అన్నిటికంటే ముందు, మనం తెలుసుకోవాలిPECVD(ప్లాస్మా ఎన్హాన్స్డ్ కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్). ప్లాస్మా అంటే పదార్థ అణువుల ఉష్ణ చలనం తీవ్రతరం కావడం. వాటి మధ్య జరిగే ఢీకొనడం వల్ల వాయు అణువులు అయనీకరణం చెందుతాయి, మరియు ఆ పదార్థం స్వేచ్ఛగా కదిలే ధన అయాన్లు, ఎలక్ట్రాన్లు మరియు ఒకదానితో ఒకటి సంకర్షణ చెందే తటస్థ కణాల మిశ్రమంగా మారుతుంది.
సిలికాన్ ఉపరితలంపై కాంతి పరావర్తన నష్ట రేటు సుమారు 35% వరకు ఉంటుందని అంచనా. యాంటీ-రిఫ్లెక్షన్ ఫిల్మ్, బ్యాటరీ సెల్ ద్వారా సౌర కాంతి వినియోగ రేటును గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది. ఇది ఫోటోజెనరేటెడ్ కరెంట్ డెన్సిటీని పెంచడానికి, తద్వారా మార్పిడి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచడానికి సహాయపడుతుంది. అదే సమయంలో, ఫిల్మ్లోని హైడ్రోజన్ బ్యాటరీ సెల్ ఉపరితలాన్ని పాసివేట్ చేస్తుంది, ఎమిటర్ జంక్షన్ యొక్క ఉపరితల పునఃసంయోగ రేటును తగ్గిస్తుంది, డార్క్ కరెంట్ను తగ్గిస్తుంది, ఓపెన్ సర్క్యూట్ వోల్టేజ్ను పెంచుతుంది మరియు ఫోటోఎలక్ట్రిక్ మార్పిడి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది. బర్న్-త్రూ ప్రక్రియలో అధిక-ఉష్ణోగ్రత తక్షణ అనీలింగ్ కొన్ని Si-H మరియు NH బంధాలను విచ్ఛిన్నం చేస్తుంది, మరియు విడుదలైన H బ్యాటరీ యొక్క పాసివేషన్ను మరింత బలపరుస్తుంది.
ఫోటోవోల్టాయిక్-గ్రేడ్ సిలికాన్ పదార్థాలలో అనివార్యంగా అధిక మొత్తంలో మలినాలు మరియు లోపాలు ఉంటాయి కాబట్టి, సిలికాన్లో మైనారిటీ క్యారియర్ జీవితకాలం మరియు వ్యాప్తి పొడవు తగ్గిపోతాయి, దీని ఫలితంగా బ్యాటరీ యొక్క మార్పిడి సామర్థ్యం తగ్గుతుంది. H సిలికాన్లోని లోపాలు లేదా మలినాలతో చర్య జరపగలదు, తద్వారా బ్యాండ్గ్యాప్లోని శక్తి బ్యాండ్ను వాలెన్స్ బ్యాండ్ లేదా కండక్షన్ బ్యాండ్లోకి బదిలీ చేస్తుంది.
1. PECVD సూత్రం
PECVD వ్యవస్థ అనేది ఉపయోగించే జనరేటర్ల శ్రేణిPECVD గ్రాఫైట్ పడవ మరియు అధిక-పౌనఃపున్య ప్లాస్మా ఎక్సైటర్లు. తక్కువ పీడనం మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద చర్య జరపడానికి ప్లాస్మా జనరేటర్ను కోటింగ్ ప్లేట్ మధ్యలో నేరుగా అమర్చారు. ఉపయోగించే క్రియాశీల వాయువులు సిలేన్ SiH4 మరియు అమ్మోనియా NH3. ఈ వాయువులు సిలికాన్ వేఫర్పై నిల్వ ఉన్న సిలికాన్ నైట్రైడ్పై చర్య జరుపుతాయి. సిలేన్ మరియు అమ్మోనియా నిష్పత్తిని మార్చడం ద్వారా విభిన్న వక్రీభవన సూచికలను పొందవచ్చు. డిపాజిషన్ ప్రక్రియ సమయంలో, పెద్ద మొత్తంలో హైడ్రోజన్ పరమాణువులు మరియు హైడ్రోజన్ అయాన్లు ఉత్పత్తి అవుతాయి, ఇది వేఫర్ యొక్క హైడ్రోజన్ పాసివేషన్ను చాలా మెరుగుపరుస్తుంది. వాక్యూమ్లో మరియు 480 డిగ్రీల సెల్సియస్ పరిసర ఉష్ణోగ్రత వద్ద, సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలంపై SixNy పొరను పూత పూయడం జరుగుతుంది.PECVD గ్రాఫైట్ పడవ.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Si3N4 ఫిల్మ్ యొక్క రంగు దాని మందంతో మారుతుంది. సాధారణంగా, ఆదర్శవంతమైన మందం 75 మరియు 80 nm మధ్య ఉంటుంది, ఇది ముదురు నీలం రంగులో కనిపిస్తుంది. Si3N4 ఫిల్మ్ యొక్క వక్రీభవన సూచిక 2.0 మరియు 2.5 మధ్య ఉత్తమంగా ఉంటుంది. దీని వక్రీభవన సూచికను కొలవడానికి సాధారణంగా ఆల్కహాల్ను ఉపయోగిస్తారు.
