Ensinnäkin meidän on tiedettäväPECVD-arvo(Plasma-avusteinen kemiallinen höyrypinnoitus). Plasma on materiaalimolekyylien lämpöliikkeen voimistumista. Niiden välinen törmäys ionisoi kaasumolekyylit, ja materiaalista tulee seos vapaasti liikkuvia positiivisia ioneja, elektroneja ja neutraaleja hiukkasia, jotka ovat vuorovaikutuksessa keskenään.
Piipinnan valon heijastushäviöiden arvioidaan olevan jopa noin 35 %. Heijastamaton kalvo voi parantaa huomattavasti akkukennon auringonvalon hyödyntämisastetta, mikä auttaa lisäämään valovirran tiheyttä ja siten parantamaan muunnostehokkuutta. Samalla kalvon vety passivoi akkukennon pinnan, vähentää emitteriliitoksen pinnan rekombinaationopeutta, vähentää pimeävirtaa, lisää avoimen piirin jännitettä ja parantaa valoelektrisen muunnoksen hyötysuhdetta. Läpipalamisprosessissa tapahtuva korkean lämpötilan välitön hehkutus katkaisee joitakin Si-H- ja NH-sidoksia, ja vapautuva vety vahvistaa entisestään akun passivointia.
Koska aurinkosähkölaatuiset piimateriaalit sisältävät väistämättä paljon epäpuhtauksia ja vikoja, piin vähemmistövarauksenkuljettajien elinikä ja diffuusiopituus lyhenevät, mikä johtaa akun konversiotehokkuuden laskuun. H voi reagoida piin vikojen tai epäpuhtauksien kanssa, jolloin energiavyöhyke siirtyy energia-aukossa valenssivyöhykkeeseen tai johtavuusvyöhykkeeseen.
1. PECVD-periaate
PECVD-järjestelmä on sarja generaattoreita, jotka käyttävätPECVD-grafiittivene ja korkeataajuisia plasmavirittimiä. Plasmageneraattori asennetaan suoraan pinnoituslevyn keskelle reagoimaan alhaisessa paineessa ja korotetussa lämpötilassa. Käytetyt aktiiviset kaasut ovat silaani SiH4 ja ammoniakki NH3. Nämä kaasut vaikuttavat piikiekolle varastoituun piinitridiin. Erilaisia taitekertoimia voidaan saada muuttamalla silaanin ja ammoniakin suhdetta. Kasvatusprosessin aikana syntyy suuri määrä vetyatomeja ja vetyioneja, mikä tekee kiekon vetypassivaatiosta erittäin hyvän. Tyhjiössä ja 480 celsiusasteen ympäristön lämpötilassa piikiekon pinnalle pinnoitetaan SixNy-kerros johtamallaPECVD-grafiittivene.
3SiH4 + 4NH3 → Si3N4 + 12H2
2. Si3N4
Si3N4-kalvon väri muuttuu paksuutensa mukaan. Yleensä ihanteellinen paksuus on 75–80 nm, jolloin se näyttää tummansiniseltä. Si3N4-kalvon taitekerroin on parhaimmillaan 2,0–2,5. Taitekertoimen mittaamiseen käytetään yleensä alkoholia.
Erinomainen pinnan passivointivaikutus, tehokas optinen heijastamaton suorituskyky (paksuuden taitekertoimen yhteensovitus), matalan lämpötilan prosessi (tehokkaasti alentaa kustannuksia) ja syntyvät H -ionit passivoivat piikiekon pinnan.
3. Yleisiä asioita pinnoitustyöpajassa
Kalvon paksuus:
Eri kalvonpaksuuksilla laskeutumisaika on erilainen. Laskeutumisaikaa on pidennettävä tai lyhennettävä pinnoitteen värin mukaan. Jos kalvo on valkoinen, laskeutumisaikaa on lyhennettävä, jos se on punertava, sitä on pidennettävä. Jokainen kalvopaketti on tarkistettava huolellisesti, eikä viallisia tuotteita saa päästää seuraavaan prosessiin. Esimerkiksi jos pinnoite on huono, kuten väriläiskät ja vesileimat, yleisimmät pinnan vaalenemiset, värierot ja valkoiset täplät tuotantolinjalla on poistettava ajoissa. Pinnan vaaleneminen johtuu pääasiassa paksusta piinitridikalvosta, jota voidaan säätää säätämällä kalvon laskeutumisaikaa. Värierokalvo johtuu pääasiassa kaasukanavan tukkeutumisesta, kvartsiputken vuodosta, mikroaaltojen vikaantumisesta jne. Valkoiset täplät johtuvat pääasiassa pienistä mustista täplistä edellisessä prosessissa. Heijastavuuden, taitekertoimen jne. sekä erikoiskaasujen turvallisuuden seuranta on tärkeää.
Valkoisia täpliä pinnalla:
PECVD on suhteellisen tärkeä prosessi aurinkokennoissa ja tärkeä indikaattori yrityksen aurinkokennojen hyötysuhteelle. PECVD-prosessi on yleensä kiireinen, ja jokaista kennoerää on seurattava. Pinnoitusuuneissa on paljon putkia, ja jokaisessa putkessa on yleensä satoja kennoja (laitteistosta riippuen). Prosessiparametrien muuttamisen jälkeen varmennussykli on pitkä. Pinnoitustekniikka on tekniikka, jota koko aurinkosähköteollisuus pitää erittäin tärkeänä. Aurinkokennojen hyötysuhdetta voidaan parantaa parantamalla pinnoitustekniikkaa. Tulevaisuudessa aurinkokennojen pintateknologia voi olla läpimurto aurinkokennojen teoreettisessa hyötysuhteessa.
Julkaisun aika: 23.12.2024