سڀ کان پهرين، اسان کي ڄاڻڻ جي ضرورت آهيپي اي سي وي ڊي(پلازما اينهانسڊ ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن). پلازما مادي ماليڪيولن جي حرارتي حرڪت جي شدت آهي. انهن جي وچ ۾ ٽڪراءُ گئس ماليڪيولن کي آئنائيز ڪرڻ جو سبب بڻجندو، ۽ مواد آزادانه طور تي حرڪت ڪندڙ مثبت آئنن، اليڪٽرانن ۽ غير جانبدار ذرڙن جو مرکب بڻجي ويندو جيڪي هڪ ٻئي سان لهه وچڙ ڪندا آهن.
اندازو لڳايو ويو آهي ته سلڪون جي مٿاڇري تي روشني جي عڪاسي نقصان جي شرح تقريباً 35 سيڪڙو تائين آهي. اينٽي ريفلڪشن فلم بيٽري سيل پاران شمسي روشني جي استعمال جي شرح کي تمام گهڻو بهتر بڻائي سگهي ٿي، جيڪا فوٽو جنريٽ ٿيل ڪرنٽ کثافت کي وڌائڻ ۾ مدد ڪري ٿي ۽ اهڙي طرح ڪنورشن جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي ٿي. ساڳئي وقت، فلم ۾ هائيڊروجن بيٽري سيل جي مٿاڇري کي غير فعال ڪري ٿو، ايميٽر جنڪشن جي مٿاڇري جي ٻيهر ميلاپ جي شرح کي گھٽائي ٿو، ڊارڪ ڪرنٽ کي گھٽائي ٿو، اوپن سرڪٽ وولٽيج کي وڌائي ٿو، ۽ فوٽو اليڪٽرڪ ڪنورشن جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي ٿو. برن-ٿرو عمل ۾ تيز گرمي پد جي فوري اينيلنگ ڪجهه Si-H ۽ NH بانڊ کي ٽوڙي ٿي، ۽ آزاد ٿيل H بيٽري جي پاسوائيشن کي وڌيڪ مضبوط ڪري ٿو.
جيئن ته فوٽووولٽڪ گريڊ سلڪون مواد ۾ ناگزير طور تي وڏي مقدار ۾ نجاست ۽ نقص هوندا آهن، سلڪون ۾ اقليتي ڪيريئر لائف ٽائيم ۽ ڊفيوژن جي ڊيگهه گهٽجي ويندي آهي، جنهن جي نتيجي ۾ بيٽري جي تبادلي جي ڪارڪردگي ۾ گهٽتائي ايندي آهي. H سلڪون ۾ نقصن يا نجاست سان رد عمل ظاهر ڪري سگهي ٿو، ان ڪري بينڊ گيپ ۾ توانائي بينڊ کي ويلنس بينڊ يا ڪنڊڪشن بينڊ ۾ منتقل ڪري سگهجي ٿو.
1. PECVD اصول
PECVD سسٽم جنريٽرن جو هڪ سلسلو آهي جيڪو استعمال ڪري ٿوPECVD گريفائيٽ ٻيڙي ۽ هاءِ فريڪوئنسي پلازما ايڪسائيٽرز. پلازما جنريٽر سڌو سنئون ڪوٽنگ پليٽ جي وچ ۾ نصب ڪيو ويو آهي ته جيئن گهٽ دٻاءُ ۽ بلند درجه حرارت تي رد عمل ظاهر ڪري سگهجي. استعمال ٿيندڙ فعال گيسون سائلين SiH4 ۽ امونيا NH3 آهن. اهي گيسون سلڪون ويفر تي ذخيرو ٿيل سلڪون نائٽرائڊ تي عمل ڪن ٿيون. سلڪون ۽ امونيا جي تناسب کي تبديل ڪندي مختلف ريفريڪٽو انڊيڪس حاصل ڪري سگهجن ٿا. جمع ڪرڻ جي عمل دوران، هائيڊروجن ايٽم ۽ هائيڊروجن آئنز جي هڪ وڏي مقدار پيدا ٿئي ٿي، جنهن سان ويفر جي هائيڊروجن پاسيويشن تمام سٺي ٿئي ٿي. هڪ ويڪيوم ۽ 480 درجا سينٽي گريڊ جي ماحولي درجه حرارت ۾، سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي SixNy جي هڪ پرت کي ڍڪيو ويندو آهي.PECVD گريفائيٽ ٻيڙي.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. سي 3 اين 4
Si3N4 فلم جو رنگ ان جي ٿولهه سان تبديل ٿيندو آهي. عام طور تي، مثالي ٿولهه 75 ۽ 80 nm جي وچ ۾ هوندي آهي، جيڪا ڳاڙهو نيرو نظر ايندي آهي. Si3N4 فلم جو ريفريڪٽو انڊيڪس 2.0 ۽ 2.5 جي وچ ۾ بهترين آهي. عام طور تي ان جي ريفريڪٽو انڊيڪس کي ماپڻ لاءِ الڪوحل استعمال ڪيو ويندو آهي.