అద్భుతమైన ఉపరితల పాసివేషన్ ప్రభావం, సమర్థవంతమైన ఆప్టికల్ యాంటీ-రిఫ్లెక్షన్ పనితీరు (మందం వక్రీభవన సూచిక సరిపోలిక), తక్కువ ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియ (ఖర్చులను సమర్థవంతంగా తగ్గించడం), మరియు ఉత్పత్తి చేయబడిన H అయాన్లు సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలాన్ని పాసివేట్ చేస్తాయి.
3. కోటింగ్ వర్క్షాప్లో సాధారణ విషయాలు
ఫిల్మ్ మందం:
వివిధ ఫిల్మ్ మందాలకు పూత వేసే సమయం వేర్వేరుగా ఉంటుంది. పూత యొక్క రంగును బట్టి పూత వేసే సమయాన్ని తగిన విధంగా పెంచాలి లేదా తగ్గించాలి. ఫిల్మ్ తెల్లగా ఉంటే, పూత వేసే సమయాన్ని తగ్గించాలి. అది ఎర్రగా ఉంటే, తగిన విధంగా పెంచాలి. ఫిల్మ్ల యొక్క ప్రతి బోట్ను పూర్తిగా నిర్ధారించుకోవాలి, మరియు లోపభూయిష్ట ఉత్పత్తులను తదుపరి ప్రక్రియలోకి వెళ్లనివ్వకూడదు. ఉదాహరణకు, పూత నాసిరకంగా ఉండి, రంగు మచ్చలు మరియు నీటి గుర్తులు వంటివి ఏర్పడితే, ఉత్పత్తి శ్రేణిలో సర్వసాధారణంగా కనిపించే ఉపరితలం తెల్లబడటం, రంగులో తేడా మరియు తెల్లటి మచ్చలను సకాలంలో గుర్తించి తొలగించాలి. ఉపరితలం తెల్లబడటానికి ప్రధాన కారణం మందపాటి సిలికాన్ నైట్రైడ్ ఫిల్మ్, దీనిని ఫిల్మ్ పూత వేసే సమయాన్ని సర్దుబాటు చేయడం ద్వారా సరిచేయవచ్చు; రంగులో తేడా రావడానికి ప్రధాన కారణాలు గ్యాస్ మార్గంలో అడ్డంకులు, క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్ లీకేజ్, మైక్రోవేవ్ వైఫల్యం మొదలైనవి; తెల్లటి మచ్చలు ప్రధానంగా మునుపటి ప్రక్రియలోని చిన్న నల్లటి మచ్చల వల్ల ఏర్పడతాయి. పరావర్తనశీలత, వక్రీభవన సూచిక మొదలైనవాటిని, ప్రత్యేక వాయువుల భద్రతను మొదలైనవాటిని పర్యవేక్షించాలి.
ఉపరితలంపై తెల్లటి మచ్చలు:
సోలార్ సెల్స్లో PECVD అనేది సాపేక్షంగా ఒక ముఖ్యమైన ప్రక్రియ మరియు ఒక కంపెనీ యొక్క సోలార్ సెల్స్ సామర్థ్యానికి ఒక ముఖ్యమైన సూచిక. PECVD ప్రక్రియ సాధారణంగా చాలా బిజీగా ఉంటుంది, మరియు ప్రతి బ్యాచ్ సెల్స్ను పర్యవేక్షించాల్సి ఉంటుంది. ఇందులో అనేక కోటింగ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్లు ఉంటాయి, మరియు ప్రతి ట్యూబ్లో సాధారణంగా వందలాది సెల్స్ ఉంటాయి (పరికరాలను బట్టి). ప్రక్రియ పారామితులను మార్చిన తర్వాత, ధృవీకరణ చక్రం చాలా సుదీర్ఘంగా ఉంటుంది. కోటింగ్ టెక్నాలజీ అనేది మొత్తం ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమ ఎంతో ప్రాముఖ్యతనిచ్చే ఒక సాంకేతికత. కోటింగ్ టెక్నాలజీని మెరుగుపరచడం ద్వారా సోలార్ సెల్స్ సామర్థ్యాన్ని పెంచవచ్చు. భవిష్యత్తులో, సోలార్ సెల్ ఉపరితల సాంకేతికత, సోలార్ సెల్స్ యొక్క సైద్ధాంతిక సామర్థ్యంలో ఒక పెద్ద పురోగతి కావచ్చు.
పోస్ట్ సమయం: డిసెంబర్-23-2024