ກ່ອນອື່ນໝົດ, ພວກເຮົາຕ້ອງຮູ້ວ່າPECVD(ການສະສົມໄອນ້ຳເຄມີທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນໃນພລາສມາ). ພລາສມາແມ່ນການເຮັດໃຫ້ການເຄື່ອນໄຫວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງໂມເລກຸນວັດສະດຸຮຸນແຮງຂຶ້ນ. ການປະທະກັນລະຫວ່າງພວກມັນຈະເຮັດໃຫ້ໂມເລກຸນອາຍແກັສຖືກໄອອອນ, ແລະວັດສະດຸຈະກາຍເປັນສ່ວນປະສົມຂອງໄອອອນບວກ, ເອເລັກຕຣອນ ແລະອະນຸພາກທີ່ເປັນກາງທີ່ເຄື່ອນທີ່ໄດ້ຢ່າງເສລີ ເຊິ່ງມີປະຕິສຳພັນເຊິ່ງກັນແລະກັນ.
ຄາດຄະເນວ່າອັດຕາການສູນເສຍການສະທ້ອນຂອງແສງເທິງໜ້າດິນຊິລິໂຄນສູງເຖິງປະມານ 35%. ຟິມຕ້ານການສະທ້ອນສາມາດປັບປຸງອັດຕາການໃຊ້ແສງຕາເວັນໂດຍເຊວແບັດເຕີຣີໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ເຊິ່ງຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງກະແສໄຟຟ້າທີ່ສ້າງຂຶ້ນດ້ວຍແສງ ແລະ ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປັບປຸງປະສິດທິພາບການປ່ຽນ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ໄຮໂດຣເຈນໃນຟິມເຮັດໃຫ້ໜ້າດິນຂອງເຊວແບັດເຕີຣີຜ່ານ, ຫຼຸດອັດຕາການລວມຕົວຂອງໜ້າດິນຂອງຈຸດເຊື່ອມຕໍ່ອີມິເຕີ, ຫຼຸດກະແສໄຟຟ້າມືດ, ເພີ່ມແຮງດັນວົງຈອນເປີດ, ແລະ ປັບປຸງປະສິດທິພາບການປ່ຽນແສງໄຟຟ້າ. ການອົບແຫ້ງທັນທີດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງໃນຂະບວນການເຜົາໄໝ້ຈະທຳລາຍພັນທະບັດ Si-H ແລະ NH4 ບາງສ່ວນ, ແລະ H ທີ່ຖືກປ່ອຍອອກມາຈະເສີມສ້າງການຊຶມຂອງແບັດເຕີຣີໃຫ້ແຂງແຮງຂຶ້ນ.
ເນື່ອງຈາກວັດສະດຸຊິລິກອນຊັ້ນ photovoltaic ຈະມີສິ່ງເຈືອປົນ ແລະ ຂໍ້ບົກຜ່ອງຈຳນວນຫຼວງຫຼາຍ, ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຕົວນຳສ່ວນນ້ອຍ ແລະ ຄວາມຍາວຂອງການແຜ່ກະຈາຍໃນຊິລິກອນຈະຫຼຸດລົງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບການປ່ຽນແບັດເຕີຣີຫຼຸດລົງ. H ສາມາດປະຕິກິລິຍາກັບຂໍ້ບົກຜ່ອງ ຫຼື ສິ່ງເຈືອປົນໃນຊິລິກອນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງໂອນແຖບພະລັງງານໃນ bandgap ໄປສູ່ແຖບ valence ຫຼື ແຖບ conduction.
1. ຫຼັກການ PECVD
ລະບົບ PECVD ແມ່ນຊຸດຂອງເຄື່ອງກຳເນີດໄຟຟ້າທີ່ໃຊ້ເຮືອແກຣໄຟ PECVD ແລະຕົວກະຕຸ້ນ plasma ຄວາມຖີ່ສູງ. ເຄື່ອງສ້າງ plasma ຖືກຕິດຕັ້ງໂດຍກົງຢູ່ກາງແຜ່ນເຄືອບເພື່ອປະຕິກິລິຍາພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນຕໍ່າ ແລະ ອຸນຫະພູມສູງ. ອາຍແກັສທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວທີ່ໃຊ້ແມ່ນ silane SiH4 ແລະ ammonia NH3. ອາຍແກັສເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໜ້າທີ່ກັບ silicon nitride ທີ່ເກັບໄວ້ໃນແຜ່ນ silicon. ດັດຊະນີການຫັກເຫທີ່ແຕກຕ່າງກັນສາມາດໄດ້ຮັບໂດຍການປ່ຽນແປງອັດຕາສ່ວນຂອງ silane ຕໍ່ກັບ ammonia. ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການວາງຊັ້ນ, ປະລິມານຫຼາຍຂອງອະຕອມໄຮໂດຣເຈນ ແລະ ໄອອອນໄຮໂດຣເຈນຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນ, ເຮັດໃຫ້ການເຄືອບໄຮໂດຣເຈນຂອງແຜ່ນ wafer ດີຫຼາຍ. ໃນສູນຍາກາດ ແລະ ອຸນຫະພູມອາກາດລ້ອມຮອບ 480 ອົງສາເຊນຊຽດ, ຊັ້ນຂອງ SixNy ຖືກເຄືອບຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງແຜ່ນ silicon ໂດຍການນຳເຮືອແກຣໄຟ PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
ສີຂອງຟິມ Si3N4 ປ່ຽນແປງໄປຕາມຄວາມໜາຂອງມັນ. ໂດຍທົ່ວໄປ, ຄວາມໜາທີ່ເໝາະສົມແມ່ນຢູ່ລະຫວ່າງ 75 ຫາ 80 nm, ເຊິ່ງເບິ່ງຄືວ່າເປັນສີຟ້າເຂັ້ມ. ດັດຊະນີການຫັກເຫຂອງຟິມ Si3N4 ທີ່ດີທີ່ສຸດແມ່ນຢູ່ລະຫວ່າງ 2.0 ຫາ 2.5. ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວ ເຫຼົ້າຈະຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອວັດແທກດັດຊະນີການຫັກເຫຂອງມັນ.
