ʻO ka mea mua, pono mākou e ʻikePECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). ʻO ka plasma ka hoʻoikaika ʻana o ka neʻe wela o nā molekala mea. ʻO ke kuʻi ʻana ma waena o lākou e hoʻoulu ai i nā molekala kinoea e ionized, a e lilo ka mea i hui pū ʻana o nā ion maikaʻi e neʻe manuahi ana, nā electrons a me nā ʻāpana kūlike ʻole e launa pū ana me kekahi.
Ua manaʻo ʻia ʻo ka nui o ka nalowale ʻana o ke kukui ma ka ʻili silicon he kiʻekiʻe ia ma kahi o 35%. Hiki i ka ʻili anti-reflection ke hoʻomaikaʻi nui i ka nui o ka hoʻohana ʻana o ka mālamalama o ka lā e ka cell pila, kahi e kōkua ai i ka hoʻonui ʻana i ka nui o ke au photogenerated a pēlā e hoʻomaikaʻi ai i ka pono o ka hoʻololi ʻana. I ka manawa like, hoʻopau ka hydrogen i loko o ke kiʻi i ka ʻili o ka cell pila, hoʻemi i ka nui o ka hoʻohui hou ʻana o ka ʻili o ka hui emitter, hoʻemi i ke au pouli, hoʻonui i ka voltage kaapuni hāmama, a hoʻomaikaʻi i ka pono o ka hoʻololi photoelectric. ʻO ka annealing koke wela kiʻekiʻe i ke kaʻina hana puhi-ma o ka uhaki ʻana i kekahi mau pilina Si-H a me NH, a ʻo ka H i hoʻokuʻu ʻia e hoʻoikaika hou i ka passivation o ka pila.
ʻOiai ʻo nā mea silicon photovoltaic-grade e loaʻa mau ana ka nui o nā haumia a me nā kīnā, ua emi ka lōʻihi o ke ola o ka mea lawe liʻiliʻi a me ka lōʻihi o ka diffusion i loko o ka silicon, e hopena ana i ka emi ʻana o ka pono hoʻololi o ka pila. Hiki iā H ke pane me nā kīnā a i ʻole nā mea haumia i loko o ka silicon, no laila e hoʻoili ana i ke kāʻei ikehu i loko o ka bandgap i loko o ka valence band a i ʻole ka conduction band.
1. Kumumanaʻo PECVD
ʻO ka ʻōnaehana PECVD kahi moʻo o nā mea hana uila e hoʻohana anaWaʻa graphite PECVD a me nā mea hoʻonāukiuki plasma alapine kiʻekiʻe. Hoʻokomo pololei ʻia ka mea hana plasma ma waenakonu o ka papa uhi e hana ma lalo o ke kaomi haʻahaʻa a me ka mahana kiʻekiʻe. ʻO nā kinoea hana i hoʻohana ʻia he silane SiH4 a me ammonia NH3. Hana kēia mau kinoea ma ka silicon nitride i mālama ʻia ma ka wafer silicon. Hiki ke loaʻa nā ʻōkuhi refractive like ʻole ma ka hoʻololi ʻana i ka ratio o ka silane i ka ammonia. I ka wā o ke kaʻina hana waiho ʻana, ua hana ʻia ka nui o nā ʻātoma hydrogen a me nā ion hydrogen, e hana ana i ka passivation hydrogen o ka wafer maikaʻi loa. I loko o kahi vacuum a me ka mahana ambient o 480 degere Celsius, ua uhi ʻia kahi papa o SixNy ma luna o ka ʻili o ka wafer silicon ma ke alakaʻi ʻana i kaWaʻa graphite PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Hoʻololi ke kala o ka ʻili Si3N4 me kona mānoanoa. Ma ke ʻano laulā, ʻo ka mānoanoa kūpono ma waena o 75 a me 80 nm, kahi e ʻike ʻia he uliuli ʻeleʻele. ʻOi aku ka maikaʻi o ka refractive index o ka ʻili Si3N4 ma waena o 2.0 a me 2.5. Hoʻohana pinepine ʻia ka waiʻona e ana i kona refractive index.
ʻO ka hopena passivation ʻili maikaʻi loa, ka hana optical anti-reflection kūpono (ka hoʻohālikelike ʻana o ka index refractive mānoanoa), ke kaʻina hana haʻahaʻa haʻahaʻa (e hōʻemi pono ana i nā kumukūʻai), a me nā ion H i hana ʻia e passivate i ka ʻili wafer silicon.
3. Nā mea maʻamau i ka hale hana uhi
Mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni:
ʻOkoʻa ka manawa waiho no nā mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni like ʻole. Pono e hoʻonui a hoʻemi ʻia paha ka manawa waiho e like me ke kala o ka uhi. Inā keʻokeʻo ke kiʻiʻoniʻoni, pono e hoʻemi ʻia ka manawa waiho. Inā ʻulaʻula, pono e hoʻonui ʻia. Pono e hōʻoia piha ʻia kēlā me kēia waʻa o nā kiʻiʻoniʻoni, a ʻaʻole ʻae ʻia nā huahana kīnā e kahe i loko o ke kaʻina hana aʻe. No ka laʻana, inā maikaʻi ʻole ka uhi, e like me nā kiko kala a me nā kahawai wai, pono e koho ʻia ka hoʻokeʻokeʻo ʻili maʻamau, ka ʻokoʻa kala, a me nā kiko keʻokeʻo ma ka laina hana i ka manawa. ʻO ke keʻokeʻo ʻili ke kumu nui o ke kiʻiʻoniʻoni silicon nitride mānoanoa, hiki ke hoʻoponopono ʻia ma ka hoʻoponopono ʻana i ka manawa waiho kiʻiʻoniʻoni; ʻo ke kiʻiʻoniʻoni ʻokoʻa kala ke kumu nui o ka poloka ala kinoea, ka leakage paipu quartz, ka hāʻule ʻana o ka microwave, a pēlā aku; ʻo nā kiko keʻokeʻo ke kumu nui o nā kiko ʻeleʻele liʻiliʻi i ke kaʻina hana ma mua. Ka nānā ʻana i ka noʻonoʻo, ka helu refractive, a pēlā aku, ka palekana o nā kinoea kūikawā, a pēlā aku.
Nā kiko keʻokeʻo ma luna o ka ʻili:
He hana koʻikoʻi ka PECVD i loko o nā cell solar a he hōʻailona koʻikoʻi ia o ka pono o nā cell solar o kahi hui. He paʻahana ka hana PECVD, a pono e nānā ʻia kēlā me kēia pūʻulu o nā cell. Nui nā paipu umu uhi, a he mau haneli mau cell kēlā me kēia paipu (ma muli o nā lako). Ma hope o ka hoʻololi ʻana i nā palena hana, ua lōʻihi ke kaʻina hana hōʻoia. ʻO ka ʻenehana uhi kahi ʻenehana i hoʻopaʻa nui ʻia e ka ʻoihana photovoltaic holoʻokoʻa. Hiki ke hoʻomaikaʻi ʻia ka pono o nā cell solar ma ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka ʻenehana uhi. I ka wā e hiki mai ana, hiki i ka ʻenehana ʻili o nā cell solar ke lilo i mea holomua i ka pono theoretical o nā cell solar.
Ka manawa hoʻouna: Dec-23-2024