Преди всичко, трябва да знаемPECVD(Плазмено усилено химическо отлагане от пари). Плазмата е процес на усилване на топлинното движение на материалните молекули. Сблъсъкът между тях ще доведе до йонизация на газовите молекули и материалът ще се превърне в смес от свободно движещи се положителни йони, електрони и неутрални частици, които взаимодействат помежду си.
Смята се, че степента на загуба на светлина от отражение върху силициевата повърхност е около 35%. Антиотражателното фолио може значително да подобри степента на използване на слънчевата светлина от батерията, което спомага за увеличаване на плътността на фотогенерирания ток и по този начин подобрява ефективността на преобразуване. В същото време, водородът във фолиото пасивира повърхността на батерията, намалява скоростта на повърхностна рекомбинация на емитерния преход, намалява тъмния ток, увеличава напрежението на отворена верига и подобрява ефективността на фотоелектрическото преобразуване. Високотемпературното моментално отгряване в процеса на прегаряне разкъсва някои Si-H и NH връзки, а освободеният H допълнително засилва пасивацията на батерията.
Тъй като силициевите материали за фотоволтаично приложение неизбежно съдържат голямо количество примеси и дефекти, времето на живот на неосновните носители и дължината на дифузия в силиция се намаляват, което води до намаляване на ефективността на преобразуване на батерията. H може да реагира с дефекти или примеси в силиция, като по този начин прехвърля енергийната зона в забранената зона във валентната зона или проводимата зона.
1. Принцип на PECVD
PECVD системата е серия от генератори, използващиГрафитна лодка PECVD и високочестотни плазмени възбудители. Плазменият генератор е инсталиран директно в средата на покривната плоча, за да реагира под ниско налягане и повишена температура. Използваните активни газове са силан SiH4 и амоняк NH3. Тези газове действат върху силициевия нитрид, съхраняван върху силициевата пластина. Различни показатели на пречупване могат да бъдат получени чрез промяна на съотношението силан към амоняк. По време на процеса на отлагане се генерират голямо количество водородни атоми и водородни йони, което прави пасивацията на пластината с водород много добра. Във вакуум и околна температура от 480 градуса по Целзий, слой от SixNy се нанася върху повърхността на силициевата пластина чрез провеждане на...Графитна лодка PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Цветът на Si3N4 филма се променя с дебелината му. Обикновено идеалната дебелина е между 75 и 80 nm, което означава, че филмът е тъмносин. Коефициентът на пречупване на Si3N4 филма е най-добър между 2,0 и 2,5. За измерване на коефициента на пречупване обикновено се използва алкохол.
Отличен ефект на пасивация на повърхността, ефикасни оптични антиотражателни характеристики (съответствие на индекса на пречупване по дебелина), нискотемпературен процес (ефективно намаляване на разходите) и генерираните H₂ йони пасивират повърхността на силициевата пластина.
3. Често срещани въпроси в цеха за покрития
Дебелина на филма:
Времето за отлагане е различно за различните дебелини на филма. Времето за отлагане трябва да се увеличи или намали съответно в зависимост от цвета на покритието. Ако филмът е белезникав, времето за отлагане трябва да се намали. Ако е червеникав, то трябва да се увеличи съответно. Всяка лодка от филми трябва да бъде напълно потвърдена и дефектните продукти не трябва да се допускат в следващия процес. Например, ако покритието е лошо, като например цветни петна и водни знаци, най-често срещаните избелвания на повърхността, разлика в цвета и бели петна по производствената линия трябва да се отстранят навреме. Избелването на повърхността се причинява главно от дебелия силициево-нитриден филм, което може да се регулира чрез регулиране на времето за отлагане на филма; разликата в цвета на филма се причинява главно от запушване на газовия път, изтичане на кварцова тръба, повреда на микровълновата печка и др.; белите петна се причиняват главно от малки черни петна в предишния процес. Мониторинг на отражателната способност, коефициента на пречупване и др., безопасността на специалните газове и др.
Бели петна по повърхността:
PECVD е сравнително важен процес в слънчевите клетки и важен индикатор за ефективността на слънчевите клетки на дадена компания. Процесът PECVD обикновено е натоварен и всяка партида клетки трябва да се следи. Има много тръби за покритие в пещите, като всяка тръба обикновено има стотици клетки (в зависимост от оборудването). След промяна на параметрите на процеса, цикълът на проверка е дълъг. Технологията на покритие е технология, на която цялата фотоволтаична индустрия отдава голямо значение. Ефективността на слънчевите клетки може да се подобри чрез подобряване на технологията на покритие. В бъдеще технологията за повърхностно покритие на слънчевите клетки може да се превърне в пробив в теоретичната ефективност на слънчевите клетки.
Време на публикуване: 23 декември 2024 г.