ຜົນກະທົບການເຮັດໃຫ້ໜ້າຜິວເປັນຮູບຊົງທີ່ດີເລີດ, ປະສິດທິພາບຕ້ານການສະທ້ອນແສງທີ່ມີປະສິດທິພາບ (ການຈັບຄູ່ດັດຊະນີການຫັກເຫຂອງຄວາມໜາ), ຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມຕໍ່າ (ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຢ່າງມີປະສິດທິພາບ), ແລະໄອອອນ H ທີ່ສ້າງຂຶ້ນຈະເຮັດໃຫ້ໜ້າຜິວແຜ່ນຊິລິໂຄນເປັນຮູບຊົງ.
3. ເລື່ອງທົ່ວໄປໃນກອງປະຊຸມເຄືອບ
ຄວາມໜາຂອງຟິມ:
ເວລາການວາງສີແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມຄວາມໜາຂອງຟິມທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ເວລາການວາງສີຄວນເພີ່ມຂຶ້ນ ຫຼື ຫຼຸດລົງຢ່າງເໝາະສົມຕາມສີຂອງຊັ້ນເຄືອບ. ຖ້າຟິມມີສີຂາວ, ເວລາການວາງສີຄວນຫຼຸດລົງ. ຖ້າມັນເປັນສີແດງ, ຄວນເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງເໝາະສົມ. ແຕ່ລະຊັ້ນຂອງຟິມຄວນໄດ້ຮັບການຢືນຢັນຢ່າງຄົບຖ້ວນ, ແລະ ຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງບໍ່ໄດ້ຮັບອະນຸຍາດໃຫ້ໄຫຼເຂົ້າສູ່ຂະບວນການຕໍ່ໄປ. ຕົວຢ່າງ, ຖ້າຊັ້ນເຄືອບບໍ່ດີ, ເຊັ່ນ: ຈຸດສີ ແລະ ຮອຍນໍ້າ, ຄວນເລືອກເອົາຈຸດຂາວທີ່ພົບເລື້ອຍທີ່ສຸດໃນສາຍການຜະລິດໃຫ້ທັນເວລາ. ການເຮັດໃຫ້ພື້ນຜິວຂາວຂຶ້ນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເກີດຈາກຟິມຊິລິໂຄນໄນໄຕຣດທີ່ໜາ, ເຊິ່ງສາມາດປັບໄດ້ໂດຍການປັບເວລາການວາງສີ; ຟິມຄວາມແຕກຕ່າງຂອງສີສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເກີດຈາກການອຸດຕັນຂອງເສັ້ນທາງອາຍແກັສ, ການຮົ່ວໄຫຼຂອງທໍ່ຄວດັສ, ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງໄມໂຄເວຟ, ແລະອື່ນໆ; ຈຸດຂາວສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເກີດຈາກຈຸດດຳນ້ອຍໆໃນຂະບວນການກ່ອນໜ້ານີ້. ການຕິດຕາມກວດກາການສະທ້ອນແສງ, ດັດຊະນີການຫັກເຫ, ແລະອື່ນໆ, ຄວາມປອດໄພຂອງອາຍແກັສພິເສດ, ແລະອື່ນໆ.
ຈຸດສີຂາວຢູ່ເທິງໜ້າດິນ:
PECVD ເປັນຂະບວນການທີ່ຂ້ອນຂ້າງສຳຄັນໃນແຜງແສງອາທິດ ແລະ ເປັນຕົວຊີ້ບອກທີ່ສຳຄັນຂອງປະສິດທິພາບຂອງແຜງແສງອາທິດຂອງບໍລິສັດ. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຂະບວນການ PECVD ແມ່ນຫຍຸ້ງຫຼາຍ, ແລະ ແຕ່ລະຊຸດຂອງແຜງແສງອາທິດຕ້ອງໄດ້ຮັບການຕິດຕາມກວດກາ. ມີທໍ່ເຕົາອົບເຄືອບຫຼາຍທໍ່, ແລະ ແຕ່ລະທໍ່ໂດຍທົ່ວໄປມີແຜງແສງອາທິດຫຼາຍຮ້ອຍໜ່ວຍ (ຂຶ້ນກັບອຸປະກອນ). ຫຼັງຈາກການປ່ຽນແປງພາລາມິເຕີຂອງຂະບວນການ, ວົງຈອນການກວດສອບແມ່ນຍາວນານ. ເທັກໂນໂລຢີການເຄືອບແມ່ນເທັກໂນໂລຢີທີ່ອຸດສາຫະກຳແສງອາທິດທັງໝົດໃຫ້ຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ. ປະສິດທິພາບຂອງແຜງແສງອາທິດສາມາດປັບປຸງໄດ້ໂດຍການປັບປຸງເທັກໂນໂລຢີການເຄືອບ. ໃນອະນາຄົດ, ເທັກໂນໂລຢີພື້ນຜິວແຜງແສງອາທິດອາດຈະກາຍເປັນຄວາມກ້າວໜ້າໃນປະສິດທິພາບທາງທິດສະດີຂອງແຜງແສງອາທິດ.
ເວລາໂພສ: ວັນທີ 23 ທັນວາ 2024