بهترين مٿاڇري جي پاسيويشن اثر، ڪارآمد آپٽيڪل اينٽي ريفلڪشن ڪارڪردگي (ٿڪنس ريفريڪٽو انڊيڪس ميچنگ)، گهٽ درجه حرارت جو عمل (مؤثر طريقي سان خرچ گهٽائڻ)، ۽ پيدا ٿيل H آئنز سلڪون ويفر جي مٿاڇري کي پاسيويٽ ڪن ٿا.
3. ڪوٽنگ ورڪشاپ ۾ عام معاملا
فلم جي ٿولهه:
مختلف فلم جي ٿولهه لاءِ جمع ڪرڻ جو وقت مختلف هوندو آهي. جمع ڪرڻ جو وقت ڪوٽنگ جي رنگ جي مطابق مناسب طور تي وڌايو يا گهٽايو وڃي. جيڪڏهن فلم اڇو آهي، ته جمع ڪرڻ جو وقت گهٽايو وڃي. جيڪڏهن اهو ڳاڙهي آهي، ته ان کي مناسب طور تي وڌايو وڃي. فلمن جي هر ٻيڙي کي مڪمل طور تي تصديق ڪرڻ گهرجي، ۽ خراب شين کي ايندڙ عمل ۾ وهڻ جي اجازت نه ڏني وڃي. مثال طور، جيڪڏهن ڪوٽنگ خراب آهي، جهڙوڪ رنگ جا داغ ۽ واٽر مارڪ، ته پوءِ سڀ کان عام مٿاڇري جي اڇو ڪرڻ، رنگ جو فرق، ۽ پيداوار واري لائن تي اڇا داغ وقت تي چونڊيا وڃن. مٿاڇري جي اڇو ڪرڻ بنيادي طور تي ٿلهي سلڪون نائٽرائڊ فلم جي ڪري ٿئي ٿي، جيڪا فلم جمع ڪرڻ جي وقت کي ترتيب ڏئي ترتيب ڏئي سگهجي ٿي؛ رنگ جي فرق واري فلم بنيادي طور تي گئس جي رستي جي رڪاوٽ، ڪوارٽز ٽيوب جي رساو، مائڪرو ويڪرو ناڪامي، وغيره جي ڪري ٿئي ٿي؛ اڇا داغ بنيادي طور تي پوئين عمل ۾ ننڍڙن ڪارا داغن جي ڪري ٿين ٿا. عڪاسي، ريفريڪٽو انڊيڪس، وغيره جي نگراني، خاص گيسن جي حفاظت، وغيره.
مٿاڇري تي اڇا داغ:
PECVD شمسي سيلز ۾ هڪ نسبتاً اهم عمل آهي ۽ ڪمپني جي شمسي سيلز جي ڪارڪردگي جو هڪ اهم اشارو آهي. PECVD عمل عام طور تي مصروف هوندو آهي، ۽ سيلز جي هر بيچ کي مانيٽر ڪرڻ جي ضرورت هوندي آهي. ڪيتريون ئي ڪوٽنگ فرنس ٽيوبون آهن، ۽ هر ٽيوب ۾ عام طور تي سوين سيلز هوندا آهن (سامان تي منحصر). پروسيس پيرا ميٽرز کي تبديل ڪرڻ کان پوءِ، تصديق جو چڪر ڊگهو هوندو آهي. ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي هڪ ٽيڪنالاجي آهي جنهن کي پوري فوٽووولٽڪ انڊسٽري تمام گهڻي اهميت ڏئي ٿي. ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي کي بهتر بڻائي شمسي سيلز جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي سگهجي ٿو. مستقبل ۾، شمسي سيل جي مٿاڇري جي ٽيڪنالاجي شمسي سيلز جي نظرياتي ڪارڪردگي ۾ هڪ پيش رفت بڻجي سگهي ٿي.
پوسٽ جو وقت: ڊسمبر-23-2024