grafite, carboneto de silício, quartzo, bem como tratamento de materiais como revestimento de SiC, revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc. Os produtos são amplamente utilizados em energia fotovoltaica, semicondutores, novas energias, metalurgia, etc.

Nossa equipe técnica é formada por importantes instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

As vantagens da VET Energy incluem:
• Fábrica própria e laboratório profissional;
• Níveis de pureza e qualidade líderes do setor;
• Preço competitivo e prazo de entrega rápido;
• Múltiplas parcerias industriais em todo o mundo;

Convidamos você a visitar nossa fábrica e laboratório a qualquer momento!